本发明专利技术提供一种能够可靠检测透明或半透明物体中所产生的缺口或开裂等缺陷的边缘传感器和缺陷检查装置。本发明专利技术的边缘传感器从多个感光单元以规定间隔排列而成的线型传感器的输出来对位于单色平行光的光路中的透明体或半透明体的边缘位置进行检测时，从自由空间侧开始对线型传感器的输出进行搜索，将物体其边缘产生的光量分布图案当中其光量下降至第一光量阈值的位置作为第一检测位置检出，而且将光量进一步下降后增加至第二光量阈值的位置作为所述物体的第二检测位置检出。而且根据沿边缘扫描检查部位时的第一和第二检测位置的变化来检测缺口或开裂等缺陷。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及适合于对例如液晶玻璃的边缘的缺口和开裂进行检测的边缘传感器和使 用该边缘传感器的缺陷检査装置。
技术介绍
本申请专利技术人先前有一提案，着眼于物体边缘的单色平行光的菲涅耳衍射，通过分析 使用多个感光单元按规定间隔排列而成的线型传感器检测出的光量分布图案，以上述线型 传感器的感光单元的排列间隔以上的精度高精度地检测上述物体的边缘位置(参照日本专 利第3858994号公报)。而且，还针对液晶玻璃等透明体、半透明体提出了通过着眼于上述菲涅耳衍射来高精 度地检测其边缘位置的技术方案(参照例如日本特开2007—64733号公报)。但玻璃体的边缘一旦存在缺口或开裂，便会受到玻璃体内部的上述缺口和开裂引起的 缺陷部位的反射光的影响。因此，难以从上述菲涅耳衍射的光量分布图案正确检测该边缘。 而且，即便是沿着该边缘移动线型传感器来检测边缘存在缺口或开裂的玻璃体的边缘位 置，也难以明确检测出边缘位置的变化。因此，也难以确定玻璃体中产生缺口或开裂的缺 陷部位。
技术实现思路
本专利技术正是考虑到上述情况，其目的在于提供一种从物体边缘的菲涅耳衍射所产生的 光量分布图案检测上述物体边缘位置的边缘传感器，尤其是能够可靠检测出诸如液晶玻璃 这种透明或半透明物体所产生的缺口或开裂等缺陷的边缘传感器。同时，本专利技术其目的在于，提供一种能够用上述边缘传感器，高精度地检测出诸如液 晶玻璃这种透明或半透明物体所产生的缺口或开裂等缺陷部位的缺陷检查装置。为了达到上述目的，本专利技术的边缘传感器，包括多个感光单元以规定间隔排列而成 的线型传感器；将单色平行光朝向该线型传感器投射的光源；以及对所述线型传感器的输 出进行分析来对位于所述单色平行光的光路中的物体其特定位置(边缘)进行检测的运算部，其特征在于，所述运算部构成为例如从自由空间侧起对所述线型传感器的输出进行搜索来分析所 述线型传感器上的光量分布图案，尤其是包括(A) 第一位置检测手段，其将对透明或半透明物体的边缘所产生的光量分布图案从 其一端部朝向另一端部搜索时光量下降至以自由空间处的光量为基准确定的第一光量阈 值的位置作为所述物体的第一检测位置求出；(B) 第二位置检测手段，其将从检测到的第一检测位置起光量进一步下降后增加至 以所述自由空间处的光量为基准确定的第二光量阈值的位置作为所述物体的第二检测位 置来求出。另外，对于所述第一和第二光量阈值可分别设定，也可作为相同值来提供。 本专利技术的缺陷检査装置，其特征在于，构成为具有上述构成的边缘传感器，包括(a) 扫描手段，其使所述边缘传感器中的所述线型传感器沿所述透明或半透明物体 的边缘移动，或使透明或半透明物体在与所述边缘传感器中的线型传感器相交叉的方向上 移动；以及(b) 缺陷检测手段，其随所述线型传感器或所述物体的扫描对所述边缘传感器中的 所述第一和第二位置检测手段分别检测出的第一检测位置和第二检测位置的变化进行监 视，并当第一或第二检测位置的变化量超过预先设定的阈值时执行发出警告等规定处理。本专利技术的另一缺陷检査装置，其特征在于，构成为具有上述构成的边缘传感器，包括(C) 遮光宽度检测手段，其将所述边缘传感器中的所述第一和第二位置检测手段分 别检测出的第一检测位置和第二检测位置之差作为遮光宽度来求出；(a)扫描手段，其使所述边缘传感器中的所述线型传感器沿所述透明或半透明物体的边缘移动，或使透明或半透明物体在与所述边缘传感器中的线型传感器相交叉的方向上移动；以及(d)缺陷检测手段，其随所述线型传感器或所述物体的扫描对所述遮光宽度检测手 段求出的遮光宽度进行监视，并当该遮光宽度超过预先设定的阈值时发出警告。另外，还构成为所述透明或半透明的物体是玻璃板，所述缺陷检测手段检测出上述玻 璃板边缘的缺口或开裂、甚至是凹部(使边缘线变形的较大缺口)并发出表明存在缺陷的 警告。(专利技术效果)采用上述构成的边缘传感器，从物体的边缘所产生的光量分布图案中检测出其光量下降至以自由空间处的光量为基准确定的第一光量阈值的位置(光量发生较大变化的部位) 作为所述物体的第一检测位置(例如边缘位置)，而且上述物体是透明或半透明的，因此 将物体侧所产生的光量与如上所述检出的第一检测位置相比较大的变化部位作为从上述 第一检测位置起光量进一步下降后增加至以自由空间处的光量为基准确定的第二光量阈 值的第二检测位置检出，因此可根据上述两个检测位置的关系来判定上述物体的边缘是否 存在缺陷。具体来说，物体的边缘存在缺口、开裂等缺陷的情况下，透明或半透明物体内部的光 透射作用因这些缺陷而发生变化，其光量分布图案便与没有缺陷的正常边缘所产生的光量 分布图案不同，因而可很容易根据上述两个检测位置判定该光量分布图案的变化。因此， 可很容易根据上述两个检测位置的关系判定物体边缘是否存在缺陷。而采用本专利技术的缺陷检査装置，使边缘传感器中的上述线型传感器沿上述透明或半透 明物体的边缘移动，或使透明或半透明物体在与上述边缘传感器中的线型传感器相交叉的 方向上移动分别求出上述第一和第二检测位置，求出上述检出的检测位置的趋势，从而可 以从上述两个检测位置的变化检出缺口或开裂缺陷，而且可很容易根据检出缺陷时的上述 检测位置的检测部位信息(扫描位置信息)确定该缺陷所在位置。所以，可着眼于透明或半透明物体其边缘的光量分布图案的变化，简易且有效地检测 上述物体的边缘存在的缺口或开裂等缺陷，因而其实用优势较大。附图说明图l图示的是本专利技术一实施方式的边缘传感器和缺陷检测装置的大体构成。 图2图示的是线型传感器的光量分布图案和上述边缘传感器检测出的检测位置两者间 的关系。图3图示的是光量分布图案其随边缘有无缺陷和该缺陷种类而有所变化的变化对比。图4图示的是第一和第二检测位置随检査部位的扫描而变化的情况。图5图示的是第一和第二检测位置相对于边缘传感器或半透明体的移动量而变化的情况。(标号说明)10 边缘传感器11 线型传感器12 光源13 光学头14 运算器(CPU)15 第一位置检测手段16 第二位置检测手段21 扫描手段(扫描机构)22 缺陷检测手段(趋势判定手段)23 存储器具体实施例方式下面参照附图说明本专利技术一实施方式的边缘传感器、使用该边缘传感器的缺陷检测装置。图1是检测诸如液晶玻璃等透明或半透明物体A的特定位置(例如边缘位置)的边缘传 感器IO、利用该边缘传感器10对上述物体A的位置检测对象部位进行扫描的同时监视上述 边缘传感器10的输出来检测上述物体A中有无缺陷的缺陷检测装置的大体构成图。该边缘传感器10包括下列构成光学头13，其将多个感光单元以规定间隔按直线排列 而成的线型传感器11与将单色平行光朝向该线型传感器11投射的光源12隔开规定距离相 对配置；以及运算器14，其对上述线型传感器ll的输出进行分析来检测上述单色平行光的 光路中置放的物体A的特定位置(例如边缘位置)。另外，光学头13的基本结构(构成)如同上述专利第3858994号公报和日本特开2007 一64733号公报等所披露的那样，是众所周知的。另外，上述边缘传感器10对上述物体A的 位置检测对象部位的扫描是通过使上述边缘传感器10中的上述线型传感器11 (光学头13) 沿上述透明或半透明的物体A的边缘移动来进行的。或者相反使上述透明或半本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种边缘传感器，包括：多个感光单元以规定间隔排列而成的线型传感器；将单色平行光朝向该线型传感器投射的光源；以及对所述线型传感器的输出进行分析来对位于所述单色平行光的光路中的物体其边缘进行检测的运算部，其特征在于， 所述运算部包括第一位置检测手段和第二位置检测手段，所述第一位置检测手段将对透明或半透明物体的边缘所产生的光量分布图案从其一端部朝向另一端部搜索时光量下降至以自由空间处的光量为基准确定的第一光量阈值的位置作为所述物体的第一检测位置求出，所述第二位置检测手段将从检测到的第一检测位置起光量进一步下降后增加至以所述自由空间处的光量为基准确定的第二光量阈值的位置作为所述物体的第二检测位置来求出。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：冈山喜彦，
申请(专利权)人：株式会社山武，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。