一种电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法技术

本发明专利技术公开了一种电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法，包括：载入待扫描样品；设置若干参数；定义待扫描样品的样品中心位置和待扫描样品的半径值，以样品中心位置为圆心、半径值为半径形成圆；定义待扫描样品的扫描区域；在扫描区域内选择有限多个点，根据点的数量在圆内选择合适位置将圆均分，并确定若干点的位置；确定焦点位置并自动设置放大倍数，同时激发自动聚焦；根据焦点位置自动计算待扫描样品的平面信息并进行水平校正；根据参数以及电子显微镜自动设定的对比度和亮度，逐个扫描用户指定的所有扫描区域。本发明专利技术大幅提高了全样品扫描的效率，为实现全样品或部分区域的快扫提供了可行方案。

【技术实现步骤摘要】
一种电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法
本专利技术涉及电子显微镜的
，尤其涉及一种电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法。
技术介绍
扫描电子显微镜技术的进步使得对大面积样品的全样品扫描或者随机区域的扫描成为可能。然而，由于其固有扫描条件设置的要求和为了获得清晰的照片，一般而言需要对每一个取图点进行调焦和其他条件手动设置，因此对于大样品而言，这样的全样品扫描是非常耗时的甚至难以实现的。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的目的在于提供一种电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法。本专利技术采用的技术方案如下：一种电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法，其中，包括：步骤S1：用户载入待扫描样品；步骤S2：用户设置若干参数；步骤S3：用户定义所述待扫描样品的样品中心位置和所述待扫描样品的半径值，以所述样品中心位置为圆心、所述半径值为半径形成圆；用户定义所述待扫描样品的扫描区域；步骤S4：电子显微镜在所述扫描区域内选择有限多个点，根据所述点的数量在所述圆内选择合适位置将所述圆均分，并确定若干所述点的位置；步骤S5：电子显微镜确定焦点位置并自动设置放大倍数，同时激发自动聚焦；电子显微镜根据所述焦点位置自动计算所述待扫描样品的平面信息并进行水平校正；步骤S6：电子显微镜根据所述参数以及电子显微镜自动设定的对比度和亮度，逐个扫描用户指定的所有所述扫描区域。上述的电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法，其中，在所述步骤S2中，若干所述参数包括：放大倍数和电压。上述的电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法，其中，在所述步骤S3中，所述扫描区域为全样品扫描区域或随机的任意区域。上述的电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法，其中，在所述步骤S4中，电子显微镜在所述扫描区域内选择三个点。上述的电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法，其中，在所述步骤S4和所述步骤S5中，电子显微镜根据所述待扫描样品大小确定三点聚焦焦点位置。上述的电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法，其中，在所述步骤S4和所述步骤S5中，若所述待扫描样品为非圆形平面样品，则根据所述待扫描样品的形貌，以将所述待扫描样品分割为若干小块均匀区域为原则，确定多点聚焦焦点位置。上述的电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法，其中，在所述步骤S5中，电子显微镜根据若干所述点的自动聚焦采集若干所述点的高度信息，自动修正所述待扫描样品的水平倾斜度，使所述待扫描样品水平。上述的电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法，其中，在所述步骤S5中，通过所述高度信息，采用线性关系调整其他位置的高度，从而得到清晰位置。上述的电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法，其中，在所述步骤S5中，所述放大倍数为15000倍。本专利技术由于采用了上述技术，使之与现有技术相比具有的积极效果是：(1)本专利技术通过三点或多点聚焦，将全样品的聚焦平面进行校正，从而获得全样品的焦平面，使得在逐点取图时无需进行聚焦，节约了大量的时间，大幅提高了全样品扫描的效率，为实现全样品或部分区域的快扫提供了可行方案。附图说明图1是本专利技术的电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法的示意图。图2是本专利技术的电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法的示意图。图3是本专利技术的电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法的流程图。附图中：1、待扫描样品；11、样品中心位置；12、圆；13、扫描区域；14、点。具体实施方式下面结合附图和具体实施例对本专利技术作进一步说明，但不作为本专利技术的限定。图1是本专利技术的电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法的示意图，图2是本专利技术的电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法的示意图，图3是本专利技术的电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法的流程图，请参见图1至图3所示，示出了一种较佳实施例的电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法，包括：步骤S1：用户载入需要扫描的待扫描样品1。步骤S2：用户设置若干参数。步骤S3：用户定义待扫描样品1的样品中心位置11和待扫描样品的半径值，以样品中心位置11为圆心、半径值为半径形成圆12；用户定义待扫描样品的扫描区域13。步骤S4：电子显微镜在扫描区域13内选择有限多个点14，根据点14的数量在圆内选择合适位置将圆12均分，并确定若干点14的位置。步骤S5：电子显微镜确定焦点位置并自动设置放大倍数为15000倍，同时激发自动聚焦；电子显微镜根据焦点位置自动计算待扫描样品1的平面信息并进行水平校正。具体地，通过三点或多点聚焦，将全样品的聚焦平面进行校正，从而获得全样品的焦平面。步骤S6：电子显微镜根据参数以及电子显微镜自动设定的对比度和亮度，逐个扫描用户指定的所有扫描区域13。由于已经获得了全样品的焦平面，因此在逐点取图示无需进行对焦。以上所述仅为本专利技术较佳的实施例，并非因此限制本专利技术的实施方式及保护范围。本专利技术在上述基础上还具有如下实施方式：本专利技术的进一步实施例中，请继续参见图1至图3所示，在步骤S2中，若干参数包括：放大倍数和电压。本专利技术的进一步实施例中，在步骤S3中，扫描区域13为全样品扫描区域或随机的任意区域。本专利技术的进一步实施例中，在步骤S4中，电子显微镜在扫描区域13内选择三个点14。本专利技术的进一步实施例中，在步骤S4和步骤S5中，电子显微镜根据待扫描样品1大小确定三点聚焦焦点位置，三点聚焦焦点位置具体请参见图2中直径较小的圆，三点聚焦焦点位置比扫描区域略小，三点均匀分布。本专利技术的进一步实施例中，在步骤S4和步骤S5中，若待扫描样品1为非圆形平面样品，则根据待扫描样品1的形貌，以将待扫描样品1分割为若干小块均匀区域为原则，确定多点聚焦焦点位置。本专利技术的进一步实施例中，在步骤S5中，电子显微镜根据若干点14的自动聚焦采集若干点14的高度信息，自动修正待扫描样品1的水平倾斜度，使待扫描样品1水平。本专利技术的进一步实施例中，具体地，通过所选的三点14的位置处于电子显微镜清晰状态时的高度信息，调整其他各个位置的高度，即认为其已经调节到清晰位置，上述的高度位置信息即为各点取图时的高度值。本专利技术的进一步实施例中，在步骤S5中，通过上述的高度信息，采用线性关系调整其他位置的高度，从而得到清晰位置。本专利技术的进一步实施例中，在步骤S6中，由于在任何一个视场扫描时无需电子显微镜自动聚焦，因此节约了大量的时间，从而提高了全区域扫描速度。以上所述仅为本专利技术较佳的实施例，并非因此限制本专利技术的实施方式及保护范围，对于本领域技术人员而言，应当能够意识到凡运用本专利技术说明书及图示内容所作出的等同替换和显而易见的变化所得到的方案，均应当包含在本专利技术的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法，其特征在于，包括：/n步骤S1：用户载入待扫描样品；/n步骤S2：用户设置若干参数；/n步骤S3：用户定义所述待扫描样品的样品中心位置和所述待扫描样品的半径值，以所述样品中心位置为圆心、所述半径值为半径形成圆；用户定义所述待扫描样品的扫描区域；/n步骤S4：电子显微镜在所述扫描区域内选择有限多个点，根据所述点的数量在所述圆内选择合适位置将所述圆均分，并确定若干所述点的位置；/n步骤S5：电子显微镜确定焦点位置并自动设置放大倍数，同时激发自动聚焦；电子显微镜根据所述焦点位置自动计算所述待扫描样品的平面信息并进行水平校正；/n步骤S6：电子显微镜根据所述参数以及电子显微镜自动设定的对比度和亮度，逐个扫描用户指定的所有所述扫描区域。/n

【技术特征摘要】
1.一种电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法，其特征在于，包括：
步骤S1：用户载入待扫描样品；
步骤S2：用户设置若干参数；
步骤S3：用户定义所述待扫描样品的样品中心位置和所述待扫描样品的半径值，以所述样品中心位置为圆心、所述半径值为半径形成圆；用户定义所述待扫描样品的扫描区域；
步骤S4：电子显微镜在所述扫描区域内选择有限多个点，根据所述点的数量在所述圆内选择合适位置将所述圆均分，并确定若干所述点的位置；
步骤S5：电子显微镜确定焦点位置并自动设置放大倍数，同时激发自动聚焦；电子显微镜根据所述焦点位置自动计算所述待扫描样品的平面信息并进行水平校正；
步骤S6：电子显微镜根据所述参数以及电子显微镜自动设定的对比度和亮度，逐个扫描用户指定的所有所述扫描区域。


2.根据权利要求1所述的电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法，其特征在于，在所述步骤S2中，若干所述参数包括：放大倍数和电压。


3.根据权利要求1所述的电子显微镜全样品扫描快速对焦的方法，其特征在于，在所述步骤S3中，所述扫描区域为全样品扫描区域或随机的任意区域。


4.根据权利要求1所述的电子显微镜全样品扫描快...

【专利技术属性】
技术研发人员：马丁·思巴斯帝安·卡贝尔，莉莲·苏娜，凯彭，图阮，优翰·伯特兰，张传杰，陈辉，
申请(专利权)人：兰波苏州智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32