检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种检测装置，所述检测装置包括：光源单元，包括光源，所述光源用于出射检测光，检测光经检测目标形成信号光；检测单元，包括第一检测通道，所述第一检测通道被配置为具有位于所述检测目标表面的检测区，所述第一检测通道用于收集所述检测区出射的所述第一角度方向的第一信号光；所述检测装置还包括可移动的第一反射装置，所述第一反射装置移入所述第一检测通道与所述检测区之间的光路，使所述检测光以所述第一角度入射至所述检测区；或，所述第一反射装置移入所述第一检测通道与所述检测区之间的光路，使第一检测通道收集所述第一角度方向的第一信号光。应用本实用新型专利技术提供的检测装置，可以有效减小检测装置的体积。

【技术实现步骤摘要】
检测装置
本技术涉及检测
，尤其涉及一种检测装置。
技术介绍
随着半导体制造工艺的发展，缺陷检测已经成为提升半导体良率中一项不可或缺的重要手段。尤其在半导体集成电路制造中，各工艺过程会因为各种原因而引入微粒或者缺陷，随着对超大规模集成电路高集成度和高性能的需求逐渐增加，半导体技术向着更小的特征尺寸发展，这些微粒或者缺陷对集成电路质量的影响也日趋显著，在线缺陷检测的必要性与重要性与日俱增。现有的检测装置一般包括不同角度的入射光束和不同方向的检测通道来进行缺陷检测，但会使得检测装置的体积较大，不利于降低成本。
技术实现思路
有鉴于此，本技术实施例提供一种检测装置，可以有效减小检测装置的体积，降低成本。为实现上述目的，本技术实施例提供如下技术方案：一种检测装置，包括：光源单元，所述光源单元包括光源，所述光源用于出射检测光，所述检测光经检测目标形成信号光；检测单元，所述检测单元包括第一检测通道，所述第一检测通道被配置为具有位于所述检测目标表面的检测区，所述第一检测通道用于收集所述检测区出射的所述第一角度方向的第一信号光；所述检测装置还包括可移动的第一反射装置，所述第一反射装置移入所述第一检测通道与所述检测区之间的光路，使所述检测光以所述第一角度入射至所述检测区；或，所述第一反射装置移入所述第一检测通道与所述检测区之间的光路，使第一检测通道收集所述第一角度方向的第一信号光。优选的，在上述的检测装置中，所述光源单元还用于发射以第二角度入射至检测目标的检测光，所述第二角度与所述第一角度不相同。优选的，在上述的检测装置中，所述光源单元包括：第一入射组件和第二入射组件；所述检测光经所述第一入射组件以所述第一角度入射至检测目标，所述检测光经所述第二入射组件以所述第二角度入射至检测目标。优选的，在上述的检测装置中，所述光源单元包括：分光器，所述分光器用于使所述光源出射的检测光进行分束，形成以所述第一角度和所述第二角度入射至检测目标的检测光束。优选的，在上述的检测装置中，所述分光器为半透半反镜，所述检测光经所述分光器分别入射至所述第一入射组件和所述第二入射组件；或者，所述分光器为可移动的第二反射装置，所述第一反射装置移出所述光源与所述第一入射组件之间的光路，所述检测光入射至所述第一入射组件，所述第一反射装置移入所述光源和所述第二入射组件之间的光路，所述检测光入射至所述第二入射组件。优选的，在上述的检测装置中，所述第一检测通道包括：第一探测器和第一镜头，所述第一镜头用于收集所述检测区的第一信号光，所述第一探测器用于探测所述第一镜头收集的第一信号光，形成检测信号；所述第一反射装置设置在所述第一镜头上。优选的，在上述的检测装置中，所述第一反射装置通过移动方式进出光路，所述移动方式包括旋转或平移中的一者或两者组合。优选的，在上述的检测装置中，所述第一反射装置包括：电机、转轴、第一反射镜以及第一反射镜安装座；所述第一反射镜设置在所述第一反射镜安装座上，所述转轴的两端分别与所述电机和所述第一反射镜安装座连接，所述电机通过所述转轴带动所述第一反射镜绕所述转轴转动。优选的，在上述的检测装置中，所述第一反射镜安装座具有垂直于所述转轴的连接端和安装所述第一反射镜的安装面。优选的，在上述的检测装置中，所述转轴所在方向平行于所述第一角度检测光的入射方向。优选的，在上述的检测装置中，所述第二反射装置包括：驱动机构、连杆、第二反射镜以及第二反射镜安装座；其中，所述第二反射镜安装座用于安装所述第二反射镜，所述连杆的两端分别与所述第二反射镜安装座和所述驱动机构连接，所述驱动机构用于驱动所述第二反射镜沿着所述连杆运动。优选的，在上述的检测装置中，所述第二反射装置包括：反射面，所述驱动机构用于驱动所述反射面沿所述连杆延伸方向移动，或者，用于驱动所述反射面绕所述连杆转动。优选的，在上述的检测装置中，所述连杆的延伸方向垂直或平行于所述检测光的入射面。优选的，在上述的检测装置中，所述检测单元还包括：第二检测通道，所述第二检测通道用于收集所述检测区出射的第三角度方向的第二信号光，所述第三角度与所述第一角度不相同。优选的，在上述的检测装置中，所述第一检测通道和所述第二检测通道所在平面垂直于所述第二角度检测光的入射面。根据上述描述可知，本技术实施例提供的检测装置中，采用了一种可移动的第一反射装置，当所述第一反射装置移入第一检测通道与检测区之间的光路时，所述检测光以第一角度入射至所述检测区，当所述第一反射装置移入所述第一检测通道与所述检测区之间的光路时，第一检测通道收集所述第一角度方向的第一信号光。应用本技术实施例提供的检测装置，可以有效减小检测装置的体积，降低成本。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。图1为本技术实施例提供的一种检测装置的结构示意图；图2为基于图1所述光路图包括检测单元的检测装置结构示意图；图3为本技术实施例提供的另一种检测装置的结构示意图；图4为基于图3所述光路图包括检测单元的检测装置结构示意图；图5为本技术实施例提供的第一反射装置的结构示意图；图6为本技术实施例提供的第三反射装置的结构示意图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。正如
技术介绍
中描述的，现有的检测装置一般包括不同角度的入射光束和不同方向的检测通道来进行缺陷检测，但会使得检测装置的体积较大，不利于降低成本。为了解决上述问题，本技术实施例提供了一种检测装置，所述检测装置包括：光源单元，包括光源，所述光源用于出射检测光，所述检测光经检测目标形成信号光；检测单元，所述检测单元包括第一检测通道，所述第一检测通道被配置为具有位于所述检测目标表面的检测区，所述第一检测通道用于收集所述检测区出射的所述第一角度方向的第一信号光；所述检测装置还包括可移动的第一反射装置，所述第一反射装置移入所述第一检测通道与所述检测区之间的光路，使所述检测光以所述第一角度入射至所述检测区；或，所述第一反射装置移入所述第一检测通道与所述检测区之间的光路，使第一检测通道收集所述第一角度方向的第一信号光。需要说明的是，检测目标可以是晶圆或是其他工件。本申请中以晶圆缺陷检测为例，显然可以基于需求选择待检测目标且本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检测装置，其特征在于，包括：/n光源单元，包括光源，所述光源用于出射检测光，所述检测光经检测目标形成信号光；/n检测单元，所述检测单元包括第一检测通道，所述第一检测通道被配置为具有位于所述检测目标表面的检测区，所述第一检测通道用于收集所述检测区出射的第一角度方向的第一信号光；/n所述检测装置还包括可移动的第一反射装置，所述第一反射装置移入所述第一检测通道与所述检测区之间的光路，使所述检测光以所述第一角度入射至所述检测区；或，所述第一反射装置移出所述第一检测通道与所述检测区之间的光路，使第一检测通道收集所述第一角度方向的第一信号光。/n

【技术特征摘要】
1.一种检测装置，其特征在于，包括：
光源单元，包括光源，所述光源用于出射检测光，所述检测光经检测目标形成信号光；
检测单元，所述检测单元包括第一检测通道，所述第一检测通道被配置为具有位于所述检测目标表面的检测区，所述第一检测通道用于收集所述检测区出射的第一角度方向的第一信号光；
所述检测装置还包括可移动的第一反射装置，所述第一反射装置移入所述第一检测通道与所述检测区之间的光路，使所述检测光以所述第一角度入射至所述检测区；或，所述第一反射装置移出所述第一检测通道与所述检测区之间的光路，使第一检测通道收集所述第一角度方向的第一信号光。


2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述光源单元还用于发射以第二角度入射至检测目标的检测光，所述第二角度与所述第一角度不相同。


3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，所述光源单元包括：第一入射组件和第二入射组件；所述检测光经所述第一入射组件以所述第一角度入射至检测目标，所述检测光经所述第二入射组件以所述第二角度入射至检测目标。


4.根据权利要求3所述的检测装置，其特征在于，所述光源单元包括：
分光器，所述分光器用于使所述光源出射的检测光进行分束，形成以所述第一角度和所述第二角度入射至检测目标的检测光束。


5.根据权利要求4所述的检测装置，其特征在于，所述分光器为半透半反镜，所述检测光经所述分光器分别入射至所述第一入射组件和所述第二入射组件；或者，所述分光器为可移动的第二反射装置，所述第一反射装置移出所述光源与所述第一入射组件之间的光路，所述检测光入射至所述第一入射组件，所述第一反射装置移入所述光源和所述第二入射组件之间的光路，所述检测光入射至所述第二入射组件。


6.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述第一检测通道包括：第一探测器和第一镜头，所述第一镜头用于收集所述检测区的第一信号光，所述第一探测器用于探测所述第一镜头收集的第一信号光，形成检测信号；...

【专利技术属性】
技术研发人员：张龙，黄有为，李璟，陈鲁，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44