一种大长径比旋转管靶材喷砂设备制造技术

本发明专利技术公开了一种大长径比旋转管靶材喷砂设备，包括工字型支架和脚支架，工字型支架包括上管靶固定盖和下管靶固定盖，旋转管靶材的中部套接有橡胶夹套，上管靶固定盖和下管靶固定盖的左右两侧各设置有两个定位圆盘，且下管靶固定盖和定位圆盘为一体式设计，通过定位圆盘的运动带动下管靶固定盖的运动，实现旋转管靶材在竖直方向的自由旋转；旋转管靶材的两端各设置有两个喷砂挡板，位于旋转管靶材端面处的喷砂挡板上均设置有吊耳，脚支架通过吊绳与吊耳的配合实现对旋转管靶材的升降和搬运。本发明专利技术结合工字型支架和脚支架作为管靶喷砂，可使管靶材在竖直方向自由旋转，精准喷砂，解决了大长径比管靶喷砂占地空间大，喷砂角度受限等问题。

【技术实现步骤摘要】
一种大长径比旋转管靶材喷砂设备
本专利技术属于溅射
，尤其涉及一种大长径比旋转管靶材喷砂设备。
技术介绍
高纯金属溅射靶材是高端集成电路产业的关键支撑材料之一，溅射靶材主要分为旋转靶材和平面靶材。与平面溅射靶材相比，旋转靶材溅射镀膜连续性好、镀膜成分均匀、利用率大约为平面溅射靶材的2倍,特别是在8.5代线之后，大长径比旋转靶材逐渐代替平面靶材。因此，开展大长径比旋转靶材的加工制造具有比较大的优势。大长径比旋转管靶材的表面处理工艺主要是喷砂，喷砂的目的是吸附溅射过程的杂质粒子，防止沉积在溅射薄膜上降低薄膜质量。但是，由于大长径比旋转管靶材重量大，长度长，在产线作业时，存在大尺寸旋转管靶材搬运困难、占地空间大、喷砂方向角度受限等问题，导致产线作业效率低。
技术实现思路
为了克服现有技术存在的一系列缺陷，本专利技术的目的在于针对上述问题，提供一种大长径比旋转管靶材喷砂设备，包括工字型支架9、定位圆盘6、上管靶固定盖3、下管靶固定盖2和旋转管靶材1，其特征在于，工字型支架9用于支撑定位圆盘6；上管靶固定盖3和下管靶固定盖2的左右两侧各设置有两个定位圆盘6，且下管靶固定盖2和定位圆盘6为一体式设计，通过定位圆盘6的运动带动下管靶固定盖2的运动，实现旋转管靶材1在竖直方向的自由旋转；旋转管靶材1固定于上管靶固定盖3与下管靶固定盖2之间。优选的，旋转管靶材1的中部套接有橡胶夹套5，旋转管靶材1通过将橡胶夹套5固定于上管靶固定盖3与下管靶固定盖2之间，实现其与工字型支架9的固定连接。优选的，旋转管靶材1的两端各设置有两个喷砂挡板4，处于同一端的两个喷砂挡板4分别位于旋转管靶材1的端面和法兰端面处，位于旋转管靶材1端面处的喷砂挡板4上均设置有吊耳13，脚支架15通过吊绳16与吊耳13的配合实现对旋转管靶材1的升降和搬运。优选的，上管靶固定盖3和下管靶固定盖2的翼部表面均匀分布有圆孔，上管靶固定盖3和下管靶固定盖2之间通过双头螺栓与圆孔的配合进行紧固连接。优选的，定位圆盘6内部采用加强筋结构，定位圆盘6的表面均匀分布有通孔，通过通孔与定位销14的配合对同一侧的定位圆盘6进行紧固。优选的，处于同一侧的定位圆盘6通过连接杆8连接，且连接杆8通过轴承7支撑安装在工字型支架9上。优选的，工字型支架9一侧设置有第一电机10，第一电机10和定位圆盘6通过皮带连接，第一电机10通过皮带带动定位圆盘6运动。优选的，还包括靶材提升机构，该机构包括脚支架15，其上部设置有定滑轮17、底部设置第二电机18，吊绳16用于提升所述靶材，穿过定滑轮17与第二电机18连接。优选的，工字型支架9与脚支架15的底端外壁均阵列分布有四个滑轮12。与现有技术相比，本专利技术具备以下有益效果：1)本专利技术的一种大长径比旋转管靶材喷砂设备，利用下管靶固定盖和定位圆盘一体化的设计，旋转管靶材在竖直方向可任意旋转，不仅节约了水平方向的空间，提高了产线作业效率，而且可以方便灵活地旋转至任一角度，精准喷砂，不存在喷砂死角现象；2)本专利技术的一种大长径比旋转管靶材喷砂设备，通过在管靶两端的挡板上设置吊耳，脚支架和工字型支架下方设置滑轮，简化了管靶材的运输装置，有效节约了运输时间。附图说明图1为本专利技术一种大长径比旋转管靶材喷砂设备的工字型支架的结构示意图；图2为本专利技术一种大长径比旋转管靶材喷砂设备的工定位圆盘的结构示意图；图3为本专利技术一种大长径比旋转管靶材喷砂设备的脚支架的结构示意图。图中附图标记为：1-旋转管靶材,2-下管靶固定盖,3-上管靶固定盖,4-喷砂挡板,5-橡胶夹套,6-定位圆盘,7-轴承,8-连接杆,9-工字型支架,10-第一电机,11-第一点按式电源,12-滑轮,13-吊耳,14-定位销，15-脚支架，16-吊绳，17-定滑轮，18-第二电机，19-第二点按式电源。具体实施方式为使本专利技术实施的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行更加详细的描述。在附图中，自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。下面通过参考附图描述的实施例以及方位性的词语均是示例性的，旨在用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。下面结合附图对本专利技术的一种大长径比旋转管靶材喷砂设备进行详细描述。参照图1-3，一种大长径比旋转管靶材喷砂设备，包括工字型支架9、定位圆盘6、上管靶固定盖3、下管靶固定盖2和旋转管靶材1，其特征在于，工字型支架9用于支撑定位圆盘6；上管靶固定盖3和下管靶固定盖2的左右两侧各设置有两个定位圆盘6，且下管靶固定盖2和定位圆盘6为一体式设计，通过定位圆盘6的运动带动下管靶固定盖2的运动，实现旋转管靶材1在竖直方向的自由旋转；旋转管靶材1固定于上管靶固定盖3与下管靶固定盖2之间。优选的，旋转管靶材1的中部套接有橡胶夹套5，旋转管靶材1通过将橡胶夹套5固定于上管靶固定盖3与下管靶固定盖2之间，实现其与工字型支架9的固定连接。优选的，旋转管靶材1的两端各设置有两个喷砂挡板4，处于同一端的两个喷砂挡板4分别位于旋转管靶材1的端面和法兰端面处，位于旋转管靶材1端面处的喷砂挡板4上均设置有吊耳13，脚支架15通过吊绳16与吊耳13的配合实现对旋转管靶材1的升降和搬运。优选的，上管靶固定盖3和下管靶固定盖2的翼部表面均匀分布有圆孔，上管靶固定盖3和下管靶固定盖2之间通过双头螺栓与圆孔的配合进行紧固连接。优选的，定位圆盘6内部采用加强筋结构，定位圆盘6的表面均匀分布有通孔，通过通孔与定位销14的配合对同一侧的定位圆盘6进行紧固。优选的，处于同一侧的定位圆盘6通过连接杆8连接，且连接杆8通过轴承7支撑安装在工字型支架9上。优选的，工字型支架9一侧设置有第一电机10，第一电机10和定位圆盘6通过皮带连接，第一电机10通过皮带带动定位圆盘6运动。优选的，还包括靶材提升机构，该机构包括脚支架15，其上部设置有定滑轮17、底部设置第二电机18，吊绳16用于提升所述靶材，穿过定滑轮17与第二电机18连接。优选的，工字型支架9与脚支架15的底端外壁均阵列分布有四个滑轮12。下面结合优选实施例对本专利技术进行更加详细描述。参照图1-3，一种大长径比旋转铜管靶材喷砂设备，旋转铜管靶材的尺寸为Φ172×120×3000mm，包括下管靶固定盖2、上管靶固定盖3、喷砂挡板4、橡胶夹套5、定位圆盘6、轴承7、连接杆8、工字型支架9、第一电机10、第一点按式电源11、滑轮12、吊耳13、定位销14、脚支架15、吊绳16、定滑轮17、第二电机18、第二点按式电源19。大尺寸铜管靶材的中间区域有下管靶固定盖2、上管靶本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种大长径比旋转管靶材喷砂设备，包括工字型支架(9)、定位圆盘(6)、上管靶固定盖(3)、下管靶固定盖(2)和旋转管靶材(1)，其特征在于，工字型支架(9)用于支撑定位圆盘(6)；上管靶固定盖(3)和下管靶固定盖(2)的左右两侧各设置有两个定位圆盘(6)，且下管靶固定盖(2)和定位圆盘(6)为一体式设计，通过定位圆盘(6)的运动带动下管靶固定盖(2)的运动，实现旋转管靶材(1)在竖直方向的自由旋转；旋转管靶材(1)固定于上管靶固定盖(3)与下管靶固定盖(2)之间。/n

【技术特征摘要】
1.一种大长径比旋转管靶材喷砂设备，包括工字型支架(9)、定位圆盘(6)、上管靶固定盖(3)、下管靶固定盖(2)和旋转管靶材(1)，其特征在于，工字型支架(9)用于支撑定位圆盘(6)；上管靶固定盖(3)和下管靶固定盖(2)的左右两侧各设置有两个定位圆盘(6)，且下管靶固定盖(2)和定位圆盘(6)为一体式设计，通过定位圆盘(6)的运动带动下管靶固定盖(2)的运动，实现旋转管靶材(1)在竖直方向的自由旋转；旋转管靶材(1)固定于上管靶固定盖(3)与下管靶固定盖(2)之间。


2.根据权利要求1所述的一种大长径比旋转管靶材喷砂设备，其特征在于，旋转管靶材(1)的中部套接有橡胶夹套(5)，旋转管靶材(1)通过将橡胶夹套(5)固定于上管靶固定盖(3)与下管靶固定盖(2)之间，实现其与工字型支架(9)的固定连接。


3.根据权利要求2所述的一种大长径比旋转管靶材喷砂设备，其特征在于，旋转管靶材(1)的两端各设置有两个喷砂挡板(4)，处于同一端的两个喷砂挡板(4)分别位于旋转管靶材(1)的端面和法兰端面处，位于旋转管靶材(1)端面处的喷砂挡板(4)上均设置有吊耳(13)，脚支架(15)通过吊绳(16)与吊耳(13)的配合实现对旋转管靶材(1)的升降和搬运。


4.根据权利要求3所述的一种大长径比旋转管靶材喷砂设备，其特征在于，上管靶固定盖(3)和下...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘芳，罗俊锋，李嘉，曾浩，王宇，熊晓东，李勇军，贺昕，张延宾，
申请(专利权)人：有研亿金新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11