一种热场埚底结构制造技术

技术编号:26141822 阅读:18 留言:0更新日期:2020-10-31 11:19
本实用新型专利技术公开了一种热场埚底结构,包括安装座、齿轮和坩埚本体,所述安装座的内部轴承连接有转杆,且转杆后端与伺服电机的输出端连接,所述齿轮键连接在转杆的外侧,且齿轮的左侧啮合连接有托架,所述托架下方的右侧安装有齿块,且托架下方的左侧固定安装有限位块,所述限位块贴合设置在限位槽的内部,所述托架上方的内部通过弹簧与调节杆连接。该热场埚底结构设置有安装板和锁定板,坩埚本体带动延长杆压动调节杆移动,通过拉动连接杆带动移动杆移动,对安装板及其锁定板的位置进行移动,利用锁定板对坩埚本体进行安装锁定,此结构利用坩埚本体的自身重力便可对坩埚本体进行安装锁定,操作方便,后期便于拆卸。

【技术实现步骤摘要】
一种热场埚底结构
本技术涉及热场相关
,具体为一种热场埚底结构。
技术介绍
热场就是热系统,在机械中一般指单晶炉热场,就是单晶炉的热系统,合格的热场能够生长出高质量的单晶,因此创造良好的热场条件,在直拉单晶工艺上是非常重要的因素,单晶炉热场一般包括有压环、保温盖、石墨坩埚、坩埚托杆等零部件,这些零部件相结合可保证热场的稳定运行。但是,现有的单晶炉热场内的坩埚在使用的过程中仍存在不足之处,不能快速方便的对坩埚进行安装锁定,需要使用辅助工具对坩埚进行安装,后期的拆装维护不便,并且不能对坩埚的位置进行调节,使用的灵活性较低。所以,我们提出了一种热场埚底结构以便于解决上述提出的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种热场埚底结构,以解决上述
技术介绍
提出的目前市场上现有的单晶炉热场内的坩埚不能快速方便的进行安装锁定。且不能对坩埚的位置进行调节的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种热场埚底结构,包括安装座、齿轮和坩埚本体,所述安装座的内部轴承连接有转杆,且转杆后端与伺服电机的输出端连接,所述齿轮键连接在转杆的外侧,且齿轮的左侧啮合连接有托架,所述托架下方的右侧安装有齿块,且托架下方的左侧固定安装有限位块,所述限位块贴合设置在限位槽的内部,且限位槽开设在安装座的内部,所述托架上方的内部通过弹簧与调节杆连接,且调节杆的外侧铰接连接有连接杆,所述连接杆的外侧铰接连接有移动杆,且移动杆铰接连接在安装板的内侧,所述安装板的上方焊接连接有锁定板,所述坩埚本体位于托架的上方,且坩埚本体下方的外侧粘接连接有弹性垫,所述坩埚本体的下侧焊接有延长杆。优选的,所述齿块等间距的分布在托架和齿轮的连接处,且托架和安装座为滑动连接。优选的,所述弹性垫的俯剖面为圆环形结构,且弹性垫为橡胶材质。优选的,所述调节杆的竖直中心线与延长杆的竖直中心线相互重合,且调节杆通过弹簧与托架构成弹性结构。优选的,所述连接杆和移动杆均关于调节杆的中心点等角度分布,且相邻2组连接杆和移动杆均相互平行设置。优选的,所述锁定板的主剖面为倾斜状结构,且锁定板的最低点高于托架的最高点,并且托架的主剖面为“T”形结构。与现有技术相比,本技术的有益效果是:该热场埚底结构,(1)设置有安装板和锁定板,坩埚本体带动延长杆压动调节杆移动,通过拉动连接杆带动移动杆移动,对安装板及其锁定板的位置进行移动,利用锁定板对坩埚本体进行安装锁定,此结构利用坩埚本体的自身重力便可对坩埚本体进行安装锁定,操作方便,后期便于拆卸;(2)设置有齿轮和弹性垫,利用齿轮转动可对托架的高度进行调节,辅助坩埚本体的拆装,提高装置使用的便利性,并且坩埚本体外侧的弹性垫可保证锁定板紧密且顺利的与坩埚本体贴合,对坩埚本体进行锁定。附图说明图1为本技术主剖结构示意图;图2为本技术托架俯剖结构示意图;图3为本技术弹性垫和锁定板连接俯剖结构示意图;图4为本技术安装座和托架连接处俯剖结构示意图;图5为本技术连接杆和移动杆连接处主剖结构示意图。图中:1、安装座;2、转杆;3、齿轮;4、伺服电机;5、限位块;6、限位槽;7、齿块;8、弹性垫;9、弹簧;10、调节杆;11、连接杆;12、移动杆;13、托架;14、安装板;15、锁定板;16、坩埚本体;17、延长杆。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。请参阅图1-5,本技术提供一种技术方案:一种热场埚底结构,包括安装座1、转杆2、齿轮3、伺服电机4、限位块5、限位槽6、齿块7、弹性垫8、弹簧9、调节杆10、连接杆11、移动杆12、托架13、安装板14、锁定板15、坩埚本体16和延长杆17,安装座1的内部轴承连接有转杆2,且转杆2后端与伺服电机4的输出端连接,齿轮3键连接在转杆2的外侧,且齿轮3的左侧啮合连接有托架13,托架13下方的右侧安装有齿块7,且托架13下方的左侧固定安装有限位块5,限位块5贴合设置在限位槽6的内部,且限位槽6开设在安装座1的内部,托架13上方的内部通过弹簧9与调节杆10连接,且调节杆10的外侧铰接连接有连接杆11,连接杆11的外侧铰接连接有移动杆12,且移动杆12铰接连接在安装板14的内侧,安装板14的上方焊接连接有锁定板15,坩埚本体16位于托架13的上方,且坩埚本体16下方的外侧粘接连接有弹性垫8,坩埚本体16的下侧焊接有延长杆17。本例中齿块7等间距的分布在托架13和齿轮3的连接处,且托架13和安装座1为滑动连接,可对托架13的高度位置进行调节;弹性垫8的俯剖面为圆环形结构,且弹性垫8为橡胶材质,方便锁定板15与弹性垫8紧密贴合,对坩埚本体16进行安装锁定;调节杆10的竖直中心线与延长杆17的竖直中心线相互重合,且调节杆10通过弹簧9与托架13构成弹性结构,可利用延长杆17的下移对调节杆10进行压动;连接杆11和移动杆12均关于调节杆10的中心点等角度分布,且相邻2组连接杆11和移动杆12均相互平行设置,利用连接杆11和移动杆12对安装板14以及锁定板15的位置进行调整,方便对坩埚本体16进行拆装;锁定板15的主剖面为倾斜状结构,且锁定板15的最低点高于托架13的最高点,并且托架13的主剖面为“T”形结构,可顺利的调整锁定板15的位置。工作原理:在使用该热场埚底结构时,首先,使用者需要对坩埚本体16进行安装时,可将图4所示的伺服电机4外接电源,控制伺服电机4正转,伺服电机4带动转杆2转动,转杆2带动齿轮3如图1所示的方向顺时针转动,从而带动啮合连接的托架13向上移动,托架13左侧的限位块5在限位槽6内滑动,保证托架13的稳定移动,将托架13移出热场内部,接着便可将坩埚本体16放置到托架13上,在坩埚本体16放置的过程中,结合图5所示,坩埚本体16下端的延长杆17向下压动调节杆10,调节杆10对弹簧9进行压缩,同时调节杆10对外侧铰接连接的连接杆11进行拉动,连接杆11对铰接连接的移动杆12进行拉动,使得移动杆12拉动铰接连接的安装板14向托架13的方向贴合,安装板14带动上端安装的锁定板15向坩埚本体16的方向贴合,结合图2-3所示,锁定板15分布在不同的方位,可同步带动不同方位的锁定板15向坩埚本体16的方向贴合,对坩埚本体16进行锁定,此结构直接利用坩埚本体16的自身重量完成坩埚本体16的安装锁定,操作过程方便,坩埚本体16安装完毕之后,便可控制伺服电机4反转,伺服电机4通过转杆2带动齿轮3逆时针转动,齿轮3带动啮合连接的托架13向下移动,将托架13及其坩埚本体16移动定位到热场内进行使用;后期需要对坩埚本体16进行拆卸本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种热场埚底结构,包括安装座(1)、齿轮(3)和坩埚本体(16),其特征在于:所述安装座(1)的内部轴承连接有转杆(2),且转杆(2)后端与伺服电机(4)的输出端连接,所述齿轮(3)键连接在转杆(2)的外侧,且齿轮(3)的左侧啮合连接有托架(13),所述托架(13)下方的右侧安装有齿块(7),且托架(13)下方的左侧固定安装有限位块(5),所述限位块(5)贴合设置在限位槽(6)的内部,且限位槽(6)开设在安装座(1)的内部,所述托架(13)上方的内部通过弹簧(9)与调节杆(10)连接,且调节杆(10)的外侧铰接连接有连接杆(11),所述连接杆(11)的外侧铰接连接有移动杆(12),且移动杆(12)铰接连接在安装板(14)的内侧,所述安装板(14)的上方焊接连接有锁定板(15),所述坩埚本体(16)位于托架(13)的上方,且坩埚本体(16)下方的外侧粘接连接有弹性垫(8),所述坩埚本体(16)的下侧焊接有延长杆(17)。/n

【技术特征摘要】
1.一种热场埚底结构,包括安装座(1)、齿轮(3)和坩埚本体(16),其特征在于:所述安装座(1)的内部轴承连接有转杆(2),且转杆(2)后端与伺服电机(4)的输出端连接,所述齿轮(3)键连接在转杆(2)的外侧,且齿轮(3)的左侧啮合连接有托架(13),所述托架(13)下方的右侧安装有齿块(7),且托架(13)下方的左侧固定安装有限位块(5),所述限位块(5)贴合设置在限位槽(6)的内部,且限位槽(6)开设在安装座(1)的内部,所述托架(13)上方的内部通过弹簧(9)与调节杆(10)连接,且调节杆(10)的外侧铰接连接有连接杆(11),所述连接杆(11)的外侧铰接连接有移动杆(12),且移动杆(12)铰接连接在安装板(14)的内侧,所述安装板(14)的上方焊接连接有锁定板(15),所述坩埚本体(16)位于托架(13)的上方,且坩埚本体(16)下方的外侧粘接连接有弹性垫(8),所述坩埚本体(16)的下侧焊接有延长杆(17)。


2.根据权利要求1所述的一种热...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴超慧朱厚军
申请(专利权)人:宇泽半导体云南有限公司
类型:新型
国别省市:云南;53

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1