本实用新型专利技术为一种用于硅片卸料升降的装置，包括，晶圆盒，顶部开口且能升降地设置于卸料工位，晶圆盒能接载且存储硅片；水箱，顶部开口且固定设置于晶圆盒的下方，水箱用于储水且所述水箱内水呈循环流动状态，晶圆盒能下降浸入水箱内浸润存储硅片且能自水箱内上升；升降结构，连接于晶圆盒上，用于升降晶圆盒；旋转结构，连接于升降结构上，用于转动上升后的晶圆盒以倾倒盒内残存水；控制部，升降结构和旋转结构均与控制部电连接。该装置卸料稳定，且能时刻保持硅片湿润存储，保证抛光后储存过程中硅片的表面质量，操作简单，方便使用。
【技术实现步骤摘要】
一种用于硅片卸料升降的装置
本技术涉及硅片抛光的
，尤其涉及一种抛光硅片过程中用于硅片卸料升降的装置。
技术介绍
抛光后硅片表面的化学活性很高，能量较大、力场很强，在力场的作用下与周围发生相互作用，周围环境中的物质会被迅速吸附到基体表面上来。根据固体表面和外面粒子力的作用性质，吸附可分为物理吸附和化学吸附。物理吸附是被吸附的流体分子与固体表面分子间的作用力为分子间吸引力，即所谓的范德华力。因此，物理吸附又称范德华吸附，它是一种可逆过程。化学吸附是固体表面与被吸附物间的化学键力起作用的结果。这类型的吸附需要一定的活化能，故又称“活化吸附”。这种化学键亲和力的大小可以差别很大，但它大大超过物理吸附的范德华力。吸附物与硅片表面的吸附形成随着时间的推移会发生化学变化，物理吸附有可能变为化学吸附。其中在抛光结束后，硅片储存通常是利用卸料升降装置，但市面上的卸料升降装置存在着升降不够稳定易造成震动的问题，此外还存在着抛光完毕后的硅片无法有效保持湿润的问题，颗粒一旦吸附硅片将难以去除。由此，本专利技术人凭借多年从事相关行业的经验与实践，提出一种用于硅片卸料升降的装置，以克服现有技术的缺陷。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于硅片卸料升降的装置，该装置卸料稳定，且能时刻保持硅片湿润存储，保证抛光后储存过程中硅片的表面质量，操作简单，方便使用。本技术的目的是这样实现的，一种用于硅片卸料升降的装置，包括，晶圆盒，顶部开口且能升降地设置于卸料工位，所述晶圆盒能接载且存储硅片；<br>水箱，顶部开口且固定设置于所述晶圆盒的下方，所述水箱用于储水且所述水箱内水呈循环流动状态，所述晶圆盒能下降浸入水箱内浸润存储硅片且能自所述水箱内上升；升降结构，连接于所述晶圆盒上，用于升降所述晶圆盒；旋转结构，连接于所述升降结构上，用于转动上升后的晶圆盒以倾倒盒内残存水；控制部，所述升降结构和所述旋转结构均与所述控制部电连接。在本技术的一较佳实施方式中，所述升降结构包括举升缸，所述举升缸包括举升缸筒和举升缸杆，所述举升缸杆的顶部能与所述晶圆盒的顶部侧壁固定连接，所述举升缸杆能沿所述举升缸筒密封滑动带动所述晶圆盒上下移动；所述举升缸与所述控制部电连接。在本技术的一较佳实施方式中，所述旋转结构包括固定设置于所述水箱下方的第一铰接座，所述举升缸筒的侧壁下部通过水平的第一转轴铰接于所述第一铰接座，所述第一转轴的中心轴沿所述水箱的长度方向设置；所述旋转结构还包括水平设置于所述第一铰接座下方的推拉缸，所述推拉缸的中心轴沿所述水箱的宽度方向设置，所述推拉缸包括推拉缸筒和推拉缸杆，所述推拉缸杆能沿所述推拉缸筒密封滑动，所述推拉缸杆位于所述推拉缸筒外部的一端铰接于所述举升缸筒的底部，所述推拉缸杆沿水平方向滑动带动所述举升缸筒绕所述第一转轴摆动；所述推拉缸与所述控制部电连接。在本技术的一较佳实施方式中，所述举升缸筒的侧壁上连接设置连接架，所述连接架包括连接顶板，所述连接顶板与所述举升缸筒的侧壁上部固定连接，所述连接顶板的一侧设置向下延伸设置的连接架侧板，所述连接架侧板上设有转轴安装孔，所述第一转轴穿设于所述转轴安装孔和所述第一铰接座内；所述连接架侧板的底部连接向所述水箱下方延伸设置的连接底板，所述连接底板上设置推拉板，所述推拉板与所述推拉缸杆连接。在本技术的一较佳实施方式中，所述连接架侧板上与所述举升缸筒同侧设置直线轴承，所述晶圆盒的侧壁顶部连接向下延伸设置的导向轴，所述导向轴穿设通过所述直线轴承且能沿所述直线轴承滑动，所述导向轴的中心轴与所述举升缸筒的中心轴呈平行设置。在本技术的一较佳实施方式中，所述晶圆盒架设于晶圆盒支架上，所述晶圆盒支架的底部设置压力感应器，所述压力感应器与所述控制部电连接；所述举升缸杆的顶部能与所述晶圆盒支架的顶部侧壁固定连接。在本技术的一较佳实施方式中，所述水箱的底部连通设置进出水路结构，所述进出水路结构与所述控制部电连接。在本技术的一较佳实施方式中，所述进出水路结构包括与所述水箱的底部密封连通设置的第一接头和第二接头，所述第一接头上密封连通设置进水管道，所述第二接头上密封连通设置第一出水管道。在本技术的一较佳实施方式中，所述水箱的一侧设置开口向上的接水斗，所述接水斗的底部密封连通设置第三接头，所述第三接头上密封连通设置第二出水管道。在本技术的一较佳实施方式中，所述水箱内设置相互隔离的两个腔室，各腔室内能分别容置一所述晶圆盒，各腔室分别与一所述进出水路结构连通设置。由上所述，本技术提供的用于硅片卸料升降的装置具有如下有益效果：本技术的用于硅片卸料升降的装置，设置于卸料工位，升降结构用于举升晶圆盒接载硅片并能下降晶圆盒使其浸入水箱的水内，抛光结束的硅片卸入晶圆盒内，晶圆盒能稳定接收并浸润储存硅片；水箱能为晶圆盒持续供水且其内部水呈循环状态；旋转结构能够转动上升后的晶圆盒以倾倒盒内残存水；本技术的用于硅片卸料升降的装置，卸料稳定，时刻保持硅片湿润以保证硅片的表面质量，操作简单，方便使用。附图说明以下附图仅旨在于对本技术做示意性说明和解释，并不限定本技术的范围。其中：图1：为本技术的用于硅片卸料升降的装置的剖视图。图2：为本技术的用于硅片卸料升降的装置的俯视图。图3：为本技术的用于硅片卸料升降的装置的侧视图(略去进出水路结构)。图4：为本技术的用于硅片卸料升降的装置的进出水路结构示意图。图中：100、用于硅片卸料升降的装置；1、晶圆盒；11、晶圆盒支架；12、压力感应器；2、水箱；21、接水斗；3、升降结构；31、举升缸筒；32、举升缸杆；33、直线轴承；34、导向轴；4、旋转结构；41、第一铰接座；411、套管；412、轴环；413、轴承；414、螺母；42、第一转轴；43、推拉缸；44、连接架；441、连接顶板；442、连接架侧板；443、连接底板；444、推拉板；5、进出水路结构；51、第一接头；52、第二接头；53、第三接头；54、进水管道；55、第一出水管道；56、第二出水管道；6、机架。具体实施方式为了对本技术的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图说明本技术的具体实施方式。在此描述的本技术的具体实施方式，仅用于解释本技术的目的，而不能以任何方式理解成是对本技术的限制。在本技术的教导下，技术人员可以构想基于本技术的任意可能的变形，这些都应被视为属于本技术的范围。需要说明的是，当元件被称为“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是机械连接或电连接，也可以是两本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于硅片卸料升降的装置，其特征在于，包括，/n晶圆盒，顶部开口且能升降地设置于卸料工位，所述晶圆盒能接载且存储硅片；/n水箱，顶部开口且固定设置于所述晶圆盒的下方，所述水箱用于储水且所述水箱内水呈循环流动状态，所述晶圆盒能下降浸入水箱内浸润存储硅片且能自所述水箱内上升；/n升降结构，连接于所述晶圆盒上，用于升降所述晶圆盒；/n旋转结构，连接于所述升降结构上，用于转动上升后的晶圆盒以倾倒盒内残存水；/n控制部，所述升降结构和所述旋转结构均与所述控制部电连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于硅片卸料升降的装置，其特征在于，包括，
晶圆盒，顶部开口且能升降地设置于卸料工位，所述晶圆盒能接载且存储硅片；
水箱，顶部开口且固定设置于所述晶圆盒的下方，所述水箱用于储水且所述水箱内水呈循环流动状态，所述晶圆盒能下降浸入水箱内浸润存储硅片且能自所述水箱内上升；
升降结构，连接于所述晶圆盒上，用于升降所述晶圆盒；
旋转结构，连接于所述升降结构上，用于转动上升后的晶圆盒以倾倒盒内残存水；
控制部，所述升降结构和所述旋转结构均与所述控制部电连接。
2.如权利要求1所述的用于硅片卸料升降的装置，其特征在于，所述升降结构包括举升缸，所述举升缸包括举升缸筒和举升缸杆，所述举升缸杆的顶部能与所述晶圆盒的顶部侧壁固定连接，所述举升缸杆能沿所述举升缸筒密封滑动带动所述晶圆盒上下移动；所述举升缸与所述控制部电连接。
3.如权利要求2所述的用于硅片卸料升降的装置，其特征在于，所述旋转结构包括固定设置于所述水箱下方的第一铰接座，所述举升缸筒的侧壁下部通过水平的第一转轴铰接于所述第一铰接座，所述第一转轴的中心轴沿所述水箱的长度方向设置；所述旋转结构还包括水平设置于所述第一铰接座下方的推拉缸，所述推拉缸的中心轴沿所述水箱的宽度方向设置，所述推拉缸包括推拉缸筒和推拉缸杆，所述推拉缸杆能沿所述推拉缸筒密封滑动，所述推拉缸杆位于所述推拉缸筒外部的一端铰接于所述举升缸筒的底部，所述推拉缸杆沿水平方向滑动带动所述举升缸筒绕所述第一转轴摆动；所述推拉缸与所述控制部电连接。
4.如权利要求3所述的用于硅片卸料升降的装置，其特征在于，所述举升缸筒的侧壁上连接设置连接架，所述连接架包括连接顶板，所述连接顶板与所述举升缸筒的侧壁上部固定连接，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨兆明，颜凯，中原司，
申请(专利权)人：浙江芯晖装备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33
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