探针卡制造技术

本发明专利技术提供一种探针卡。其目的在于抑制在相邻的检查对象间的串扰的影响。为达成此目的，本发明专利技术的探针卡具有：与检查对象接触从而进行电信号的输入或者输出的至少任一方的多个探针；具有对应于生成检查用信号的电路构造的配线图案的基板；一端电连接于所述多个探针的任一个，从而向所述检查对象传送输入信号的多个输入用导线；一端电连接于所述基板，另一端与所述多个输入用导线的任一个或者所述多个探针的任一个电连接的多个同轴电缆；一端电连接于所述多个探针的任一个，从而传送来自所述检查对象的输出信号的多个输出用导线；以及在与相邻的两个所述检查对象中的一个检查对象连接的所述输出用导线和与另一个检查对象连接的所述输入用导线相交叉的区域附近设置的屏蔽板。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种同时对多个检查对象进行规定的检查时所使用的探 针卡。
技术介绍
迄今，例如在构成液晶显示器的液晶面板的驱动电路等上，公知使用被称为TAB(Tape Automated Bonding)或COF(Chip On Film)等TCP(Tape Carrier Package)的IC封装的构成。该TCP，在表面形成有规定的配线图案 的薄膜状基材上，通过搭载LSI(Large Scale Integrated Circuit)等半导体芯片而形成。在制造TCP时，与其它的半导体集成电路的情形相同，为检测出不良 品，进行与电特性相关的检査。更具体地，对在薄膜基材上形成的配线图 案的电短路及断线的有无进行检查(导通检查)，或在搭载半导体芯片后经 由配线图案对半导体芯片进行输入输出规定的检查信号的工作特性检査等o然而，近年的半导体集成电路，具有为实现高速运算处理而使用高频 率的电信号来工作的构造。在通过漆包线等导线构成用于对检查对象输入 输出高频率的电信号的配线构造的情况下，检査信号的波形容易变迟钝， 有容易对高频率测定性能产生妨碍的问题。因此，作为该问题的对策，提 出一种使用同轴电缆从而实现传送检查信号的配线构造的检査系统(例如，参照专利文献1及2)。专利文献1:日本特许第2971706号公报 专利文献2:日本特许第3357294号公报但是，在通过相对于多个检查对象传送高频率的电信号来同时进行检 査的情况下，相对于相邻的检查对象，有时在一个检查对象的输入侧和另一个检查对象的输出侧的配线附近发生串扰。更具体地，在传送高频率的 电信号的情况下，由于施加3V以上的电压作为电源电压，因此在检查时 产生大的电磁波，有时不能忽视对其它配线的串扰的影响。在此情况下， 有时也会在另一个检查对象的输出配线上产生电磁感应引起的噪声等影 响，从而不能进行检查。
技术实现思路
本专利技术鉴于上述问题而提出，目的在于提供一种探针卡，其能够抑制 在相邻的检查对象间的串扰的影响。为解决上述的问题，并达成目的，技术方案1所述的专利技术是一种探针 卡，其对多个检查对象与生成检査用的信号的电路构造之间进行电连接， 并且能够对于所述多个检查对象的至少一部分同时进行所述检查用的信 号的输入输出，其特征在于，具有由导电性材料构成，与所述检查对象 接触从而进行电信号的输入或者输出的至少任一方的多个探针；具有对应 于所述电路构造的配线图案的基板； 一端电连接于所述多个探针的任一 个，从而向所述检查对象传送输入信号的多个输入用导线； 一端电连接于 所述基板，另一端与所述多个输入用导线的任一个或者所述多个探针的任 一个电连接的多个同轴电缆； 一端电连接于所述多个探针的任一个，从而 传送来自所述检査对象的输出信号的多个输出用导线；以及由导电性材料 构成，在与相邻的两个所述检查对象中的一个检查对象连接的所述输出用 导线和与另一个检查对象连接的所述输入用导线相交叉的区域附近设置 的屏蔽板。技术方案2所述的专利技术，其特征在于，在技术方案l所述的专利技术中， 所述基板具有向所述多个检查对象供应接地电位，并按照各检查对象在该 基板的不同区域分离形成的接地层。技术方案3所述的专利技术，其特征在于，在技术方案l所述的专利技术中， 在与相邻的两个所述检查对象中的一个检查对象连接的所述输出用导线 和与另一个检查对象连接的所述输入用导线相交叉的区域附近，还具有将 与所述一个检查对象连接的所述输出用导线聚集成束、并由导电性材料构 成的屏蔽部件。 技术方案4所述的专利技术，其特征在于，在技术方案3所述的专利技术中， 所述基板具有向所述多个检查对象供应接地电位，并按照各检查对象在该 基板的不同区域分离形成的接地层。技术方案5所述的专利技术，其特征在于，在技术方案1至4的任一所述 的专利技术中，所述基板具有相对于所述多个检查对象的输入端子群和输出端 子群，相对于同一所述检查对象的输入用端子群和输出用端子群在该基板 的不同区域分离形成。专利技术效果根据本专利技术的探针卡，其具有由导电性材料构成，与检查对象接触 从而进行电信号的输入或者输出的至少任一方的多个探针；具有对应于生成检查用信号的电路构造的配线图案的基板； 一端电连接于所述多个探针 的任一个，从而向所述检査对象传送输入信号的多个输入用导线； 一端电 连接于所述基板，另一端与所述多个输入用导线的任一个或者所述多个探 针的任一个电连接的多个同轴电缆； 一端电连接于所述多个探针的任一 个，从而传送来自所述检查对象的输出信号的多个输出用导线；以及由导 电性材料构成，在与相邻的两个所述检查对象中的一个检査对象连接的所 述输出用导线和与另一个检查对象连接的所述输入用导线相交叉的区域 附近设置的屏蔽板，由此，可以抑制在相邻的检查对象间的串扰的影响。附图说明图1是模式地表示本专利技术的一实施方式的探针卡的概略构成的俯视图2是模式地表示从图1的箭头A方向所视的侧面及检查时的状态的图3是模式地表示TAB的概略构成的俯视图。 图中l一探针卡；2 —探针；3 —探针保持具；3A、 3B —接触区域；4一输 入用导线；5 —同轴电缆；6 —输出用导线；7 —基板；7A、 7B —接地层； 8 —屏蔽板；9一屏蔽部件；21—输入用端子；21G —输入用端子群；22、 24、 27、 29 —接地线；23、 25、 28 —接地端子；26 —输出用端子；26G—输出用端子群；31—探针头；32—中继基板；33 —中介层；45—焊锡；51一芯线；52 —被覆屏蔽；71—连接用端子；100—TAB; 100A、 100B —检 査对象；101 —电极焊垫；102A、 102B —输入焊垫群；103A、 103B —输出 焊垫群；104A、 104B —半导体芯片。具体实施例方式以下，参照附图对用于实施本专利技术的最佳实施方式(以后，称为"实 施方式")进行说明。并且，附图是模式的，应该注意各部分的厚度与宽 度的关系及各部分的厚度的比率等有时也会与现实不同的情况，当然在附 图的彼此间有时也会包含彼此的尺寸的关系或比率不同的部分。图1是模式地表示本专利技术的一实施方式的探针卡的概略构成的俯视 图。此外，图2是模式地表示从图1的箭头A方向所视的侧面及检查时的 状态的图。在这些图中所示的探针卡1，在对将半导体芯片搭载在薄膜状 的基材上而构成的TAB进行导通检查或工作特性检查时适用。探针卡1具有与TAB100所具有的电极焊垫101接触的多个探针2、 由适用于TAB100的配线图案的图案收容并保持多个探针2的探针保持具 3、 一端与多个探针2中对TAB100进行信号输入用的探针2的任一个电 连接的多个输入用导线4、 一端与输入用导线4的任一个的另一端连接的 多个同轴电缆5、 一端与多个探针2中对来自TAB100的信号进行输出用 的探针2电连接的多个输出用导线6、连接同轴电缆5的另一端及输出用 导线6的另一端从而固定的基板7、在相邻的输入用导线4与输出用导线 6之间设置的电磁波遮挡用的屏蔽板8、以及将多个输出用导线6聚集成 束的管状的屏蔽部件9。探针2对应于TAB100所具有的电极焊垫101的配置图案被收容并保 持在探针保持具3上，以使得一个前端突出，各探针2的前端(图2的底面 侧)相对于TAB100的多个电极焊垫1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种探针卡，其对多个检查对象与生成检查用的信号的电路构造之间进行电连接，并且能够对于所述多个检查对象的至少一部分同时进行所述检查用的信号的输入输出，其特征在于，具有：　由导电性材料构成，与所述检查对象接触从而进行电信号的输入或者输出的至少任一方的多个探针；　具有对应于所述电路构造的配线图案的基板；　一端电连接于所述多个探针的任一个，从而向所述检查对象传送输入信号的多个输入用导线；　一端电连接于所述基板，另一端与所述多个输入用导线的任一个或者所述多个探针的任一个电连接的多个同轴电缆；　一端电连接于所述多个探针的任一个，从而传送来自所述检查对象的输出信号的多个输出用导线；以及　由导电性材料构成，在与相邻的两个所述检查对象中的一个检查对象连接的所述输出用导线和与另一个检查对象连接的所述输入用导线相交叉的区域附近设置的屏蔽板。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：石川重树，仁平崇，
申请(专利权)人：日本发条株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]