一种手指间距可调的晶圆搬运机构制造技术

本发明专利技术涉及光伏搬运机器人的技术领域，具体提供了一种手指间距可调的晶圆搬运机构，其特征在于，包括底板、导向条、垂直出气孔、倾斜喷气嘴、传感器、喷气嘴进气口、喷气嘴固定块、喷气嘴角度调整轴、垂直出气孔供气块、垂直出气孔进气口；所述底板一端两侧面设有导向条；在底板上设有两排垂直出气孔；所述底板另一端通过喷气嘴固定块和喷气嘴角度调整轴设有两个倾斜喷气嘴，还设有传感器；所述底板背面设有与倾斜喷气嘴连接的喷气嘴进气口；所述底板背面设有与垂直出气孔连接的垂直出气孔供气块，垂直出气孔供气块上设有垂直出气孔进气口。本发明专利技术能够满足小空间内光伏下表面非接触式取片，采用吹气方式，具备结构紧凑、重量轻、传输稳定。

【技术实现步骤摘要】
一种手指间距可调的晶圆搬运机构
本专利技术涉及晶圆搬运机器人的
，特别涉及一种手指间距可调的晶圆搬运机构。
技术介绍
目前在光伏制造工序中，通常需要在不同制成设备间进行晶圆盒的转换。在下表面植绒工艺完成后光伏片下表面非常脆弱极易造成损伤，需要搬运机器人在不损伤植绒表面的前提下将光伏片从花篮中取出，传输到下一工序。传统的手指机构只能通过接触光伏片下表面或真空吸取光伏片上表面的方式将其在花篮中取出，在下表面植绒工艺后为不破坏光伏片植绒无法使用接触式手指和皮带取片，使用上表面真空手指将大大降低取片速度。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本专利技术的目的在于提供一种手指间距可调的晶圆搬运机构，且手指后发可直接连接传送带或机器人。为了实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：一种手指间距可调的晶圆搬运机构，包括底板、导向条、垂直出气孔、倾斜喷气嘴、传感器、喷气嘴进气口、喷气嘴固定块、喷气嘴角度调整轴、垂直出气孔供气块、垂直出气孔进气口；所述底板一端两侧面设有导向条；在底板上设有两排垂直出气孔；所述底板另一端通过喷气嘴固定块和喷气嘴角度调整轴设有两个倾斜喷气嘴，还设有传感器；所述底板背面设有与倾斜喷气嘴连接的喷气嘴进气口；所述底板背面设有与垂直出气孔连接的垂直出气孔供气块，垂直出气孔供气块上设有垂直出气孔进气口。本专利技术的优点及有益效果为：1.本专利技术提供水平非接触式取片手指、能够满足在下表面植绒光伏片在不同工艺之间传输需求，通过传感器检测花篮内光伏片由电磁阀控制气孔和喷嘴喷气来实现高效取片。在不损坏植绒表面的前提下提高了光伏片制造生产过程中的传输效率。2.本专利技术通过安装在机器人和取代原皮带取片手指，实现高速、高精度的取片传输。有效地解决了光伏片的取片速度，提高设备产能。附图说明图1是本专利技术的工作过程中俯视图。图2是本专利技术的整体结构俯视图。图3是本专利技术的仰视图。图4是本专利技术的侧视图之一。图5是本专利技术的侧视图之二。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图和具体实施例对本专利技术进行详细描述。如图1-5所示，一种手指间距可调的晶圆搬运机构，包括底板2、导向条3、垂直出气孔4、倾斜喷气嘴5、传感器6、喷气嘴进气口7、喷气嘴固定块8、喷气嘴角度调整轴9、垂直出气孔供气块10、垂直出气孔进气口12；所述底板2一端两侧面设有导向条3；在底板2上设有两排垂直出气孔4；所述底板2另一端通过喷气嘴固定块8和喷气嘴角度调整轴9设有两个倾斜喷气嘴5，还设有传感器6；所述底板2背面设有与倾斜喷气嘴5连接的喷气嘴进气口7；所述底板2背面设有与垂直出气孔4连接的垂直出气孔供气块10，垂直出气孔供气块10上设有垂直出气孔进气口12。底板2上设有调整导向条3间距的导向条可调整固定孔11。当底板2伸到花篮内传感器检测到光伏片时，通过控制电磁阀打开，将压缩空气冲入垂直出气孔供气块内，压缩空气由垂直出气孔排出，形成空气垫，将光伏片吹起使其悬浮于底板2上方；倾斜喷气嘴5通过喷气嘴角度调整轴9固定于喷气嘴固定块8上，实现倾斜喷气嘴5出气角度可调节，当光伏片悬浮后，通过控制电磁阀打开，将压缩空气由喷嘴进气口进入倾斜喷气嘴5，倾斜喷气嘴5喷出气体带动光伏片向后水平运动，使光伏片沿空气导轨向后运动，将光伏片在花篮中取出，重复以上动作直至将整个花篮内光伏片全部取出。本专利技术的工作原理为：电磁阀控制压缩空气向手指内部充气，压缩空气由手指垂直出气孔喷出，在手指表面形成气垫效果。使光伏片漂浮于手指表面，通过调整充气压力可以调节光伏片漂浮高度。电磁阀控制倾斜喷嘴喷出压缩空气，将光伏片沿手指方向将其在花篮内吹出，通过控制吹起压力来调节光伏片的运动速度。通过两侧导向条限制光伏片在手指上的运动范围。本专利技术提供的手指可以在水平状态下，非接触式取出光伏片。彻底解决高速取片时由手指造成的光伏片下表面损伤。提高了光伏片造生产过程的传输效率。以上所述仅为本专利技术的实施方式，并非用于限定本专利技术的保护范围，凡在本专利技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换、改进、扩展等，均包含在本专利技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种手指间距可调的晶圆搬运机构，其特征在于，包括底板、导向条、垂直出气孔、倾斜喷气嘴、传感器、喷气嘴进气口、喷气嘴固定块、喷气嘴角度调整轴、垂直出气孔供气块、垂直出气孔进气口；/n所述底板一端两侧面设有导向条；在底板上设有两排垂直出气孔；/n所述底板另一端通过喷气嘴固定块和喷气嘴角度调整轴设有两个倾斜喷气嘴，还设有传感器；/n所述底板背面设有与倾斜喷气嘴连接的喷气嘴进气口；/n所述底板背面设有与垂直出气孔连接的垂直出气孔供气块，垂直出气孔供气块上设有垂直出气孔进气口。/n

【技术特征摘要】
1.一种手指间距可调的晶圆搬运机构，其特征在于，包括底板、导向条、垂直出气孔、倾斜喷气嘴、传感器、喷气嘴进气口、喷气嘴固定块、喷气嘴角度调整轴、垂直出气孔供气块、垂直出气孔进气口；
所述底板一端两侧面设有导向条；在底板上设有两排垂直出气孔；
所述底板另一端通过喷气嘴固定块和喷气嘴角度调整轴设有两个倾斜喷气嘴，还设有传感器；
所述底板背面设有与倾斜喷气嘴连接的喷气嘴进气口；
所述底板背面设有与垂直出气孔连接的垂直出气孔供气块，垂直出气孔供气块上设有垂直出气孔进气口。


2.根据权利要求1所述的一种手指间距可调的晶圆搬运机构...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭强，杜荣赫，
申请(专利权)人：沈阳富创精密设备有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21