高精度分布式水冷温控装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了高精度分布式水冷温控装置，包括温控水箱、第一水管、第二水管、出水泵、分水集水箱和多个冷却组件；冷却组件包括第三水管、第四水管和冷却水套；温控水箱内设置有空压机和加热器；第一水管连通于温控水箱和分水集水箱之间；第二水管连通于温控水箱和分水集水箱之间；本实用新型专利技术提出的高精度分布式水冷温控装置保证了各冷却水套对于光刻设备的降温均匀性和一致性；同时，通过调节加热器和空压机，能够对冷却水的温度实现精准控制调节，也保证了光刻机对冷却降温时的温度的准确性的要求；此外，由于采用循环水冷的方式，相比传统风冷，更能满足光刻机对冷却降温方式的洁净度和平稳性的要求。

【技术实现步骤摘要】
高精度分布式水冷温控装置
本技术涉及测控
，特别涉及一种高精度分布式水冷温控装置。
技术介绍
在半导体光刻领域，光刻设备对温度的均匀性和稳定性要求非常高；随着光刻设备的曝光分辨率的提高，采用传统的温控装置(如电热丝加热、风扇制冷)的方法难以满足光刻设备对温度均匀性、准确性的要求；且风冷还会给光刻设备带来不同一定的震动和灰尘污染，不满足光刻设备对洁净度和平稳性要求。
技术实现思路
本技术的主要目的是提供一种高精度分布式水冷温控装置，旨在解决现有的温控装置难以满足光刻设备对温度均匀性、温度准确性以及洁净度和平稳性的要求的问题。为实现上述目的，本技术提出的技术方案是：一种高精度分布式水冷温控装置，包括温控水箱、第一水管、第二水管、出水泵、分水集水箱和多个冷却组件；所述冷却组件包括第三水管、第四水管和冷却水套；所述温控水箱内设置有空压机和加热器；所述第一水管连通于所述温控水箱和所述分水集水箱之间；所述第二水管连通于所述温控水箱和所述分水集水箱之间；所述第一水管和所述温控水箱之间还连通设置有出水泵；所述冷却水套包括冷却管和冷却套，所述冷却管和所述冷却套均由金属材质制成；所述冷却管与所述冷却套贴合设置；所述冷却管开设有出水口和进水口；所述进水口通过所述第三水管连通于所述分水集水箱；所述出水口通过所述第四水管连通于所述分水集水箱；所述冷却套贴合于待冷却对象的外表面。优选的，所述冷却套呈圆管状；所述冷却管均匀缠绕于所述冷却套的外壁；所述冷却套贴合套设于待冷却对象的外表面。优选的，所述冷却套呈碗状；所述冷却管均匀缠绕于所述冷却套的外壁；所述冷却套贴合套设于待冷却对象的外表面。优选的，所述冷却套呈平板状；所述冷却管呈蛇形均匀嵌设于所述冷却套内部；所述冷却套贴合于待冷却对象的外表面。优选的，还包括控制计算机、显示器和设置于待冷却对象的温度传感器；所述控制计算机包括彼此通信连接处理器和RS232通讯接口；所述温度传感器的信号输出端与所述RS232通讯接口的信号输入端连接；所述RS232通讯接口信号的输出端和所述处理器的信号输入端连接；所述处理器的信号输出端和所述显示器的信号输入端连接。优选的，还包括流量采集组件；所述流量采集组件包括流量传感器和流量采集模块；所述流量传感器设置于所述第三水管或所述第四水管；所述流量传感器的信号输出端与所述流量采集模块的信号输入端连接；所述流量采集模块的信号输出端与所述处理器的信号输入端连接。优选的，所述流量采集模块包括依次连接的射极跟随电路、后置滤波电路和模数转换芯片；所述射极跟随电路包括依次连接的前置滤波电路、限幅电路和第一运算放大器；所述流量传感器的信号输出端连接于所述射极跟随电路的信号输入端；所述射极跟随电路的信号输出端连接于所述后置滤波电路的信号输入端；所述后置滤波电路的信号输出端连接于所述模数转换芯片的CH0-CH7通道；所述模数转换芯片的信号输出端连接于所述处理器的信号输入端。优选的，还包括流量控制组件；所述流量控制组件包括比例电磁阀、驱动放大器和流量控制模块；所述比例电磁阀连通设置于所述第三水管；所述驱动放大器的信号输出端连接于所述比例电磁阀；所述流量控制模块的信号输出端通信连接于所述驱动放大器的信号输入端。优选的，所述流量控制模块包括彼此连接的数模转换芯片和第二运算放大器；所述数模转换芯片的信号输入端与所述处理器的信号输出端连接；所述数模转换芯片的信号输出端与所述第二运算放大器的信号输入端连接；所述第二运算放大器的信号输出端与所述驱动放大器的信号输入端通信连接。与现有技术相比，本技术至少具备以下有益效果：通过设置多个冷却水套，各冷却水套均包括冷却管和冷却套，冷却套贴合于待冷却对象的表面，以对待冷却对象进行降温；同时，由于多个冷却水套均由一个分水集水箱进行供水循环，而分水集水箱是由一个温控水箱进行集中供水循环，能够保证分水集水箱内的冷却水温度均匀，从而保证流通于各冷却水套中的冷却水的温度一致，从而保证了各冷却水套对于光刻设备的降温均匀性和一致性；同时，通过调节加热器和空压机，能够对冷却水的温度实现精准控制调节，也保证了光刻机对冷却降温时的温度的准确性的要求；此外，由于采用循环水冷的方式，相比传统风冷，更能满足光刻机对冷却降温方式的洁净度和平稳性的要求。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。图1为本技术一种高精度分布式水冷温控装置一实施例的结构示意图；图2为本技术一种高精度分布式水冷温控装置一实施例的水冷水套的结构示意图；图3为本技术一种高精度分布式水冷温控装置另一实施例的水冷水套的结构示意图；图4为本技术一种高精度分布式水冷温控装置另一实施例的水冷水套的结构示意图；图5为本技术一种高精度分布式水冷温控装置一实施例的流量采集模块的电路结构示意图；图6为本技术一种高精度分布式水冷温控装置一实施例的流量控制模块的电路结构示意图。附图标号说明：标号名称标号名称110冷却套120冷却管121出水口122进水口本技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。需要说明，本技术实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。另外，在本技术中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高精度分布式水冷温控装置，其特征在于，包括温控水箱、第一水管、第二水管、出水泵、分水集水箱和多个冷却组件；所述冷却组件包括第三水管、第四水管和冷却水套；/n所述温控水箱内设置有空压机和加热器；所述第一水管连通于所述温控水箱和所述分水集水箱之间；所述第二水管连通于所述温控水箱和所述分水集水箱之间；所述第一水管和所述温控水箱之间还连通设置有出水泵；/n所述冷却水套包括冷却管和冷却套，所述冷却管和所述冷却套均由金属材质制成；所述冷却管与所述冷却套贴合设置；所述冷却管开设有出水口和进水口；所述进水口通过所述第三水管连通于所述分水集水箱；所述出水口通过所述第四水管连通于所述分水集水箱；所述冷却套贴合于待冷却对象的外表面。/n

【技术特征摘要】
1.一种高精度分布式水冷温控装置，其特征在于，包括温控水箱、第一水管、第二水管、出水泵、分水集水箱和多个冷却组件；所述冷却组件包括第三水管、第四水管和冷却水套；
所述温控水箱内设置有空压机和加热器；所述第一水管连通于所述温控水箱和所述分水集水箱之间；所述第二水管连通于所述温控水箱和所述分水集水箱之间；所述第一水管和所述温控水箱之间还连通设置有出水泵；
所述冷却水套包括冷却管和冷却套，所述冷却管和所述冷却套均由金属材质制成；所述冷却管与所述冷却套贴合设置；所述冷却管开设有出水口和进水口；所述进水口通过所述第三水管连通于所述分水集水箱；所述出水口通过所述第四水管连通于所述分水集水箱；所述冷却套贴合于待冷却对象的外表面。


2.根据权利要求1所述的一种高精度分布式水冷温控装置，其特征在于，所述冷却套呈圆管状；所述冷却管均匀缠绕于所述冷却套的外壁；所述冷却套贴合套设于待冷却对象的外表面。


3.根据权利要求1所述的一种高精度分布式水冷温控装置，其特征在于，所述冷却套呈碗状；所述冷却管均匀缠绕于所述冷却套的外壁；所述冷却套贴合套设于待冷却对象的外表面。


4.根据权利要求1所述的一种高精度分布式水冷温控装置，其特征在于，所述冷却套呈平板状；所述冷却管呈蛇形均匀嵌设于所述冷却套内部。


5.根据权利要求1所述的一种高精度分布式水冷温控装置，其特征在于，还包括控制计算机、显示器和设置于待冷却对象的温度传感器；所述控制计算机包括彼此通信连接处理器和RS232通讯接口；所述温度传感器的信号输出端与所述RS232通讯接口的信号输入端连接；所述RS232通讯接口信号的输出端和所述处理器的信号输入端连接；所述处理器的信...

【专利技术属性】
技术研发人员：秦硕，梁良，杨志华，
申请(专利权)人：长沙航空职业技术学院，
类型：新型
国别省市：湖南;43