一种在长径比大的管内镀导电膜的装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种在长径比大的管内镀导电膜的装置及方法，通过对圆管以及蒸镀丝进行清洗及烘干，并通过所述控制器控制所述机械真空泵对装置进行真空抽气，配合所述真空箱和所述蒸发高压电源，使得所述一种在长径比大的管内镀导电膜的装置制备导电薄膜具有更好的附着度和牢固程度，制备成本大幅度降低，操作简单，提高了制备效果和效率。

The invention relates to a device and a method for plating conductive film on a tube with large length diameter ratio

【技术实现步骤摘要】
一种在长径比大的管内镀导电膜的装置及方法
本专利技术涉及圆管镀膜装置
，尤其涉及一种在长径比大的管内镀导电膜的装置及方法。
技术介绍
长径比较大的空心圆管管内具有导电膜结构，在科学实验和实际生产生活中具有广泛的应用。例如在科学实验标准精密压力计中，需要在圆管的内表面上蒸镀一层导电膜来消除水银在圆管内运动产生的静电效应所带来的高度误差；并且在生产生活中，以金属管铸件为核心的传统饮水机加热系统逐渐被使水不易结垢的圆管内壁镀导电膜为核心的新型加热系统所取代。因此，在长径比较大的空心圆管管内镀导电膜的技术就受到了广泛关注，而目前常用的镀膜方法有化学浸镀膜法、化学气相沉积镀膜法、脉冲激光沉积镀膜法等，但是这些方法都不能在长径比很大的圆管内均匀的镀上一层导电膜，因为在真空环境下金属分子运动为直线运动，它不可能深入到长径比较大的圆管内，并且这些镀导电膜方法所需的大型真空设备成本高、效率低并存在安装与调试复杂、重复性差等局限性，因此急需一套高效可靠的镀导电膜装置，来提高镀膜效果。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种能够提高镀膜效果且在长径比大的管内镀导电膜的装置及方法。为实现上述目的，本专利技术采用的一种在长径比大的管内镀导电膜的装置，包括机械真空泵、真空导管、真空箱、真空箱升降台、圆管、蒸镀丝、下定位夹头、引导台、控制器、机架、蒸发高压电源和两个导线密封转接口，所述真空导管的一端与所述机械真空泵可拆卸连接，并位于所述机械真空泵的侧面，所述真空导管的另一端与所述真空箱可拆卸连接，并位于所述真空箱的侧面，所述真空箱升降台放置于所述真空箱的下方，所述圆管的一端与所述真空箱可拆卸连接，并位于所述真空箱的上方，所述圆管的另一端与所述引导台可拆卸连接，并位于所述引导台的下方，所述圆管的两端都具有外螺纹结构，所述蒸镀丝位于所述圆管内，所述下定位夹头与所述蒸镀丝可拆卸连接，并位于所述蒸镀丝的底部，所述控制器分别与所述机械真空泵和所述蒸发高压电源电性连接，并位于所述引导台的下方，所述机架放置于所述控制器的下方，所述机架为立式正方形结构，所述蒸发高压电源位于所述机架的一侧，两个所述导线密封转接口分别与所述真空箱和所述引导台可拆卸连接，分别位于所述真空箱的上面和所述引导台的上面。其中，所述真空箱包括真空箱本体、真空箱密封盖、压强表、温度表、真空箱转接口，所述真空箱本体放置于所述真空箱升降台的上表面，所述真空箱密封盖位于所述真空箱本体的正上方，所述真空箱密封盖具有密封圈沟槽以及螺纹口，且所述真空箱密封盖的螺纹口与所述圆管底端口螺纹连接，所述压强表与所述真空箱本体固定连接，并位于所述真空箱本体的上表面，所述温度表与所述真空箱本体固定连接，并位于所述真空箱本体的上表面，且与所述压强表对称设置，所述真空箱转接口与所述真空箱本体可拆卸连接，并位于所述真空箱本体的侧面。其中，所述真空箱转接口包括真空箱转接口本体和真空箱转接口抵持件，所述真空箱转接口本体的一端与所述真空导管的一端螺纹连接，所述真空箱转接口本体的一端具有锥形端口，所述真空箱转接口本体的另一端与所述真空箱螺纹连接，并位于所述真空箱的侧面，所述真空箱转接口抵持件与所述接口本体固定连接，套设于所述真空箱转接口本体上，所述真空箱转接口抵持件上具有转接口密封沟槽。其中，所述下定位夹包括四爪抓头和松紧螺纽，所述四爪抓头与所述蒸镀丝固定连接，并位于所述蒸镀丝的底部，所述松紧螺纽与四爪抓头固定连接，并位于所述四爪抓头的下方。其中，所述机架包括机架顶台、四根机架杆、引导台底台和机架底台，所述机架顶台的四个角分别与四根所述机架杆的一端固定连接，并位于所述控制器的下方，所述机架底台与四根所述机架杆的另一端固定连接，并位于所述真空箱升降台的下方，所述引导台底台的四个角与四根所述机架杆固定连接，并位于所述机架杆的中上方，所述引导台底台中心位置具有T型通孔。其中，所述引导台包括引导台本体、引导台密封盖和上定位夹头，所述引导台本体放置于所述引导台底台中心T型通孔的上面，所述上定位夹头与所述引导台本体螺栓连接，所述引导台密封盖中心位置处具有螺纹孔，并位于所述引导台本体的下方，所述上定位夹头与所述引导台本体螺栓连接，并位于所述上定位夹头的上方。其中，所述上定位夹头包括上四爪抓头、上松紧螺纽、夹头凸台，所述上四爪抓头与所述上松紧螺纽固定连接，并位于所述上松紧螺纽的下方，所述上松紧螺纽与所述夹头凸台固定连接，并位于所述夹头凸台的下方，所述夹头凸台与所述引导台本体螺栓连接，并位于所述上松紧螺纽的上方，所述夹头凸台靠近中心处具有密封圈沟槽。其中，每个所述导线密封转接口还包括导线密封转接口本体、导线密封转接口密封件、导线密封转接口抵持件，每个所述导线密封转接口本体的一端具有锥形端口，每个所述导线密封转接口本体的另一端具有外螺纹结构，每个所述导线密封转接口密封件套设于锥形端口的一侧，每个所述导线密封转接口抵持件与所述导线密封转接口本体固定连接，并位于所述导线密封转接口密封件的一侧，每个所述导线密封转接口抵持件上具有密封凹槽，两个所述导线密封转接口本体的另一侧分别与所述真空箱和所述引导台螺纹连接，分别位于所述真空箱的上面和所述引导台的上面。本专利技术还提供一种在长径比大的管内镀导电膜的方法，包括如下步骤：对所述圆管用蒸馏纯水进行清洗及烘干，去除所述圆管内外壁面上的杂质，以减小后期对圆管内外壁面观察的影响；对所述蒸镀丝夹杂在丝之间的杂质进行彻底清洗及烘干，以免细丝间的杂质影响镀导电膜的效果；对所述长径比大的管内镀导电膜的装置进行安装与调试；对所述控制器控制所述机械真空泵装置进行真空抽气，当所述控制器接收到所述压强表测得的真空度达到实验要求时的信息反馈时，所述控制器控制所述机械真空泵停止工作；对所述控制器控制所述蒸发高压电源装置进行高压放电，当所述控制器接收到所述温度表测得的温度达到实验要求时的信息反馈时，所述控制器控制所述蒸发高压电源停止工作，准备开始对蒸镀丝进行蒸发蒸镀；对所述控制器控制所述蒸发高压电源装置输出蒸镀高压并逐渐升高高压档位；对所述圆管内外壁面进行仔细观察，待观察到圆管从透明逐渐变为暗红色时，说明圆管内壁导电膜已经基本镀好；对所述控制器控制所述蒸发高压电源装置停止工作，待所述控制器接收到所述温度表数值逐渐降为常温时，便可将镀好导电膜的圆管拆下来进行使用。本专利技术的有益效果体现在：1、本专利技术通过对圆管以及蒸镀丝进行清洗及烘干，并通过所述控制器控制所述机械真空泵对装置进行真空抽气，配合所述真空箱和所述蒸发高压电源高压放电，使得所述一种在长径比大的管内镀导电膜的装置制备导电薄膜具有更好的附着度和牢固程度，制备成本大幅度降低，操作简单，提高了制备效果和效率。2、本专利技术的所述引导台密封盖、所述圆管以及所述真空箱密封盖采用分体柔性设计，实现了在不同长径比大的圆管内镀导电膜的可替性设计。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种在长径比大的管内镀导电膜的装置，其特征在于，/n包括机械真空泵、真空导管、真空箱、真空箱升降台、圆管、蒸镀丝、下定位夹头、引导台、控制器、机架、蒸发高压电源和两个导线密封转接口，所述真空导管的一端与所述机械真空泵可拆卸连接，并位于所述机械真空泵的侧面，所述真空导管的另一端与所述真空箱可拆卸连接，并位于所述真空箱的侧面，所述真空箱升降台放置于所述真空箱的下方，所述圆管的一端与所述真空箱可拆卸连接，并位于所述真空箱的上方，所述圆管的另一端与所述引导台可拆卸连接，并位于所述引导台的下方，所述圆管的两端都具有外螺纹结构，所述蒸镀丝位于所述圆管内，所述下定位夹头与所述蒸镀丝可拆卸连接，并位于所述蒸镀丝的底部，所述控制器分别与所述机械真空泵、所述真空箱以及所述蒸发高压电源电性连接，并位于所述引导台的下方，所述机架放置于所述控制器的下方，所述机架为立式正方形结构，所述蒸发高压电源位于所述机架的一侧，两个所述导线密封转接口分别与所述真空箱和所述引导台可拆卸连接，分别位于所述真空箱的上面和所述引导台的上面。/n

【技术特征摘要】
1.一种在长径比大的管内镀导电膜的装置，其特征在于，
包括机械真空泵、真空导管、真空箱、真空箱升降台、圆管、蒸镀丝、下定位夹头、引导台、控制器、机架、蒸发高压电源和两个导线密封转接口，所述真空导管的一端与所述机械真空泵可拆卸连接，并位于所述机械真空泵的侧面，所述真空导管的另一端与所述真空箱可拆卸连接，并位于所述真空箱的侧面，所述真空箱升降台放置于所述真空箱的下方，所述圆管的一端与所述真空箱可拆卸连接，并位于所述真空箱的上方，所述圆管的另一端与所述引导台可拆卸连接，并位于所述引导台的下方，所述圆管的两端都具有外螺纹结构，所述蒸镀丝位于所述圆管内，所述下定位夹头与所述蒸镀丝可拆卸连接，并位于所述蒸镀丝的底部，所述控制器分别与所述机械真空泵、所述真空箱以及所述蒸发高压电源电性连接，并位于所述引导台的下方，所述机架放置于所述控制器的下方，所述机架为立式正方形结构，所述蒸发高压电源位于所述机架的一侧，两个所述导线密封转接口分别与所述真空箱和所述引导台可拆卸连接，分别位于所述真空箱的上面和所述引导台的上面。


2.如权利要求1所述的一种在长径比大的管内镀导电膜的装置，其特征在于，
所述真空箱包括真空箱本体、真空箱密封盖、压强表、温度表和真空箱转接口，所述真空箱本体放置于所述真空箱升降台的上表面，所述真空箱密封盖位于所述真空箱本体的正上方，所述真空箱密封盖具有密封圈沟槽以及螺纹口，且所述真空箱密封盖的螺纹口与所述圆管底端口螺纹连接，所述压强表与所述真空箱本体固定连接，并位于所述真空箱本体的上表面，所述温度表与所述真空箱本体固定连接，并位于所述真空箱本体的上表面，且与所述压强表对称设置，所述真空箱转接口与所述真空箱本体可拆卸连接，并位于所述真空箱本体的侧面。


3.如权利要求2所述的一种在长径比大的管内镀导电膜的装置，其特征在于，
所述真空箱转接口包括真空箱转接口本体和真空箱转接口抵持件，所述真空箱转接口本体的一端与所述真空导管的一端螺纹连接，所述真空箱转接口本体的一端具有锥形端口，所述真空箱转接口本体的另一端与所述真空箱螺纹连接，并位于所述真空箱的侧面，所述真空箱转接口抵持件与所述接口本体固定连接，套设于所述真空箱转接口本体上，所述真空箱转接口抵持件上具有转接口密封沟槽。


4.如权利要求1所述的一种在长径比大的管内镀导电膜的装置，其特征在于，
所述下定位夹包括下四爪抓头和下松紧螺纽，所述下四爪抓头与所述蒸镀丝固定连接，并位于所述蒸镀丝的底部，所述下松紧螺纽与下四爪抓头固定连接，并位于所述下四爪抓头的下方。


5.如权利要求1所述的一种在长径比大的管内镀导电膜的装置，其特征在于，
所述机架包括机架顶台、四根机架杆、引导台底台和机架底台，所述机架顶台的四个角分别与四根所述机架杆的一端固定连接，并位于所述控制器的下方，所述机架底台与四根所述机架杆的另一端固定连接，并位于所述真空箱升...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘荣，张伟，陈雪，陈鑫康，郑利敏，郭波，谢其锐，
申请(专利权)人：桂林电子科技大学，
类型：发明
国别省市：广西;45