电子能谱仪样品分析前处理装置制造方法及图纸

电子能谱仪样品分析前处理装置，涉及一种电子能谱仪。提供一种电子能谱仪样品分析前处理装置。设有手套箱、预备室、手套机构、真空泵和原位反应池。手套箱上设有箱侧门、进出气口、导入反应气体口、导入反应液体口、观察窗、电子能谱仪接口和压力表；预备室上设有侧门、可抽真空的进出气口和压力表；手套机构接手套箱，手套机构上设有进出气口，进气口外接补气源；真空泵接手套箱出气口，真空泵接预备室的可抽真空出气口，真空泵接手套机构出气口；原位反应池设于手套箱内，原位反应池上设有电源接口、热电偶接口、导入气体接口和导出气体接口，导入气体接口接手套箱的导入反应气体口，导出气体接口接手套箱的出气口。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种电子能谱仪，尤其是涉及一种电子能谱仪样品分析前处理装置。
技术介绍
由于电子能谱技术可提供样品表面组成与结构(包括表面原子或分子的几何分布、电子 层结构及振动结构等)等信息，至今已发展成为重要的表面分析手段。从根本上理解样品表 面原子水平上的组成和结构与其性能(如催化活性与选择性)的关系，长期以来， 一直是化 学家们追求的目标。但光电子能谱在测样时，样品要在超高真空的分析室内才能分析测试。现有的商品仪器是将适合的样品在大气氛中放入仪器的进样室抽真空至io-6pa，再转入分析室测试，因而不可能在通常的化学反应条件下进行原位分析。为解决上述问题，人们开始着 力于开发一些相应的技术，设法使催化剂表面的超高真空检测尽可能保持反应或预处理状态 的结构特征，特别是要避免样品在离开预处理、吸附或反应气氛而转移到超高真空分析室时， 被暴露于空气而改变甚至完全破坏其表面状态。但有关此方面的应用国内外报道均较少，国内的近百台x-射线光电子能谱仪目前仍未配置此种技术。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种电子能谱仪样品分析前处理装置。本技术设有手套箱，手套箱上设有箱侧门、进气口、出气口、导入反应气体口、导入反应液体口、 观察窗、电子能谱仪接口和真空压力表，电子能谱仪接口外接电子能谱仪，箱侧门用于放入 或取出样品，进气口外接补气源，导入反应液体口外接反应液体源；预备室，预备室上设有侧门、可抽真空的进气口、可抽真空的出气口和真空压力表，预 备室与手套箱连成一体，以便在实验荜作时，在不破坏手套箱内的环境条件下，即可导入新 的需转移或处理的样品，可抽真空的进气口外接补气源；手套机构，手套机构与手套箱连接，手套机构上设有进气口和出气口，进气口外接补气源；真空泵，真空泵与手套箱的出气口连接，真空泵与预备室的可抽真空的出气口连接，真 空泵与手套机构的出气口连接；原位反应池，原位反应池设于手套箱内，原位反应池上设有电源接口、热电偶接口、导 入气体接口和导出气体接口，用于片状样品反应或预处理，电源接口外接电源，热电偶接口 外接热电偶，导入气体接口接手套箱的导入反应气体口，导出气体接口接手套箱的出气口。在手套箱上可设照明装置，在手套箱上最好设封装真空法兰，封装真空法兰用于当需要 时接入多路反应的气体或液体。本技术便于与X-射线光电子能谱仪配套连接，能使样品表面在反应或预处理(如 高温氧化、还原或预吸附等)后，在表面分析交错进行的中间转换过程中，样品不被暴露于 空气或其它气体，并尽可能减少残余气体引起的污染，确保预处理或反应后进行的电子能谱 对表面的探测结果能真实地代表样品表面在上述高压高温条件下的组成与结构特征。附图说明图1为本技术实施例的结构框图。图2为本技术实施例的手套箱、预备室和手套机构的连接关系示意图。图3为图2的后视图。图4为图2的左视图。图5为图2的右视图。图6为本技术实施例的原位反应池的俯视结构示意图。具体实施方式以下实施例将结合附图对本技术作进一步的说明。参见图1 5，本技术设有手套箱l、预备室2、手套机构3、真空泵4和原位反应 池5。手套箱l上设有真空压力表l. 1、箱侧门1.2、大视野观察窗1.3、进气口1.4.1、出气 口 1.4.2、导入反应气体口 1.5.1、导入反应液体口 1.5.2、封装真空法兰1.6、电子能谱仪 接口 1.7和照明用观察窗1.8，电子能谱仪接口 1.7外接电子能谱仪6，箱侧门1.2用于放 入或取出样品，进气口 1.4.1外接补气源，导入反应液体口 1.5.2外接反应液体源。预备室2上设有侧门2. 1、真空压力表2. 2、可抽真空的进气口 2. 3. 1和可抽真空的出 气口2.3.2，预备室2与手套箱1连成一体，以便在实验操作时，在不破坏手套箱内的环境 条件下，即可导入新的需转移或处理的样品，可抽真空的进气口2.3. l外接补气源。手套机构3与手套箱1连接，手套机构3上设有进气口3. 1.1和出气口3. 1.2，进气口 3.1.1外接补气源。真空泵与手套箱1的出气口 1.4.2连接，真空泵与预备室2的可抽真空的出气口连接2.3.2，真空泵与手套机构3的出气口 3. 1.2连接。参见图6，原位反应池设于手套箱内，原位反应池上设有电源接口 A、热电偶接口 B、 导入气体接口C和导出气体接口D，用于片状样品反应或预处理，电源接口A外接电源，热 电偶接口B外接热电偶，导入气体接口C接手套箱的导入反应气体口，导出气体接口D接手 套箱的出气口。在手套箱上可设照明装置，封装i空法兰用于当需要时接入多路反应的气体或液体。 将本技术与MultiLab 2000型X-射线光电子能谱仪(美国Themo公司产品)的进 样室连接，进行以下操作1)反复抽低真空至10—2pa后充入〉latm的高纯N2或其它惰性气 体，进行样品的厌氧转入X-射线光电子能谱仪分析测试。2)样品在原位反应和预处理(如高温氧化、还原或预吸附等)之后厌氧转移入x-射线光电子能谱仪分析测试。权利要求1.电子能谱仪样品分析前处理装置，其特征在于设有手套箱，手套箱上设有箱侧门、进气口、出气口、导入反应气体口、导入反应液体口、观察窗、电子能谱仪接口和真空压力表，电子能谱仪接口外接电子能谱仪，进气口外接补气源，导入反应液体口外接反应液体源；预备室，预备室上设有侧门、可抽真空的进气口、可抽真空的出气口和真空压力表，预备室与手套箱连成一体，可抽真空的进气口外接补气源；手套机构，手套机构与手套箱连接，手套机构上设有进气口和出气口，进气口外接补气源；真空泵，真空泵与手套箱的出气口连接，真空泵与预备室的可抽真空的出气口连接，真空泵与手套机构的出气口连接；原位反应池，原位反应池设于手套箱内，原位反应池上设有电源接口、热电偶接口、导入气体接口和导出气体接口，电源接口外接电源，热电偶接口外接热电偶，导入气体接口接手套箱的导入反应气体口，导出气体接口接手套箱的出气口。2. 如权利要求l所述的电子能谱仪样品分析前处理装置，其特征在于在手套箱上设照明 装置。3. 如权利要求l所述的电子能谱仪样品分析前处理装置，其特征在于在手套箱上设封装 真空法兰。专利摘要电子能谱仪样品分析前处理装置，涉及一种电子能谱仪。提供一种电子能谱仪样品分析前处理装置。设有手套箱、预备室、手套机构、真空泵和原位反应池。手套箱上设有箱侧门、进出气口、导入反应气体口、导入反应液体口、观察窗、电子能谱仪接口和压力表；预备室上设有侧门、可抽真空的进出气口和压力表；手套机构接手套箱，手套机构上设有进出气口，进气口外接补气源；真空泵接手套箱出气口，真空泵接预备室的可抽真空出气口，真空泵接手套机构出气口；原位反应池设于手套箱内，原位反应池上设有电源接口、热电偶接口、导入气体接口和导出气体接口，导入气体接口接手套箱的导入反应气体口，导出气体接口接手套箱的出气口。文档编号G01N13/00GK201066334SQ200720007780公开日2008年5月28日 申请日期2007年7月30日 优先权日2007年7月30日专利技术者伊晓东, 孙海珍, 时海燕, 王水菊 申请人:厦门大学本文档来自技高网...

【技术保护点】
电子能谱仪样品分析前处理装置，其特征在于设有：　　　　手套箱，手套箱上设有箱侧门、进气口、出气口、导入反应气体口、导入反应液体口、观察窗、电子能谱仪接口和真空压力表，电子能谱仪接口外接电子能谱仪，进气口外接补气源，导入反应液体口外接反应液体源；　　　　预备室，预备室上设有侧门、可抽真空的进气口、可抽真空的出气口和真空压力表，预备室与手套箱连成一体，可抽真空的进气口外接补气源；　　　　手套机构，手套机构与手套箱连接，手套机构上设有进气口和出气口，进气口外接补气源；　　　　真空泵，真空泵与手套箱的出气口连接，真空泵与预备室的可抽真空的出气口连接，真空泵与手套机构的出气口连接；　　　　原位反应池，原位反应池设于手套箱内，原位反应池上设有电源接口、热电偶接口、导入气体接口和导出气体接口，电源接口外接电源，热电偶接口外接热电偶，导入气体接口接手套箱的导入反应气体口，导出气体接口接手套箱的出气口。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：孙海珍，伊晓东，时海燕，王水菊，
申请(专利权)人：厦门大学，
类型：实用新型
国别省市：92[中国|厦门]