高精密度化学品配比定容器制造技术

本实用新型专利技术公开了高精密度化学品配比定容器，包括容器本体，容器本体包括进液段、出液段以及设于进液段和出液段之间的中间连接段，进液段的下方设有进液端口，其中进液口端通过管路连接有三向气动阀三，且三向气动阀三和原液进口之间的管路上设有气动阀一，三向气动阀三和原液出口之间的管路上设有气动阀二，出液段的顶部设有出液端口，其中出液端口通过管路连接有三向气动阀四，且出液端口和三向气动阀四之间的管路上设有液位传感器，氮气入口和三向气动阀四之间的管路上设有气动阀五。本实用新型专利技术设计合理，结构简单，通过增减中间连接段的数量来调节容器本体的容积，以满足不同使用需求，工艺过程简单，出错率低，具有推广价值。

【技术实现步骤摘要】
高精密度化学品配比定容器
本技术属于定容装置
，具体涉及高精密度化学品配比定容器。
技术介绍
微电子行业的纯化学品及带颗粒(abrasives)的化学品(研磨液，喷砂液，切割液，抛光液等等)，时常因为包装运输方便及工艺需求，需做精密配比。如显影剂中，时常需要精密的浓度配比(如TMAH2.38％+-0.002％)，还有研磨液中的W2000钨导线研磨液及铜导线研磨液，需配置过氧化氢2.2％+-0.05类似范围的浓度等等。这些精密配比中，原液的输入的允许误差常在配比槽的磅秤精准度范围以外甚多，也就是说必须精密到小到一克甚至一克以下的范围。现有的定容装置工艺过程复杂，涉及工具种类繁多，过程繁琐，极易出错，出错后带来经济损失极大，对检测和科学研究的质量管理带来严峻的挑战。
技术实现思路
本技术的目的在于提供高精密度化学品配比定容器，以解决上述
技术介绍
中所提出的问题。为实现上述目的，本技术提供以下技术方案：高精密度化学品配比定容器，其结构要点在于：包括容器本体，容器本体包括进液段、出液段以及设于进液段和出液段之间的中间连接段，且进液段、中间连接段和出液段之间密封连接，进液段的下方设有进液端口，其中进液口端通过管路连接有三向气动阀三，三向气动阀三通过管路分别连接有原液进口和原液出口，且三向气动阀三和原液进口之间的管路上设有气动阀一，三向气动阀三和原液出口之间的管路上设有气动阀二，出液段的顶部设有出液端口，其中出液端口通过管路连接有三向气动阀四，三向气动阀四通过管路分别连接有溢液端口和氮气入口，且出液端口和三向气动阀四之间的管路上设有液位传感器，氮气入口和三向气动阀四之间的管路上设有气动阀五。作为优选的，容器本体外部设有控制器，且控制器分别与气动阀一、气动阀二、三向气动阀三、三向气动阀四、液位传感器和气动阀五相连接。作为优选的，进液段、中间连接段和出液段之间通过螺纹结构密封连接，且进液段、中间连接段和出液段之间设有密封胶圈。作为优选的，进液段和出液段的结构一致，且进液段和出液段的内部均呈锥形结构。作为优选的，中间连接段至少为一个，且中间连接段呈圆筒状结构。作为优选的，原液进口与原液桶相连接。作为优选的，氮气入口与氮气气源相连接。与现有技术相比，本技术设计合理，结构简单，拆装方便，通过增减中间连接段的数量来调节容器本体的容积，以满足不同使用需求，工艺过程简单，出错率低，具有推广价值。附图说明图1为本技术的整体结构示意图；图2为本技术容器本体的内部结构示意图；图3为本技术容器本体的分解结构示意图；图中：1-容器本体，2-进液段，3-出液段，4-中间连接段，5-进液端口，6-原液进口，7-原液出口，8-气动阀一，9-气动阀二，10-三向气动阀三，11-溢液端口，12-溢液端口，13-氮气入口，14-三向气动阀四，15-液位传感器，16-气动阀五。具体实施方式为使本技术实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施方式中的附图，对本技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。请参阅图1-3，本技术提供一种技术方案，高精密度化学品配比定容器，包括容器本体1，所述的容器本体1包括进液段2、出液段3以及设于进液段2和出液段3之间的中间连接段4，且进液段2、中间连接段4和出液段3之间密封连接，所述的进液段2的下方设有进液端口5，其中进液口端5通过管路连接有三向气动阀三10，三向气动阀三10通过管路分别连接有原液进口6和原液出口7，且三向气动阀三10和原液进口6之间的管路上设有气动阀一8，三向气动阀三10和原液出口7之间的管路上设有气动阀二9，所述的出液段3的顶部设有出液端口11，其中出液端口11通过管路连接有三向气动阀四14，三向气动阀四14通过管路分别连接有溢液端口12和氮气入口13，且出液端口11和三向气动阀四14之间的管路上设有液位传感器15，氮气入口13和三向气动阀四14之间的管路上设有气动阀五16。其中，在本实施例中，所述的容器本体1外部设有控制器(图中未显示)，且控制器分别与气动阀一8、气动阀二9、三向气动阀三10、三向气动阀四14、液位传感器15和气动阀五16相连接。其中，在本实施例中本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.高精密度化学品配比定容器，其特征在于：包括容器本体，所述的容器本体包括进液段、出液段以及设于进液段和出液段之间的中间连接段，且进液段、中间连接段和出液段之间密封连接，所述的进液段的下方设有进液端口，其中进液口端通过管路连接有三向气动阀三，三向气动阀三通过管路分别连接有原液进口和原液出口，且三向气动阀三和原液进口之间的管路上设有气动阀一，三向气动阀三和原液出口之间的管路上设有气动阀二，所述的出液段的顶部设有出液端口，其中出液端口通过管路连接有三向气动阀四，三向气动阀四通过管路分别连接有溢液端口和氮气入口，且出液端口和三向气动阀四之间的管路上设有液位传感器，氮气入口和三向气动阀四之间的管路上设有气动阀五。/n

【技术特征摘要】
1.高精密度化学品配比定容器，其特征在于：包括容器本体，所述的容器本体包括进液段、出液段以及设于进液段和出液段之间的中间连接段，且进液段、中间连接段和出液段之间密封连接，所述的进液段的下方设有进液端口，其中进液口端通过管路连接有三向气动阀三，三向气动阀三通过管路分别连接有原液进口和原液出口，且三向气动阀三和原液进口之间的管路上设有气动阀一，三向气动阀三和原液出口之间的管路上设有气动阀二，所述的出液段的顶部设有出液端口，其中出液端口通过管路连接有三向气动阀四，三向气动阀四通过管路分别连接有溢液端口和氮气入口，且出液端口和三向气动阀四之间的管路上设有液位传感器，氮气入口和三向气动阀四之间的管路上设有气动阀五。


2.根据权利要求1所述的高精密度化学品配比定容器，其特征在于：所述的容器本体外部设有控制器，且控制器分别与气动阀一、气动阀二、三向气...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑圣弘，
申请(专利权)人：深圳融科科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44