【技术实现步骤摘要】
一种机台石英工件表面镀三氧化二铝等离子熔射机构
本技术涉及PCXT机台
,尤其涉及一种机台石英工件表面镀三氧化二铝等离子熔射机构。
技术介绍
Belljar为PCXT机台的核心零件,Belljar在洗净过程中会使用到物理喷砂、纯水超音震荡,而整个清洗流程中不可伤及工件密封面,如密封面有任何划伤或磕碰将造成上机测漏失败,目前Belljar清洗过程物理喷砂阶段以胶带进行保护密封面,而纯水超音震荡阶段并无任何保护措施。专利号为CN2011101643936的专利文献公开了一种工件表面处理技术,具体的说,是涉及一种熔射表面处理工艺,包括下列工序,确定母材基体的熔射区域;对母材基体进行抛光及补焊;脱脂处理;喷砂处理;对拉伤部位及R角周边部位进行熔射处理;对熔射后的工件进行抛光,表面粗糙度在Ra0.8以下。本专利技术可以有选择性进行熔射,即可任意选择母材基体表面任何区域进行,可节约周期与成本;熔射前对母材基体进行抛光及补焊等修复工作,便于提高熔射处理后效果;熔射前进行喷砂处理,为皮膜与母材的结合提供了有利的基础;熔射后对熔射部位进行抛光处理。但是,在实际使用过程中,专利技术人发现Belljar在进行物理喷砂清洁工作时,其密封面需要用密封条将其保护,该工作需要人工将其套设及脱下,增加额外劳动力,同时人工操作时会有误操作,如指甲刮损密封面等现象,进而出现密封面有任何划伤或磕碰将造成上机测漏失败的问题。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有技术的不足之处,通过设置A面喷砂机构配合B面喷砂机构,实现 ...
【技术保护点】
1.一种机台石英工件表面镀三氧化二铝等离子熔射机构,其特征在于,包括:/n升降机构(1),所述升降机构(1)包括安装在机架(11)上的驱动组件(12)以及两组对称设置在所述驱动组件(12)两侧的往复组件(13);/n安装机构(2),所述安装机构(2)包括水平设置在所述机架(11)上的安装座(21),工件(10)安置在所述安装座(21)上;/nA面喷砂机构(3),所述A面喷砂机构(3)包括第一喷砂组件(31)、环绕设置在所述第一喷砂组件(31)上的第一覆膜组件(32)以及设置在所述第一喷砂组件(31)下端的第一控制组件(33);以及/nB面喷砂机构(4),所述B面喷砂机构(4)包括第二喷砂组件(41)、环绕设置在所述第二喷砂组件(41)上的第二覆膜组件(42)以及设置在所述第二喷砂组件(41)上端的第二控制组件(43)。/n
【技术特征摘要】
1.一种机台石英工件表面镀三氧化二铝等离子熔射机构,其特征在于,包括:
升降机构(1),所述升降机构(1)包括安装在机架(11)上的驱动组件(12)以及两组对称设置在所述驱动组件(12)两侧的往复组件(13);
安装机构(2),所述安装机构(2)包括水平设置在所述机架(11)上的安装座(21),工件(10)安置在所述安装座(21)上;
A面喷砂机构(3),所述A面喷砂机构(3)包括第一喷砂组件(31)、环绕设置在所述第一喷砂组件(31)上的第一覆膜组件(32)以及设置在所述第一喷砂组件(31)下端的第一控制组件(33);以及
B面喷砂机构(4),所述B面喷砂机构(4)包括第二喷砂组件(41)、环绕设置在所述第二喷砂组件(41)上的第二覆膜组件(42)以及设置在所述第二喷砂组件(41)上端的第二控制组件(43)。
2.根据权利要求1所述的一种机台石英工件表面镀三氧化二铝等离子熔射机构,其特征在于,所述驱动组件(12)包括驱动电机(121)以及设置在所述驱动电机(121)输出端的主动齿轮(122)。
3.根据权利要求2所述的一种机台石英工件表面镀三氧化二铝等离子熔射机构,其特征在于,所述往复组件(13)包括通过伸缩单元a(131)竖直设置在所述机架(11)上且与所述主动齿轮(122)啮合设置的主动齿条a(132)以及通过伸缩单元b(133)竖直设置在所述机架(11)上且与所述主动齿轮(122)啮合设置的主动齿条b(134)。
4.根据权利要求1所述的一种机台石英工件表面镀三氧化二铝等离子熔射机构,其特征在于,所述安装座(21)上开设有限位槽(22)且与所述工件(10)的底部大小匹配设置。
5.根据权利要求3所述的一种机台石英工件表面镀三氧化二铝等离子熔射机构,其特征在于,所述第一喷砂组件(31)包括:
连接杆a(311),所述连接杆a(311)为L型结构设置且与所述主动齿条a(132)固定连接;
转动轴a(312),所述转动轴a(312)转动设置在所述连接杆a(311)的底端且与所述工件(10)的中心同轴心设置;以及
喷砂枪a(313),所述喷砂枪a(313)的枪柄竖直设置且与所述转动轴a(312)的底端固定连接,该喷砂枪a(313)的枪口水平设置。
6.根据权利要求5所述的一种机台石英工件表面镀三氧化二铝等离子熔射机构,其特征在于,所述第一覆膜组件(32)包括:
支撑杆a(321),所述支撑杆a(321)水平设置且与所述连接杆a(311)固定连接;
伸缩单元c(322),所述伸缩单元c(322)竖直设置且上端与所述支撑杆a(321)固定连接;以及
上治具(323),所述上治具(323)匹配覆盖在所述工件(10)的密...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄才耀,
申请(专利权)人:湖州科秉电子科技有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江;33
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