【技术实现步骤摘要】
原子力显微镜多探针针座的制作方法 本技术属于原子力显微镜多探针针座的设计。原子力显微镜是二十世纪80年代中期专利技术，九十年代初商品化的现代化高技术分析仪器。其工作原理是利用探针和样品间力与距离的依赖关系来获取物质、材料的表面结构与性质。原子力显微镜对样品的导电性没有要求，也不象电镜那样需对样品进行染色等处理，能在真空、大气甚至溶液中获得物质三维微观表面形貌，还可以得到探针与物质表面的相互作用信息，并能对物质表面进行微加工。而且其工作的温度范围从几开尔文(液氦的温度)至1000开尔文以上。因而广泛地应用在材料、微电子、生物、电化学等领域。典型的原子力显微镜有四种成像模式接触式、非接触式、轻敲式和升降式。其中发展得最早，精度最高，也是目前采用得最为广泛的成像模式是接触式。在接触式成像模式中，V—型悬臂探针是常见的一种探针类型，它一般由氮化硅材料制成。每个探针基底上载有四种不同规格的探针，两种弹性系数较大的在同一端，另一端是弹性系数较小的。实验前，操作人员根据需要将一端的探针置于探针针座的外侧，对样品进行扫描。以美国DI公司生产的原子力显微镜探针针座为例，如果实验操作者想调换针座内侧不同的弹性系数探针进行扫描时，必须将探针取出，重新将其放入探针针座，操作起来十分不便，有时还会将另一侧的针尖打掉，造成经济损失。原有的探针针座不能区别弹性系数不同的两组探针，不利于实验操作时选择用。本技术的目的是设计一种原子力显微镜多探针针座。这种针座是在原有DI接触式探针针座基础上进行改进后设计的。将原有的开放型变为密闭长方形，在左右两侧各对称地伸出两根条形横梁，共4根，每根横梁的...
【技术保护点】
一种原子力显微镜多探针针座，其特征在于针座框（１）为一长方框形，由不锈钢或有机透明玻璃制成，狭长的条形横梁（２）共四根位于框的左右两侧，对称分布，条形横梁（２）的末端上有弹簧片调节按纽（３），圆形凹坑（４）和狭长凹槽（５）分别位于针座内侧边框的角上，在条形横梁（２）上有比探针基底稍宽，承放探针基底的内陷倾斜的探针基底凹槽（６）和用于固定探针基底的弹簧片（７）以及固定弹簧片的弹簧片螺丝（８）。
【技术特征摘要】
1.一种原子力显微镜多探针针座，其特征在于针座框(1)为一长方框形，由不锈钢或有机透明玻璃制成，狭长的条形横梁(2)共四根位于框的左右两侧，对称分布，条形横梁(2)的末端上有弹簧片调节按纽(3)，圆...
【专利技术属性】
技术研发人员：李壮，吴爱国，王宏达，于力华，李晶，
申请(专利权)人：中国科学院长春应用化学研究所，
类型：实用新型
国别省市：82[中国|长春]
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