双载台激光直接成像设备制造技术

本发明专利技术提供一种双载台激光直接成像设备，包括：底座；沿着X方向设置在所述底座上的载台和连接所述载台以驱动所述载台沿着Y方向运动的载台驱动装置，其中，所述载台包括相邻平行设置的第一载台和第二载台；支架，所述支架包括分别设置在所述第一载台和所述第二载台的X方向两侧的两个立柱及连接两个所述立柱的横梁，所述横梁在竖直方向上位于所述第一载台和所述第二载台的上方；对位装置，所述对位装置设置在所述支架的横梁的Y方向的一侧；激光装置，所述激光装置设置在所述支架的横梁的Y方向上与所述对位装置相背的一侧。根据本发明专利技术的双载台激光直接成像设备，能够提高效率、增加产能，蚀刻精度高和蚀刻的稳定性好。

【技术实现步骤摘要】
双载台激光直接成像设备
本专利技术涉及激光直接成像领域，具体涉及一种双载台激光直接成像设备。
技术介绍
激光直接成像设备(LDI)是用激光扫描的方法直接将图像在待蚀刻产品上成像，图像更精细，待蚀刻产品可以为电路板、网版等。为了提升产能，激光直接成像设备设置双载台。但是，现有的双载台激光直接成像设备存在效率低、蚀刻精度和稳定性不高的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供一种双载台激光直接成像设备，能够提高效率、增加产能，蚀刻精度高和蚀刻的稳定性好。为解决上述技术问题，本专利技术提供一种双载台激光直接成像设备，包括：底座；沿着X方向设置在所述底座上的载台和连接所述载台以驱动所述载台沿着Y方向运动的载台驱动装置，其中，所述载台包括相邻平行设置的第一载台和第二载台，所述载台用于承载待蚀刻产品；支架，所述支架包括分别设置在所述第一载台和所述第二载台的X方向两侧的两个立柱及连接两个所述立柱的横梁，所述横梁在竖直方向上位于所述第一载台和所述第二载台的上方；对位装置，所述对位装置设置在所述支架的横梁的Y方向的一侧，用于对所述待蚀刻产品进行对位；激光装置，所述激光装置设置在所述支架的横梁的Y方向上与所述对位装置相背的一侧，用于对所述待蚀刻产品进行蚀刻。进一步地，所述对位装置包括：对位相机滑轨，所述对位相机滑轨沿着所述支架的横梁的X方向设置；对位相机，所述对位相机可滑动地连接所述对位相机滑轨，通过所述对位相机对所述待蚀刻产品进行对位；对位相机驱动装置，所述对位相机驱动装置驱动所述对位相机沿着所述对位相机滑轨运动。进一步地，所述对位相机包括第一对位相机和第二对位相机；所述对位相机驱动装置包括第一对位相机驱动装置和第二对位相机驱动装置，所述第一对位相机驱动装置驱动第一对位相机沿着所述对位相机滑轨运动，所述第二对位相机驱动装置驱动所述第二对位相机沿着所述对位相机滑轨运动。进一步地，所述激光装置包括：光学系统滑轨，所述光学系统滑轨沿着所述支架的横梁的X方向设置；安装板，所述安装板可滑动地连接所述光学系统滑轨；光学系统，所述光学系统设置在所述安装板上，所述激光装置通过所述光学系统传递激光，以对所述待蚀刻产品进行蚀刻；光学系统驱动装置，所述光学系统驱动装置驱动所述安装板沿着所述光学系统滑轨运动。进一步地，所述光学系统有多个，多个所述光学系统均匀地间隔开设置在所述安装板上。进一步地，所述激光装置还包括：校正装置，所述校正装置包括校正相机，所述校正相机设置在所述安装板的外缘用于采集蚀刻后图像，所述校正装置根据所述蚀刻后图像确定偏差以校正蚀刻精度。进一步地，所述校正相机有两个，分别邻近沿着X方向排列的多个所述光学系统中的第一个所述光学系统和最后一个所述光学系统。进一步地，所述载台驱动装置、所述对位相机驱动装置及所述光学系统驱动装置均包括直线电机。进一步地，双载台激光直接成像设备还包括：第一升降装置，所述第一升降装置设置在所述底座上且连接在所述第一载台的下方，以驱动所述第一载台进行升降运动；第二升降装置，所述第二升降装置设置在所述底座上且连接在所述第二载台的下方，以驱动所述第二载台进行升降运动。进一步地，双载台激光直接成像设备还包括：控制系统，所述控制系统连接所述载台驱动装置、所述对位装置及所述激光装置，所述控制系统控制所述载台驱动装置驱动其中一个所述载台至蚀刻工位通过所述激光装置进行蚀刻过程中，所述控制系统还控制所述载台驱动装置驱动另一个所述载台在上料工位等待上料、从上料工位运动至蚀刻工位及通过所述对位装置进行对位。本专利技术的上述技术方案至少具有如下有益效果之一：根据本专利技术的双载台激光直接成像装置，包括底座、载台、载台驱动装置、支架、对位装置及激光装置，第一载台和第二载台承载待蚀刻产品在底座上进行Y方向运动，在固定设置的支架的横梁的Y方向的两侧分别设置对位装置和激光装置，由第一载台和第二载台进行Y方向运动，能够避免支架带动设置在支架上的精密部件(对位装置和激光装置)进行Y方向运动，避免发生对位装置和激光装置发生位置变化的情况而造成蚀刻图像偏移的情况，单独设置的对位装置运动行程更大，能够对位产品的所有区域，提高对位精度，整个设备自动化运行能够提高蚀刻效率，通过第一载台和第二载台独立对待蚀刻产品进行作业，能够节省单个待蚀刻产品的作业时间，提高效率，增加产能。附图说明图1为根据本专利技术一实施例的双载台激光直接成像设备的结构示意图；图2为图1中的双载台激光直接成像设备的后方的结构示意图。附图标记：100、底座；210、第一载台；220、第二载台；300、支架；310、立柱；320、横梁；410、对位相机；510、光学系统；520、安装板；610、校正相机。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例的附图，对本专利技术实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本专利技术的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。除非另作定义，本专利技术中使用的技术术语或者科学术语应当为本专利技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本专利技术中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”或者“一”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也相应地改变。下面，参考附图说明根据本专利技术实施例的双载台激光直接成像设备。如图1和图2所示，根据本专利技术的双载台激光直接成像设备包括：底座100、载台、载台驱动装置、支架300、对位装置及激光装置。首先，说明底座100。底座100设置在安装面上，用于使得设置在底座100上的其他部件稳定。进一步地，底座100的材料为大理石材料。大理石材料具有不变形，硬度高，耐磨性强的特定，底座100使用大理石材料，使得承载在底座100上的部件运动过程中振动较小、运动稳定，能够提高蚀刻精度。接着，说明载台和载台驱动装置。沿着X方向设置在底座100上的载台和连接载台以驱动载台沿着Y方向运动的载台驱动装置，其中，载台包括相邻平行设置的第一载台210和第二载台220，载台用于承载待蚀刻产品。第一载台210和第二载台220沿着X方向相邻平行设置，用于承载待蚀刻产品。通过两个载台驱动装置分别驱动第一载台210、第二载台220沿着Y方向运动，以便对待蚀刻产品进行蚀刻。其中，载台驱动装置可以为电机等本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种双载台激光直接成像设备，其特征在于，包括：/n底座(100)；/n沿着X方向设置在所述底座(100)上的载台和连接所述载台以驱动所述载台沿着Y方向运动的载台驱动装置，其中，所述载台包括相邻平行设置的第一载台(210)和第二载台(220)，所述载台用于承载待蚀刻产品；/n支架(300)，所述支架(300)包括分别设置在所述第一载台(210)和所述第二载台(220)的X方向两侧的两个立柱(310)及连接两个所述立柱(310)的横梁(320)，所述横梁(320)在竖直方向上位于所述第一载台(210)和所述第二载台(220)的上方；/n对位装置，所述对位装置设置在所述支架(300)的横梁(320)的Y方向的一侧，用于对所述待蚀刻产品进行对位；/n激光装置，所述激光装置设置在所述支架(300)的横梁(320)的Y方向上与所述对位装置相背的一侧，用于对所述待蚀刻产品进行蚀刻。/n

【技术特征摘要】
1.一种双载台激光直接成像设备，其特征在于，包括：
底座(100)；
沿着X方向设置在所述底座(100)上的载台和连接所述载台以驱动所述载台沿着Y方向运动的载台驱动装置，其中，所述载台包括相邻平行设置的第一载台(210)和第二载台(220)，所述载台用于承载待蚀刻产品；
支架(300)，所述支架(300)包括分别设置在所述第一载台(210)和所述第二载台(220)的X方向两侧的两个立柱(310)及连接两个所述立柱(310)的横梁(320)，所述横梁(320)在竖直方向上位于所述第一载台(210)和所述第二载台(220)的上方；
对位装置，所述对位装置设置在所述支架(300)的横梁(320)的Y方向的一侧，用于对所述待蚀刻产品进行对位；
激光装置，所述激光装置设置在所述支架(300)的横梁(320)的Y方向上与所述对位装置相背的一侧，用于对所述待蚀刻产品进行蚀刻。


2.根据权利要求1所述的双载台激光直接成像设备，其特征在于，所述对位装置包括：
对位相机滑轨，所述对位相机滑轨沿着所述支架(300)的横梁(320)的X方向设置；
对位相机(410)，所述对位相机(410)可滑动地连接所述对位相机滑轨，通过所述对位相机(410)对所述待蚀刻产品进行对位；
对位相机驱动装置，所述对位相机驱动装置驱动所述对位相机(410)沿着所述对位相机滑轨运动。


3.根据权利要求2所述的双载台激光直接成像设备，其特征在于，
所述对位相机(410)包括第一对位相机和第二对位相机；
所述对位相机驱动装置包括第一对位相机驱动装置和第二对位相机驱动装置，所述第一对位相机驱动装置驱动第一对位相机沿着所述对位相机滑轨运动，所述第二对位相机驱动装置驱动所述第二对位相机沿着所述对位相机滑轨运动。


4.根据权利要求1所述的双载台激光直接成像设备，其特征在于，所述激光装置包括：
光学系统滑轨，所述光学系统滑轨沿着所述支架(300)的横梁(320)的X方向设置；
安装板(520)，所述安装板(520)可滑动地连接所述光学系...

【专利技术属性】
技术研发人员：温延培，祝锁，魏亚菲，刘长清，曹葵康，蔡雄飞，
申请(专利权)人：苏州天准科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32