元件检查装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种元件检查装置，包括：一个以上的测试部(100)，包括多个测试插座(111)和加压工具(120)，所述多个测试插座(111)以n×m(n、m为2以上的自然数)的排列配置，所述加压工具(120)设置在所述多个测试插座(111)的上侧，对应于所述各个测试插座(111)，在检查时加压于测试插座(111)通过上下移动从测试插座(111)拾取元件(1)；一个以上的主往返运送部(200)，以装载待检查的元件(1)的状态移动到所述测试插座(111)及所述加压工具(120)之间的空间，从所述加压工具(120)接收完成检查的元件(1)，并且由所述加压工具(120)拾取待检查的元件(1)；一个以上的辅助往返运送部(300)，移动于装载/卸载位置(P1)和元件交换位置(P2)之间，其中所述装载/卸载位置(P1)为从装载有待检查的元件(1)的托盘(20)装载元件(1)并卸载完成检查的元件(1)，在所述元件交换位置(P2)与所述主往返运送部(200)交换元件(1)；装载部(410)，配置装载有待检查的元件(1)的托盘(20)；卸载部(420)，配置装载有完成检查的元件(1)的托盘(20)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】元件检查装置
本专利技术涉及元件检查装置，更详细地说涉及在检查多个元件之后根据检查结果进行分类的元件检查装置。
技术介绍
半导体元件(以下，称为“元件”)经过半导体工艺、封装工艺等许多工艺的同时通过元件处理器之一的元件检查装置针对电气特性、热或者压力进行可靠性检查等各种检查。另一方面，对于元件，随着市场竞争的加剧，处于迫切要求降低成本的实情。因此，元件检查装置也有必要通过提高单位时间的处理速度来提高生产力。尤其是，与大量生产的存储器元件不同，需要一种元件检查装置适合于检查生产数量相对少并且种类多样的系统的诸如LSI的LSI元件。
技术实现思路
(要解决的问题)本专利技术意识到如上所述的必要性提供一种元件检查装置，适合于检查生产数量相对少并且种类多样的系统的诸如LSI的LSI元件。本专利技术的另一目的在于，提供一种可明显提高具有相对长的检查时间的元件的检查速度的元件检查装置及元件检查方法。(解决问题的手段)本专利技术是为了达到如上所述的本专利技术的目的而提出的，本专利技术公开了一种元件检查装置，包括：一个以上的测试部100，包括多个测试插座111和加压工具120，所述多个测试插座111以n×m(n、m为2以上的自然数)的排列配置，所述加压工具120设置在所述多个测试插座111的上侧，对应于所述各个测试插座111，在检查时加压于测试插座111通过上下移动从测试插座111拾取元件1；一个以上的主往返运送部200，以装载待检查的元件1的状态移动到所述测试插座111及所述加压工具120之间的空间，从所述加压工具120接收完成检查的元件1，并且由所述加压工具120拾取待检查的元件1；一个以上的辅助往返运送部300，移动于装载/卸载位置P1和元件交换位置P2之间，其中所述装载/卸载位置P1为从装载有待检查的元件1的托盘20装载元件1并卸载完成检查的元件1，在所述元件交换位置P2与所述主往返运送部200交换元件1；装载部410，配置装载有待检查的元件1的托盘20；卸载部420，配置装载有完成检查的元件1的托盘20。(专利技术的效果)本专利技术的元件检查装置为将测试模块的数量及元件的物流运送路线最优化，以更加优化于相比于从托盘装载元件及从托盘卸载元件的速度元件检查速度相对更长的检查工艺，进而具有可将装置的元件检查效率最大化的优点。附图说明图1是示出本专利技术的元件检查装置的配置图。图2a至图2e是示出图1的元件检查装置中测试部中的元件交换过程的概念图。图3是示出在图1的元件检查装置中测试部及主往返运送部的结构的主视图。图4a至图4h是示出在图1的元件检查装置中从辅助往返运送部到测试部之间的元件运送过程的概念图。图5a至图5g是示出在图1的元件检查装置中测试模块及加压工具的更换过程的概图。图6是示出图1的元件检查装置中CCU单元的结构的一示例的概念图。具体实施方式以下，参照附图如下说明本专利技术的元件检查装置。如图1至图3所示，本专利技术的元件检查装置包括：一个以上的测试部100，包括多个测试插座111和加压工具120，所述多个测试插座111以n×m(n、m为2以上的自然数)的排列配置，所述加压工具120设置在多个测试插座111的上侧，对应于各个测试插座111，在检查时加压于测试插座111通过上下移动从测试插座111拾取元件1；一个以上的主往返运送部200，以装载待检查的元件1的状态移动到所述测试插座111及所述加压工具120之间的空间，从所述加压工具120接收完成检查的元件1，并且由所述加压工具120拾取待检查的元件1；一个以上的辅助往返运送部300，移动于装载/卸载位置P1和元件交换位置P2之间，其中所述装载/卸载位置P1为从装载有待检查的元件1的托盘20装载元件1并卸载完成检查的元件1，在所述元件交换位置P2与所述主往返运送部200交换元件1；装载部410，配置装载有待检查的元件1的托盘20；卸载部420，配置装载有完成检查的元件1的托盘20。所述测试部100结构为包括多个测试插座111和加压工具120，所述多个测试插座111以n×m(n、m为2以上的自然数)的排列配置，所述加压工具120设置在所述多个测试插座111的上侧，对应于所述各个测试插座111，在检查时加压于测试插座111通过上下移动从测试插座111拾取元件1，所述测试部100可具有各种结构。作为一示例，所述测试部100可将测试模块110和加压工具120作为一个模块101构成，其中所述测试模块110以n×m(n、m为2以上的自然数)的排列配置安装有元件1并且用于检查的测试插座111，所述加压工具120设置在多个测试插座111的上侧并对应于各个测试插座111，以在检查时加压于测试插座111并且通过上下移动从测试插座111拾取元件1。所述测试模块110作为以n×m(n、m为2以上的自然数)的排列配置安装有元件1并且用于检查的测试插座111的结构，作为对元件1提供检查环境的结构可具有各种结构。所述加压工具120作为设置在多个测试插座111的上侧并对应于各个测试插座111以在检查时加压于测试插座111并且通过上下移动从测试插座111拾取元件1的结构，可具有各种结构。作为一示例，所述加压工具120包括CCU单元121和上下驱动部，所述CCU单元121对应于测试插座111的排列以通过空气压拾取并解除拾取各个元件1，所述上下驱动部上下移动CCU单元121等，所述加压工具120可具有各种结构。然后，所述加压工具120通过各个CCU单元121拾取元件1之后通过下降将元件加压于测试插座111，进而对元件1执行检查。另一方面，对于由所述测试模块110及加压工具120构成的一个模块可具各种结构，例如，为了考虑相比于元件1的装载及卸载速度检查速度更慢的这一点而执行多量的元件检查，如图1至图3所示，在从前方观察时，以水平方向配置多个所述模块，而且向上侧配置多层所述模块等。另外，对于由所述测试模块110及加压工具120构成的一个模块，由于作为检查对象的元件1的种类可能会改变，因此有必要对应于已改变元件1的种类来更换测试模块110及加压工具120。据此，本专利技术的特征在于，关于测试模块110及加压工具120可包括在改变元件1的种类时可自动更换的结构。为此，如图6所示，所述加压工具120可包括：执行元件1的拾取及加压的头部121a和将头部121a结合于主体的自动夹钳121b。此时，所述加压部120还可具有：用于缓和头部121a和元件1接触时的冲击的阻尼部121e；针对测试插座111赋予头部121a微小的自由度以在测试插座111上的顺利接触的浮动部121d。以下，参照图5a至图5g说明在作为检查对象的元件1的规格，尤其是外形尺寸发生变化的情况下的测试模块110及加压工具120的更换过程。如图5a所示，加压工具120使加压工具120的头部121a对应于测试模块110的测试插座111进行下降。如图5b本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种元件检查装置，其特征在于，包括：/n一个以上的测试部(100)，包括多个测试插座(111)和加压工具(120)，所述多个测试插座(111)以n×m的排列配置，其中n、m为2以上的自然数，所述加压工具(120)设置在所述多个测试插座(111)的上侧，对应于所述各个测试插座(111)，在检查时加压于测试插座(111)通过上下移动从测试插座(111)拾取元件(1)；/n一个以上的主往返运送部(200)，以装载待检查的元件(1)的状态移动到所述测试插座(111)及所述加压工具(120)之间的空间，从所述加压工具(120)接收完成检查的元件(1)，并且由所述加压工具(120)拾取待检查的元件(1)；/n一个以上的辅助往返运送部(300)，移动于装载/卸载位置(P1)和元件交换位置(P2)之间，其中所述装载/卸载位置(P1)为从装载有待检查的元件(1)的托盘(20)装载元件(1)并卸载完成检查的元件(1)，在所述元件交换位置(P2)与所述主往返运送部(200)交换元件(1)；/n装载部(410)，配置装载有待检查的元件(1)的托盘(20)；/n卸载部(420)，配置装载有完成检查的元件(1)的托盘(20)。/n...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180311 KR 10-2018-0028348;20180406 KR 10-2018-001.一种元件检查装置，其特征在于，包括：
一个以上的测试部(100)，包括多个测试插座(111)和加压工具(120)，所述多个测试插座(111)以n×m的排列配置，其中n、m为2以上的自然数，所述加压工具(120)设置在所述多个测试插座(111)的上侧，对应于所述各个测试插座(111)，在检查时加压于测试插座(111)通过上下移动从测试插座(111)拾取元件(1)；
一个以上的主往返运送部(200)，以...

【专利技术属性】
技术研发人员：柳弘俊，
申请(专利权)人：宰体有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR