【技术实现步骤摘要】
本设计属于一种化学传感器。目前国际上通常采用的朗缪—布洛基特(Langmuir—Blodgett缩写LB)薄膜有机气敏传感器的原理为电导型，LB薄膜与被测气体相互作用使得LB薄膜的平面电导发生变化，通过测量电导变化探测被测气体。一般采用的结构是在玻璃或硅衬底上制备叉指电极，在叉指电极上利用LB技术沉积有机敏感材料作为敏感层。由于这种结构传感器的敏感层暴露在外界，自然环境中的有害气体，例如蒸汽等直接进入敏感层，影响其使用寿命和稳定性。本设计的目的是提供一种可提高使用寿命和稳定性的气敏传感器。为了实现上述目的，本设计采用的技术方案是在由衬底、叉指电极和敏感层组成的传感器的敏感层外至少有一层修饰保护层。该保护层是由具有较好的成膜特性，适合生长LB薄膜的双亲性有机分子采用LB薄膜有机分子组装技术沉积面成。由于各种气体的分子尺寸不同，其在保护层中的扩散行为也不同，通过修饰保护层材料的选择可以实现敏感层的保护作用，使有害气体不能进入敏感层而被测气体可以扩散进入敏感层中，从而提高器件的使用寿命和稳定性。以下结合附图和实施例对本设计作详细描述。附图说明图1是本设计结构示意图。图中(1)-玻璃或硅片；(2)-叉指电极；(3)-敏感层；(4)-修饰保护层。实施例在玻璃衬底(1)上制备平面叉指电极(2)，在叉指电极上利用LB薄膜技术沉积酞菁敏感材料为敏感层(3)，在敏感层上采用LB薄膜有机分子组装技术沉积一层花生酸和硬脂酸修饰保护层(4)。该结构在探测氨气时有效的防止了潮气进入敏感层。权利要求1.一种气敏传感器，由衬底、叉指电极和敏感层组成，其特征是在敏感层外至少有一层修...
【技术保护点】
一种气敏传感器，由衬底、叉指电极和敏感层组成，其特征是在敏感层外至少有一层修饰保护层。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：蒋大鹏，张立功，吕安德，范翊，李亚君，
申请(专利权)人：中国科学院长春物理研究所，
类型：实用新型
国别省市：22[中国|吉林]
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