一种便于放置载样网的扫描电镜用样品台制造技术

本实用新型专利技术属于扫描电镜用样品台技术领域，具体是一种便于放置载样网的扫描电镜用样品台，包括圆台、载样网固定槽、工具水平进出槽和工具竖直进出槽。在圆台上部沿圆周均匀分布有载样网固定槽，载样网固定槽靠近圆台边缘的位置设有工具水平进出槽，两个工具竖直进出槽设在载样网固定槽的圆周外部且关于载样网固定槽的圆心对称分布。本实用新型专利技术可保证载样网放置好后不会从样品台上掉落遗失，而且载样网的位置排列有序，不需要使用导电胶带，安装载样网时工具进出便捷顺利，降低了操作难度，提高了科研人员的工作效率。本实用新型专利技术构思新颖，结构巧妙，操作方便，工作效率高，是扫描电镜用样品台方面的创新。

【技术实现步骤摘要】
一种便于放置载样网的扫描电镜用样品台
本技术属于扫描电镜用样品台
，特别是一种便于放置载样网的扫描电镜用样品台。
技术介绍
扫描电子显微镜扫描电镜是一种现代材料分析中的重要仪器，它具有放大倍数可调范围宽、成像分辨率高、景深大等特点，广泛应用于冶金学、材料学、生物学、医学等领域，促进了各有关学科的迅速发展。扫描电镜的一个重要特点是景深大，扫描电镜的焦深比透射电子显微镜大数十倍，比光学显微镜大几百倍。由于图像景深大，故所得扫描电子图像富有立体感，具有三维形态，能够提供比其它显微镜更多的信息，具有极大的使用价值。扫描电镜所显示的样品形貌在教学、科研和生产中，有着其它电镜不可替代的作用。样品台是扫描电镜的关键部件之一，它用以承载样品，并通过电子系统成像表征样品的特征。由于扫描电镜自身结构特点，待观测的试样需要稳定地安置于样品台上，且被观测表面要垂直于电子束的入射方向。在科研和生产过程中，技术人员普遍遇到了下述问题：在观察微粉体样品表面形貌时，尤其是微米级、亚微米级、纳米级粉体颗粒，如果将粉体直接固定在导电胶带上进行观察，粉体团聚严重，无法清晰观察样品表面形貌。科研人员从长期工作经验中摸索出一种方法，即利用经常适于用观察透射成像的载样网，将粉末样品与不发生反应的溶剂(一般为无水乙醇)配成悬浮液，然后超声振荡分散，用一次性滴管将悬浮液滴在载样网上，等其干燥后移至样品台上，用导电胶带将其与样品台固定在一起，然后进行镀金或喷碳处理后进入样品仓，再扫描观察样品表面形貌，取得了很好的效果。载样网若是铜材质，就称铜网，如果是镍、钼、金、尼龙，就相应的称镍网、钼网、金网、尼龙网等。单独使用的载样网也称作裸网，用于观察样品表面形貌时，只需要用裸网即可，不必带有支持膜。这样的做法存在如下缺点：①载样网体积小，常用标准为直径3.05mm，厚度18μm，很容易从样品台上掉落遗失，而且很难有序排列，观察时容易记错位置；②载样网放置在样品台上时，需要使用导电胶带，提高了科研成本；③用工具(通常为尖头摄子)夹持载样网移动、放置时，无论工具与载样网平行或垂直，操作难度都较大，便捷度很差，还容易造成制备有样品的载样网翻转失效，或对已放置好的载样网形成污染，科研效率低。如何解决上述问题，是本领域技术人员工作的当务之急。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种便于放置载样网的扫描电镜用样品台，解决如下技术问题：①载样网容易从样品台上掉落遗失且排列无序；②需要使用导电胶带，科研成本高；③利用工具(通常为尖头摄子)夹紧载样网时，无论工具与载样网平行或垂直，操作难度均较大，便捷度差，科研效率低。本技术采用如下技术方案：一种便于放置载样网的扫描电镜用样品台，包括圆台、载样网固定槽、工具水平进出槽和工具竖直进出槽。所述的圆台呈圆柱形，在圆台上部沿圆周均匀分布有载样网固定槽，所述的载样网固定槽呈圆形，载样网固定槽靠近圆台边缘的位置设有工具水平进出槽，所述工具水平进出槽是一种矩形凹槽，工具水平进出槽的中心线指向载样网固定槽的圆心，工具水平进出槽一端在圆台边沿，另一端在载样网固定槽内，工具水平进出槽的深度大于载样网固定槽的深度。所述工具竖直进出槽设在载样网固定槽的圆周外部，每个载样网固定槽上有两个工具竖直进出槽且关于载样网固定槽的圆心对称分布，工具竖直进出槽中心线的连线与工具水平进出槽的中心线垂直，工具竖直进出槽的深度与载样网固定槽的深度相同。所述的载样网固定槽的直径为3.4mm-3.6mm，深度为0.3mm-0.5mm。所述的工具水平进出槽处于载样网固定槽内的长度为1.0mm-1.2mm。所述的工具水平进出槽的深度为1.5mm-2.0mm。所述的载样网固定槽上的两个工具竖直进出槽的两顶端端面之间的距离为5.6mm-6.0mm。本技术具有以下有益技术效果：1、载样网固定槽的直径略大于载样网的直径，载样网放置好后不会从样品台上掉落遗失，而且载样网的位置排列有序，便于观察测试。2、载样网在样品台上放置时不需要使用导电胶带，节约了科研成本。3、利用工具(通常为尖头摄子)水平夹紧载样网边缘(即摄子与载样网平面平行)，将载样网放入载样网固定槽，然后将工具从工具水平进出槽中撤离，载样网放置便捷顺利，降低了操作难度，提高了科研人员的工作效率。4、利用工具(通常为尖头摄子)竖直夹紧载样网两边(即摄子与载样网平面垂直)，将载样网放入载样网固定槽，此时工具进入工具竖直进出槽，然后将工具从工具竖直进出槽中撤离，载样网放置便捷顺利，降低了操作难度，提高了科研人员的工作效率。附图说明图1为本技术一种便于放置载样网的扫描电镜用样品台主视图；图2为图1中A-A面的剖视图；图3为图1中B-B面的剖视图；图4为图1中C向的向视图。附图标记说明：1、圆台；2、载样网固定槽；3、工具水平进出槽；4、工具竖直进出槽。具体实施方式下面结合附图进一步详细描述本技术的技术方案，但本技术的保护范围不局限于以下所述。如图1至图4所示，一种便于放置载样网的扫描电镜用样品台，包括圆台1、载样网固定槽2、工具水平进出槽3和工具竖直进出槽4。圆台1呈圆柱形，在圆台1上部沿圆周均匀分布有载样网固定槽2，载样网固定槽2呈圆形，载样网固定槽2靠近圆台1边缘的位置设有工具水平进出槽3，工具水平进出槽3是一种矩形凹槽，工具水平进出槽3的中心线指向载样网固定槽2的圆心，工具水平进出槽3一端在圆台1边沿，另一端在载样网固定槽2内，工具水平进出槽3的深度大于载样网固定槽2的深度工具竖直进出槽4设在载样网固定槽2的圆周外部，每个载样网固定槽2上有两个工具竖直进出槽4且关于载样网固定槽2的圆心对称分布，工具竖直进出槽4中心线的连线与工具水平进出槽3的中心线垂直，工具竖直进出槽4的深度与载样网固定槽2的深度相同。载样网固定槽2的直径为3.4mm-3.6mm，深度为0.3mm-0.5mm。常用标准载样网的直径为3.05mm，厚度0.18μm，放入载样网固定槽2时既有一定间隙，又不会有过大位移，载样网放置好后不会从样品台上掉落遗失，而且载样网的位置排列有序，便于观察测试。工具水平进出槽3处于载样网固定槽2内的长度为1.0mm-1.2mm，工具水平进出槽3的深度为1.5mm-2.0mm，载样网固定槽2上的两个工具竖直进出槽4的两顶端端面之间的距离为5.6mm-6.0mm，这样便于夹紧载样网的工具的进出，方便快捷。测试完成后，可以将摄子进入工具水平进出槽3或工具竖直进出槽4中，夹紧载样网，移离样品台，快捷方便，工作效率高。本技术构思新颖，结构巧妙，操作方便，既节约了导电胶带，又排列有序地将载样网放置的牢固可靠，快捷方便，工作效率高。本技术是扫描电镜用样品台方面的创新。上述实施例为本技术较佳的实施方式，但本技术的实施方式并不受上述实施例的限制，而其他的任何未背本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种便于放置载样网的扫描电镜用样品台，其特征在于：包括圆台(1)、载样网固定槽(2)、工具水平进出槽(3)和工具竖直进出槽(4)；/n所述的圆台(1)呈圆柱形，在圆台(1)上部沿圆周均匀分布有载样网固定槽(2)，所述的载样网固定槽(2)呈圆形，载样网固定槽(2)靠近圆台(1)边缘的位置设有工具水平进出槽(3)，所述工具水平进出槽(3)是一种矩形凹槽，工具水平进出槽(3)的中心线指向载样网固定槽(2)的圆心，工具水平进出槽(3)一端在圆台(1)边沿，另一端在载样网固定槽(2)内，工具水平进出槽(3)的深度大于载样网固定槽(2)的深度；/n所述工具竖直进出槽(4)设在载样网固定槽(2)的圆周外部，每个载样网固定槽(2)上有两个工具竖直进出槽(4)且关于载样网固定槽(2)的圆心对称分布，工具竖直进出槽(4)中心线的连线与工具水平进出槽(3)的中心线垂直，工具竖直进出槽(4)的深度与载样网固定槽(2)的深度相同。/n

【技术特征摘要】
1.一种便于放置载样网的扫描电镜用样品台，其特征在于：包括圆台(1)、载样网固定槽(2)、工具水平进出槽(3)和工具竖直进出槽(4)；
所述的圆台(1)呈圆柱形，在圆台(1)上部沿圆周均匀分布有载样网固定槽(2)，所述的载样网固定槽(2)呈圆形，载样网固定槽(2)靠近圆台(1)边缘的位置设有工具水平进出槽(3)，所述工具水平进出槽(3)是一种矩形凹槽，工具水平进出槽(3)的中心线指向载样网固定槽(2)的圆心，工具水平进出槽(3)一端在圆台(1)边沿，另一端在载样网固定槽(2)内，工具水平进出槽(3)的深度大于载样网固定槽(2)的深度；
所述工具竖直进出槽(4)设在载样网固定槽(2)的圆周外部，每个载样网固定槽(2)上有两个工具竖直进出槽(4)且关于载样网固定槽(2)的圆心对称分布，工具竖直进出槽(4)中心线的连线与工具水平进出槽(3)的中心线...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈永，刘胜新，王瑞娟，陈志民，王靖博，连明洋，吴奇隆，冯丽，王鸿杰，王朋旭，禹润缜，李书珍，
申请(专利权)人：郑州大学，
类型：新型
国别省市：河南;41