检查夹具及检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供的检查夹具，即使在形成为细长状的检查用端子的横向幅度非常狭窄的情况下，也能够对检查对象进行确切的检查；用于对形成有具备纵向和横向的细长状端子的检查对象（５０）进行检查的检查夹具（１），设有：形成有前端侧插通孔的前端侧支撑体（２），相对于前端侧支撑体（２）通过间隙而配置、且形成有后端侧插通孔的后端侧支撑体（３），以及具有被插通于前端侧插通孔的前端侧部分和被插通于后端侧插通孔的后端侧部分的探针（５），其中，前端侧插通孔具有朝向检查对象（５０）的探针引导方向，后端侧插通孔具有相对于前端侧插通孔的探针引导方向沿着端子的纵向而倾斜的探针引导方向；探针（５）的前端侧部分相对于后端侧部分配置于，在向后端侧插通孔的探针引导方向倾斜的一侧上偏移的位置。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及的是使用于电路板或电子器件等的电气检查的检查夹具 以及设有该检查夹具的检查装置。
技术介绍
一般情况下，用于发现电路板的布线图形或IC等集成电路的短路、断线等异常情况的电气检查中，使用设有与形成于检查对象的检查用端 子进行导电接触的多个探针的检查夹具。作为这种检查夹具，本申请人 提出了设有前端侧支撑体、后端侧支撑体以及电极的检查夹具，其中， 前端侧支撑体支撑多个探针的前端侧部分，后端侧支撑体通过间隙而配 置于前端侧支撑体的后方、并支撑多个探针的后端侧部分，电极配置于 后端侧支撑体的后方、并与探针的后端侧部分相接(例如，参照专利文 献1)。在该专利文献1记载的检查夹具中，在前端侧支撑体上，在垂直相交于与检查对象相对的对置面的方向上形成有前端侧插通孔；在后端侧 支撑体上，在相对于前端侧插通孔的形成方向倾斜的方向上形成有后端 侧插通孔。另外，后端侧插通孔如插通于该后端侧插通孔的探针的前端 侧朝向前端侧插通孔那样，相对于前端侧插通孔而倾斜。在该检查夹具中，在多个探针的前端与检查对象相接时，配置于前 端侧支撑体和后端侧支撑体之间的间隙中的探针中间部分弯曲。另外， 通过探针的中间部分弯曲，全部的探针以适度的接触压力同时与检查对 象接触。专利文献l:日本公开公报、特开2005-338065号
技术实现思路
专利技术所要解决的课题近年来，形成于检查对象的检查用端子正在多样化。例如，在检查对象上也形成有如长方形那样的细长端子。另外，近年来伴随着成为检 查对象的电路板布线图形的复杂化或集成电路的高集成化等，细长端子 的横向幅度变得非常狭窄。例如，存在横向幅度为20^m 30^m这样非 常狭窄的幅度的端子形成于检查对象的情况。在此，通过本申请专利技术人的研究明确了，在使用专利文献1中记载 的检查夹具对端子的横向幅度非常狭窄的检查对象进行检查的情况下， 存在对检查对象进行确切的检查变得困难的危险。因此，本专利技术的课题在于提供一种，即使在形成为细长状的检查用 端子的横向幅度非常狭窄的情况下，也能够对检查对象进行确切的检查 的检查夹具以及设有该检查夹具的检查装置。解决课题的手段为了解决上述课题，本专利技术的检查夹具，是用于对形成有具备纵向 和横向的细长状端子的检查对象进行检查的检查夹具，其特征在于，设 有形成有前端侧插通孔的前端侧支撑体，相对于前端侧支撑体通过规 定的间隙而配置、且形成有后端侧插通孔的后端侧支撑体，以及探针， 其中，前端侧插通孔具有朝向检查对象的探针引导方向，后端侧插通孔 具有相对于前端侧插通孔的探针引导方向沿着纵向而倾斜的探针引导方 向，探针具有被插通于前端侧插通孔的前端侧部分和被插通于后端侧插 通孔的后端侧部分、以使与端子接触的前端能够在检查对象侧出入；探 针的前端侧部分相对于后端侧部分配置于，在向后端侧插通孔的探针引 导方向倾斜的一侧上偏移的位置。在本专利技术的检查夹具中，在相对于形成有前端侧插通孔的前端侧支 撑体通过规定的间隙而配置的后端侧支撑体上，形成有后端侧插通孔， 其中，前端侧插通孔具有朝向检查对象的探针引导方向，后端侧插通孔 具有相对于前端侧插通孔的探针引导方向沿着细长状端子的纵向而倾斜 的探针引导方向。另外，探针的前端侧部分相对于后端侧部分配置于， 在向后端侧插通孔的探针引导方向倾斜的一侧上偏移的位置。因此，即使在为了使探针的前端能够在检查对象侧出入而前端侧插 通孔形成为比探针的直径大的情况下，探针的前端与端子接触而配置于 前端侧支撑体和后端侧支撑体之间间隙中的探针的中间部分弯曲的话，探针的前端侧部分在前端侧插通孔内沿着细长状端子的纵向移动。也就 是说，本专利技术中，在探针的前端与端子接触而配置于前端侧支撑体和后 端侧支撑体之间间隙中的探针的中间部分弯曲时，与端子接触的探针的 前端沿着端子的纵向而偏移，而不太会有沿着端子的横向偏移的情况。 其结果是，本专利技术中，即使在形成为细长状的检查用端子的横向幅度非 常狭窄的情况下，也能够使探针的前端确实地与检查对象的端子接触， 从而能够对检查对象进行确切的检查。在本专利技术中，以检查夹具设有分别与纵向不同的多个端子接触的多 个探针，多个探针的后端侧部分被插通于沿着各个探针所接触的端子的 纵向而倾斜的后端侧插通孔为佳。这样构成的话，即使在检查对象上形 成有纵向不同的多个端子的情况下，也能够使探针的前端确实地与检查 对象的端子接触，从而能够对检查对象进行确切的检查。另外，为了解决上述课题，本专利技术为用于对形成有具备纵向和横向的细长状端子的检查对象进行检查的检查夹具，其特征在于，设有形 成有前端侧插通孔的前端侧支撑体，形成有后端侧插通孔、且相对于前 端侧支撑体通过规定的间隙而配置的后端侧支撑体，以及具有与端子接 触的前端、被插通于前端侧插通孔的前端侧部分及被插通于后端侧插通 孔的后端侧部分的探针，其中，前端侧插通孔具有朝向检查对象的探针 引导方向，后端侧插通孔具有相对于前端侧插通孔的探针引导方向、沿 着由纵向和前端侧插通孔的探针引导方向形成的平面而倾斜的探针引导 方向；在前端与端子接触时，前端朝向前端侧支撑体而被压入，同时， 探针在前端侧支撑体和后端侧支撑体之间弯曲。在本专利技术的检查夹具中，在相对于形成有前端侧插通孔的前端侧支 撑体通过规定的间隙而配置的后端侧支撑体上，形成有后端侧插通孔， 其中，前端侧插通孔具有朝向检查对象的探针引导方向，后端侧插通孔 具有相对于前端侧插通孔的探针引导方向、沿着由细长状端子的纵向和 前端侧插通孔的探针引导方向形成的平面而倾斜的探针引导方向。因此， 即使为了在探针的前端与端子接触时使其前端朝向前端侧支撑体被压入 而前端侧插通孔形成为比探针的直径大的情况下，探针的前端与端子接 触而探针在前端侧支撑体与后端侧支撑体之间发生弯曲的话，探针的前 端也沿着端子的纵向偏移，而不太会有沿着端子的横向偏移的情况。其结果是，本专利技术中，即使在形成为细长状的检查用端子的横向幅度非常 狭窄的情况下，也能够使探针的前端确实地与检查对象的端子接触，从 而能够对检查对象进行确切的检查。本专利技术的检查夹具，能够使用于设有被导电连接于与探针后端侧部 分相接的电极的电气检查部的检查装置。该检查装置，即使在形成为细 长状的检查用端子的横向幅度非常狭窄的情况下，也能够使探针的前端 确实地与检查对象的端子接触，从而能够对检查对象进行确切的检查。专利技术效果如上所述，本专利技术的检查夹具及检查装置，即使在形成为细长状的 检查用端子的横向幅度非常狭窄的情况下，也能够对检查对象进行确切 的检查。附图说明图1是本专利技术实施形态涉及的检查夹具的俯视图。 图2是图1所示检查夹具的侧面图。图3是表示以图1所示检查夹具进行检查的检查对象的俯视图。 图4是将图3的E部放大表示的放大图。图5是表示图1所示前端侧支撑体的剖面构造的放大剖面图。 图6是表示图1所示后端侧支撑体的剖面构造的放大剖面图。 图7是表示搭载有图1所示检查夹具的检查装置的概略构成图。 图8是用于说明以图7所示检查装置检查检查对象时的探针动作的 图，(A)从端子的横向表示探针的前端与端子接触前的状态，(B)从 端子的横向表示探针的前端与端子接触的状态，(C)从端子的纵向表示 探针的前端与端子接触的状态。图9是本专利技术其他实施形态涉及的检查对象的端本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种检查夹具，用于对形成有具备纵向和横向的细长状端子的检查对象进行检查，其特征在于，　设有：形成有前端侧插通孔的前端侧支撑体，相对于上述前端侧支撑体通过规定的间隙而配置、且形成有后端侧插通孔的后端侧支撑体，以及探针，其中，前端侧插通孔具有朝向上述检查对象的探针引导方向，后端侧插通孔具有相对于上述前端侧插通孔的探针引导方向沿着上述纵向而倾斜的探针引导方向，探针具有被插通于上述前端侧插通孔的前端侧部分和被插通于上述后端侧插通孔的后端侧部分、以使与上述端子接触的前端能够在上述检查对象侧出入；　上述探针的上述前端侧部分相对于上述后端侧部分配置于，在向上述后端侧插通孔的探针引导方向倾斜的一侧上偏移的位置。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：土桥贤治，伊藤光彦，
申请(专利权)人：株式会社光阳科技，
类型：发明
国别省市：JP[日本]