一种靶材帮定控温装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种靶材帮定控温装置，包括主控柜、设置与主控柜内的控制电路和独立于主控柜的发热组件，控制电路设置有三相电源输入端，发热组件包括均布于帮定平台的多组发热件以及与发热件电连接的温控装置，三相电源输入端与温控装置电连接，温控装置包括有温控记录仪、温控器、温控表、调功器，温控表电连接于温控记录仪的信号接收口，温控记录仪电连接于温控器的信号接收口，温控器电连接于调功器的信号接收口，调功器于发热件电连接；通过在帮定平台上均布多组发热件以及温控装置，对帮定平台上的温度进行实时监控和加热，使得帮定平台不同区域之间的温度相近，提高帮定效果。

【技术实现步骤摘要】
一种靶材帮定控温装置
本技术涉及靶材的温度控制
，尤其是涉及一种靶材帮定控温装置。
技术介绍
靶材的应用行业广泛，种类也多种多样，在靶材生产过程中，帮定加工是重要的生产环节之一。平面帮定生产是将平面靶材帮定在基板上，要求对粘合材料的加热要均匀，有可靠的温控系统进行温度控制，由于实际加热过程中，帮定发热平台两侧的散热要比中间部分快，造成两侧的温度较中间部分低十几度，直接影响到帮定效果，因此有必要予以改进。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术的目的是提供一种能有效控制发热平台全部温度的靶材帮定控温装置。为了实现上述目的，本技术所采用的技术方案是：一种靶材帮定控温装置，包括主控柜、设置与主控柜内的控制电路和独立于主控柜的发热组件，控制电路设置有三相电源输入端，发热组件包括均布于帮定平台的多组发热件以及与发热件电连接的温控装置，三相电源输入端与温控装置电连接，温控装置包括有温控记录仪、温控器、温控表、调功器，温控表电连接于温控记录仪的信号接收口，温控记录仪电连接于温控器的信号接收口，温控器电连接于调功器的信号接收口，调功器于发热件电连接。进一步的技术方案中，所述主控柜上设置有电源钥匙开关、电源指示灯，三相电源输入端和电源钥匙开关串联以形成一供电支路，供电支路的输出端电连接所述温控记录仪，在电源钥匙开关闭合时，供电支路电性导通温控记录仪，温控记录仪输出温度控制信号至所述温控器，温控器接收控制信号后将控制信号传递至所述调功器，以实现调控调功器所输出电压和/或电流大小，各调功器分别与各所述发热件电连接；电源钥匙开关和电源指示灯串联形成以电源指示电路，在电源钥匙开关闭合时，电源指示电路导通。进一步的技术方案中，所述温控记录仪设置有操作界面和显示界面，温控记录仪经由操作界面向所述温控器的通讯接口输入调温信号，温控器接收该调温信号调控后再将调温信号传输至所述调功器，调功器根据该调温信号调控所输出电压和/或电流大小。进一步的技术方案中，所述温控表包括一K型热电偶，K型热电偶电与温控表电连接，并将监测温度实时反馈至温控表。进一步的技术方案中，所述供电支路的输出端并联有启停控制回路、停止指示支路、报警支路、继电器KA和继电器KM，启停控制回路设置有紧急停止按钮SB1、停止运行按钮SB2、启动运行按钮SB3，紧急停止按钮SB1、停止运行按钮SB2为常闭开关；继电器线圈KM1、继电器线圈KA2、继电器线圈KA3、绿色指示灯并联后与紧急停止按钮SB1、停止运行按钮SB2、启动运行按钮SB3串联形成启停控制回路，在电源钥匙开关和启动运行按钮SB3导通时，启停控制回路电性导通；停止支路设置有停止指示灯，紧急停止按钮SB1、常闭开关KM1、停止指示灯串联形成停止指示支路，在电源钥匙开关SA和启动运行按钮SB3导通时，常闭开关KM1断开，停止指示支路不导通。采用上述结构后，本技术和现有技术相比所具有的优点是：本技术通过在帮定平台上均布多组发热件以及温控装置，对帮定平台上的温度进行实时监控和加热，使得帮定平台不同区域之间的温度相近，提高帮定效果。附图说明下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。图1是本技术的电路原理图的第一部分。图2是本技术的电路原理图的第二部分。图3是本技术的电路原理图的第三部分。图4是本技术的电路原理图的第四部分。图5是本技术的电路原理图的第五部分。图6是本技术的电路原理图的第六部分。图7是本技术的电路原理图的第七部分。图8是本技术的电路原理图的第八部分。图9是本技术的主控柜的面板结构示意图。图中：1.温控记录仪；2.温控器；3.调功器；4.发热件。具体实施方式以下仅为本技术的较佳实施例，并不因此而限定本技术的保护范围。请参照图1至图9所示，一种靶材帮定控温装置，包括主控柜、设置与主控柜内的控制电路和独立于主控柜的发热组件，控制电路设置有三相电源输入端，发热组件包括均布于帮定平台的多组发热件4以及与发热件4电连接的温控装置，三相电源输入端与温控装置电连接，温控装置包括有温控记录仪1、温控器2、温控表、调功器3，具体地，温控表包括一K型热电偶，K型热电偶电与温控表电连接，并将监测温度实时反馈至温控表，温控表电连接于温控记录仪1的信号接收口，温控记录仪1电连接于温控器2的信号接收口，温控器2电连接于调功器3的信号接收口，调功器3于发热件4电连接；温控记录仪1设置有操作界面和显示界面，温控记录仪1经由操作界面向温控器2的通讯接口输入调温信号，温控器2接收该调温信号调控后再将调温信号传输至调功器3，调功器3根据该调温信号调控所输出电压和/或电流大小，本实施例中，为了最大化的节约成本且保证帮定平台的温度，在帮定平台上均布有五组发热件4以及与发热件4连接的温控装置，工作时，温控表实时采集所负责区域内的温度，并实时将所检测的温度传递至温控记录仪1，为了更好提高温度监测精度，本实施例中采用型号为AI719-A2-X3-L2-S4的温控表、型号为AI-3759PX3的温控记录仪1和型号为T6-5-4-060ZP-N-N的调功器3，温控记录仪1在收到温控表所检测的温度信号后，做出对比后向调功器3传输调温信号，调功器3接受调温信号后，根据调温信号调控所输出的电压和/或电流的大小，进而减少或增加发热件4的发热量，本实施了中采用三组发热棒为发热件4，每组发热棒的功率为三千瓦，通过发热棒对帮定平台进行加热，进而控制帮定平台的整体温度，使帮定平台各个区域的温度偏差缩小到三度左右，较好的解决了帮定的加热不均匀的情况，提升了帮定质量，提高了生产成品率。主控柜上设置有电源钥匙开关、电源指示灯，三相电源输入端和电源钥匙开关串联以形成一供电支路，供电支路的输出端电连接温控记录仪1，在电源钥匙开关闭合时，供电支路电性导通温控记录仪1，温控记录仪1输出温度控制信号至温控器2，温控器2接收控制信号后将控制信号传递至调功器3，以实现调控调功器3所输出电压和/或电流大小，各调功器3分别与各发热件4电连接；电源钥匙开关和电源指示灯串联形成以电源指示电路，在电源钥匙开关闭合时，电源指示电路导通。电源钥匙开关闭合后，各供电支路分别对各温控器2和各温控记录仪1进行上电，避免温控器2和温控记录仪1长期上电造成损坏。供电支路的输出端并联有启停控制回路、停止指示支路、报警支路、继电器KA和继电器KM，启停控制回路设置有紧急停止按钮SB1、停止运行按钮SB2、启动运行按钮SB3，紧急停止按钮SB1、停止运行按钮SB2为常闭开关；继电器线圈KM1、继电器线圈KA2、继电器线圈KA3、绿色指示灯并联后与紧急停止按钮SB1、停止运行按钮SB2、启动运行按钮SB3串联形成启停控制回路，在电源钥匙开关和启动运行按钮SB3导通时，启停控制回路电性导通；停止支路设置有停止指示灯，紧急停止按钮SB1、常闭开关KM1、停止指示灯串联形成停止指示支路，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种靶材帮定控温装置，包括主控柜、设置与主控柜内的控制电路和独立于主控柜的发热组件，控制电路设置有三相电源输入端，其特征在于：发热组件包括均布于帮定平台的多组发热件(4)以及与发热件(4)电连接的温控装置，三相电源输入端与温控装置电连接，温控装置包括有温控记录仪(1)、温控器(2)、温控表、调功器(3)，温控表电连接于温控记录仪(1)的信号接收口，温控记录仪(1)电连接于温控器(2)的信号接收口，温控器(2)电连接于调功器(3)的信号接收口，调功器(3)于发热件(4)电连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种靶材帮定控温装置，包括主控柜、设置与主控柜内的控制电路和独立于主控柜的发热组件，控制电路设置有三相电源输入端，其特征在于：发热组件包括均布于帮定平台的多组发热件(4)以及与发热件(4)电连接的温控装置，三相电源输入端与温控装置电连接，温控装置包括有温控记录仪(1)、温控器(2)、温控表、调功器(3)，温控表电连接于温控记录仪(1)的信号接收口，温控记录仪(1)电连接于温控器(2)的信号接收口，温控器(2)电连接于调功器(3)的信号接收口，调功器(3)于发热件(4)电连接。


2.根据权利要求1所述的一种靶材帮定控温装置，其特征在于：所述主控柜上设置有电源钥匙开关、电源指示灯，三相电源输入端和电源钥匙开关串联以形成一供电支路，供电支路的输出端电连接所述温控记录仪(1)，在电源钥匙开关闭合时，供电支路电性导通温控记录仪(1)，温控记录仪(1)输出温度控制信号至所述温控器(2)，温控器(2)接收控制信号后将控制信号传递至所述调功器(3)，以实现调控调功器(3)所输出电压和/或电流大小，各调功器(3)分别与各所述发热件(4)电连接；电源钥匙开关和电源指示灯串联形成以电源指示电路，在电源钥匙开关闭合时，电源指示电路导通。


3.根据权利要求2所述的一种靶材帮定控温...

【专利技术属性】
技术研发人员：李兵，
申请(专利权)人：东莞市欧莱溅射靶材有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44