一种真空蒸镀设备制造技术

本实用新型专利技术涉及真空蒸镀技术领域，公开一种真空蒸镀设备，包括真空腔体和清洁机构。真空腔体内设置有蒸镀机构。清洁机构设置在真空腔体内。清洁机构包括光热源和安装组件，光热源安装在安装组件上，安装组件设置在真空腔体的侧壁上。本实用新型专利技术提供的真空蒸镀设备，光热源通电即可加热，流转工装及真空腔室内壁上残留的蒸镀材料受热蒸发或升华，然后可以在真空抽气作用下被抽出真空腔体外，从而能够防止真空腔体被流转工装上残留的蒸镀材料污染，保证真空腔体的清洁度；另外，将光热源安装在侧壁上，即光热源采用悬挂式安装方式，可以提高真空腔体的空间利用率。

【技术实现步骤摘要】
一种真空蒸镀设备
本技术涉及真空蒸镀
，尤其涉及一种真空蒸镀设备。
技术介绍
在OLED(OrganicLight-EmittingDiode)显示屏生产过程中，通常需要利用真空蒸镀设备对玻璃基片进行真空蒸镀。在蒸镀过程中通常需要用到流转工装，由于要对玻璃基片进行多种材料的连续蒸镀，所以流转工装会从一种蒸镀材料的真空腔体中进入到另一种蒸镀材料的真空腔体中。而当流转工装在多个真空腔体中流转时，上一个真空腔体的残留的蒸镀材料会被流转工装带入至下一个真空腔体中，因此就会造成真空腔体的污染，降低真空腔体的清洁度，同时会影响蒸镀膜层的纯度和结合力，导致产品性能的降低。因此，亟需一种新型的真空蒸镀设备以解决上述技术问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种真空蒸镀设备，能够防止真空腔体被污染，保证真空腔体的清洁度，提高蒸镀膜层的纯度和结合力，有利于提高最终产品的性能。为达上述目的，本技术采用以下技术方案：一种真空蒸镀设备，包括：真空腔体，其内设置有蒸镀机构；清洁机构，设置在所述真空腔体内；所述清洁机构包括光热源和安装组件，所述光热源安装在所述安装组件上，所述安装组件设置在所述真空腔体的侧壁上。进一步地，还包括控温仪表，所述控温仪表与所述光热源电连接，以根据监测温度反馈调节所述光热源的加热温度。进一步地，所述安装组件包括安装座和固定板，所述安装座被配置为可拆卸地安装在所述侧壁上，所述固定板可拆卸地设置在所述安装座上以形成安装腔，所述光热源能够穿过所述安装腔以固定安装在所述真空腔体内。进一步地，所述安装座上设置有第一凹槽，所述固定板能够盖设在所述第一凹槽上以形成所述安装腔。进一步地，所述固定板上设置有第二凹槽，所述第二凹槽能够与所述第一凹槽扣合以形成所述安装腔。进一步地，所述安装座包括第一安装部和第二安装部，通过所述第一安装部将所述安装座安装在所述侧壁上，所述第一凹槽开设在所述第二安装部上。进一步地，所述清洁机构还包括反射罩，所述反射罩用于将所述光热源的光热反射到目标区域。进一步地，所述清洁机构还包括驱动器，所述驱动器的驱动端与所述反射罩连接，所述驱动器能够驱动所述反射罩转动，以调节所述反射罩的朝向。进一步地，还包括滑轨，所述滑轨设置在所述侧壁上，所述安装组件通过所述滑轨可移动地设置在所述侧壁上。本技术的有益效果为：本技术提供的真空蒸镀设备，利用安装组件将光热源安装在真空腔体的侧壁上，光热源通电即可加热，实现真空腔体的快速升温和降温，流转工装及真空腔室内壁上残留的蒸镀材料受热蒸发或升华，然后可以在真空抽气作用下被抽出真空腔体外，从而能够防止真空腔体被流转工装上残留的蒸镀材料污染，保证真空腔体的清洁度，提高蒸镀膜层的纯度和结合力，提高最终产品的性能；另外，将光热源安装在侧壁上，即光热源采用悬挂式安装方式，可以提高真空腔体的空间利用率，避免光热源与真空腔体内的蒸镀机构以及流转工装等发生干涉。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对本技术实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本技术实施例的内容和这些附图获得其他的附图。图1是本技术实施例一提供的真空蒸镀设备的局部结构示意图；图2是本技术实施例一提供的真空蒸镀设备中安装座和固定板的配合关系示意图；图3是本技术实施例一提供的真空蒸镀设备中安装座的结构示意图；图4是本技术实施例一提供的真空蒸镀设备中固定板的结构示意图；图5是本技术实施例二提供的真空蒸镀设备的局部结构示意图；图6是本技术实施例三提供的真空蒸镀设备的局部结构示意图。图中：100-侧壁；1-光热源；11-灯管；12-钨丝；2-安装组件；21-安装座；211-第一凹槽；212-第一安装部；213-第二安装部；22-固定板；221-第二凹槽；23-安装腔；3-反射罩；4-滑轨；51-第一驱动器；52-第二驱动器；6-支臂。具体实施方式为使本技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本技术实施例的技术方案作进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，或者用于区分不同结构或部件，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。实施例一如图1所示，本实施例提供一种真空蒸镀设备，包括真空腔体和清洁机构，真空腔体内设置有蒸镀机构。清洁机构设置在真空腔体内。清洁机构包括光热源1和安装组件2，光热源1安装在安装组件2上，安装组件2设置在真空腔体的侧壁100上。本实施例提供的真空蒸镀设备，利用安装组件2将光热源1安装在真空腔体的侧壁100上，光热源1通电即可加热，实现真空腔体的快速升温和降温，流转工装及真空腔室内壁上残留的蒸镀材料受热蒸发或升华，然后可以在真空抽气作用下被抽出真空腔体外，从而能够防止真空腔体被流转工装上残留的蒸镀材料污染，保证真空腔体的清洁度，提高蒸镀膜层的纯度和结合力，提高最终产品的性能；另外，将光热源1安装在侧壁100上，即光热源1采用悬挂式安装方式，可以提高真空腔体的空间利用率，避免光热源1与真空腔体内的蒸镀机构以及流转工装等发生干涉。优选地，本实施例提供的真空蒸镀设备还包括控温仪表，控温仪表与光热源1电连接，以根据监测温度反馈调节光热源1的加热温度。由于不同材料蒸发所需的温度不同，通过控温仪表能够灵活地调整光热源1的加热温度，以满足不同材料蒸发所需的温度要求。优选地，如图1所示，每个光热源1通过至少两组安装组件2安装在侧壁100上。通过多组安装组件2的配合，有利于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空蒸镀设备，其特征在于，包括：/n真空腔体，其内设置有蒸镀机构；/n清洁机构，设置在所述真空腔体内；/n所述清洁机构包括光热源(1)和安装组件(2)，所述光热源(1)安装在所述安装组件(2)上，所述安装组件(2)设置在所述真空腔体的侧壁(100)上。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空蒸镀设备，其特征在于，包括：
真空腔体，其内设置有蒸镀机构；
清洁机构，设置在所述真空腔体内；
所述清洁机构包括光热源(1)和安装组件(2)，所述光热源(1)安装在所述安装组件(2)上，所述安装组件(2)设置在所述真空腔体的侧壁(100)上。


2.根据权利要求1所述的真空蒸镀设备，其特征在于，还包括控温仪表，所述控温仪表与所述光热源(1)电连接，以根据监测温度反馈调节所述光热源(1)的加热温度。


3.根据权利要求1所述的真空蒸镀设备，其特征在于，所述安装组件(2)包括安装座(21)和固定板(22)，所述安装座(21)被配置为可拆卸地安装在所述侧壁(100)上，所述固定板(22)可拆卸地设置在所述安装座(21)上以形成安装腔(23)，所述光热源(1)能够穿过所述安装腔(23)以固定安装在所述真空腔体内。


4.根据权利要求3所述的真空蒸镀设备，其特征在于，所述安装座(21)上设置有第一凹槽(211)，所述固定板(22)能够盖设在所述第一凹槽(211)上以形成所述安装腔(23)。


5.根据权利要求4...

【专利技术属性】
技术研发人员：高永喜，武启飞，廖良生，赵鹏鹏，陈奇，
申请(专利权)人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32