一种高复原传导薄膜压力传感器及其制备方法技术

本发明专利技术的提供的一种高复原传导薄膜压力传感器及其制备方法，包括承压钢杯、传导薄以及引压连接管，所述的传导薄为多层复合膜，所述的多层复合膜的底面朝向承压钢杯的杯底，多层复合膜自底面到表面依次包括绝缘隔离膜、金属敏感纳米膜、引线导电膜、凝胶保护膜；所述的引线导电膜设有金属导线，并与引压连接管连接。本发明专利技术的提供的一种高复原传导薄膜压力传感器及其制备方法，传导薄膜采用复合结构，确保传导薄膜具有良好的复原性能，在高温下不易老化，并且可以保持长效，确保压力传感器的准确性。

【技术实现步骤摘要】
一种高复原传导薄膜压力传感器及其制备方法
本专利技术涉及压力传感器
，特别是涉及一种高复原传导薄膜压力传感器及其制备方法。
技术介绍
现有薄膜压力传感器包括引压器件、弹性敏感元件、引线、补偿电路、外罩等组成，弹性敏感元件一般采用传导薄膜，工作的时候传导薄膜承受一定的压力，甚至在高温环境下作业的传感器，传导薄膜更容易老化，因此时间长以后传导薄膜容易变形不能及时复原，导致传感器的准确性下降。
技术实现思路
针对上述技术问题，本专利技术提供一种高复原传导薄膜压力传感器及其制备方法，传导薄膜具有良好的复原性能，确保高温下或者延长传导薄膜的性能。针对上述技术目的，本专利技术的具体技术方案为：一种高复原传导薄膜压力传感器，包括承压钢杯、传导薄以及引压连接管，所述的传导薄为多层复合膜，所述的多层复合膜的底面朝向承压钢杯的杯底，多层复合膜自底面到表面依次包括绝缘隔离膜、金属敏感纳米膜、引线导电膜、凝胶保护膜；所述的引线导电膜设有金属导线，并与引压连接管连接。所述的传导薄厚度为1000～2000纳米。该高复原传导薄膜压力传感器的制备方法，包括下述步骤：(1)在承压钢杯上上制成绝缘隔离膜；(2)在绝缘隔离膜上形成金属敏感纳米膜；(3)将带有导电离子的液体凝胶的聚合离子溶液在金属敏感纳米膜上制成引线导电膜；所述的引线导电膜设置金属导线，并与引压连接管连接；(4)用液体凝胶的聚合离子液体在引线导电膜上形成凝胶保护膜。其中，所述的金属敏感纳米膜的制备方法为，将单晶金属纳米线用分散剂配制成浓度为5～15mg/ml的分散液，然后用印刷的方法制成金属敏感纳米膜。进一步的，所述的单晶金属纳米线为金属银、铜、铋、硒中的一种或多种混合形成的单晶纳米线。其中，所述的液体凝胶的聚合离子液体首先配置成溶液，溶剂包括聚合离子，并加入适量的引发剂。优选的，所述的聚合离子为1-乙烯基-3-甲基咪唑氯盐、1-乙烯基-3-甲基咪唑溴盐、1-乙烯基-3-丁基咪唑溴盐、1-乙烯基-3-乙基咪唑溴盐、1-乙烯基-3-丁基咪唑氯盐、1-乙烯基-3-乙基咪唑氯盐、1-乙烯基-3-辛基咪唑溴盐、1-乙烯基-3-辛基咪唑氯盐、1-丙烯基-3-乙基咪唑溴盐、1-丙烯基-3乙基咪唑溴盐、1-丙烯基-3乙基咪唑氯盐、1-丙烯基-3-乙基咪唑氯盐、1-丙烯基-3-甲基咪唑溴盐、1-丙烯基-3-甲基咪唑氯盐中的一种或多种。与现有技术相比，本专利技术的提供的一种高复原传导薄膜压力传感器及其制备方法，传导薄膜采用复合结构，确保传导薄膜具有良好的复原性能，在高温下不易老化，并且可以保持长效，确保压力传感器的准确性。附图说明图1为本专利技术的剖面结构示意图。具体实施方式下面将结合实施例对本专利技术的实施方案进行详细描述，但是本领域技术人员将会理解，下列实施例仅用于说明本专利技术，而不应视为限制本专利技术的范围。实施例中未注明具体条件者，按照常规条件或制造商建议的条件进行。所用试剂或仪器未注明生产厂商者，均为可以通过市售购买获得的常规产品。实施例1如图1所示，一种高复原传导薄膜压力传感器，包括承压钢杯1、传导薄6以及引压连接管7，所述的传导薄6为多层复合膜，所述的传导薄6厚度为1000～2000纳米。所述的多层复合膜的底面朝向承压钢杯1的杯底，多层复合膜自底面到表面依次包括绝缘隔离膜2、金属敏感纳米膜3、引线导电膜4、凝胶保护膜5；所述的引线导电膜4设有金属导线，并与引压连接管7连接。实施例2实施例1所述的高复原传导薄膜压力传感器的制备方法，包括下述步骤：(1)在承压钢杯1上上制成绝缘隔离膜2；(2)在绝缘隔离膜2上形成金属敏感纳米膜3；所述的金属敏感纳米膜3的制备方法为，将单晶金属纳米线用分散剂配制成浓度为12mg/ml的分散液，然后用印刷的方法制成金属敏感纳米膜3。进一步的，所述的单晶金属纳米线为金属银形成的单晶纳米线。(3)将带有导电离子的液体凝胶的聚合离子溶液在金属敏感纳米膜3上制成引线导电膜4；所述的引线导电膜4设置金属导线，并与引压连接管7连接；所述的液体凝胶的聚合离子液体首先配置成溶液，溶剂包括聚合离子，并加入适量的引发剂；所述的聚合离子为1-乙烯基-3-甲基咪唑氯盐。(4)用液体凝胶的聚合离子液体在引线导电膜4上形成凝胶保护膜5。实施例3实施例1所述的高复原传导薄膜压力传感器的制备方法，包括下述步骤：(1)在承压钢杯1上上制成绝缘隔离膜2；(2)在绝缘隔离膜2上形成金属敏感纳米膜3；所述的金属敏感纳米膜3的制备方法为，将单晶金属纳米线用分散剂配制成浓度为10mg/ml的分散液，然后用印刷的方法制成金属敏感纳米膜3。进一步的，所述的单晶金属纳米线为金属铜。(3)将带有导电离子的液体凝胶的聚合离子溶液在金属敏感纳米膜3上制成引线导电膜4；所述的引线导电膜4设置金属导线，并与引压连接管7连接；所述的液体凝胶的聚合离子液体首先配置成溶液，溶剂包括聚合离子，并加入适量的引发剂；所述的聚合离子为1-乙烯基-3-甲基咪唑溴盐、1-乙烯基-3-辛基咪唑溴盐、1-丙烯基-3-乙基咪唑溴盐等质量比例混合。(4)用液体凝胶的聚合离子液体在引线导电膜4上形成凝胶保护膜5。实施例4实施例1所述的高复原传导薄膜压力传感器的制备方法，包括下述步骤：(1)在承压钢杯1上上制成绝缘隔离膜2；(2)在绝缘隔离膜2上形成金属敏感纳米膜3；所述的金属敏感纳米膜3的制备方法为，将单晶金属纳米线用分散剂配制成浓度为5mg/ml的分散液，然后用印刷的方法制成金属敏感纳米膜3。进一步的，所述的单晶金属纳米线为金属铋、硒混合形成的单晶纳米线。(3)将带有导电离子的液体凝胶的聚合离子溶液在金属敏感纳米膜3上制成引线导电膜4；所述的引线导电膜4设置金属导线，并与引压连接管7连接；所述的液体凝胶的聚合离子液体首先配置成溶液，溶剂包括聚合离子，并加入适量的引发剂；所述的聚合离子为1-丙烯基-3-乙基咪唑氯盐、1-丙烯基-3-甲基咪唑氯盐中的等质量混合。(4)用液体凝胶的聚合离子液体在引线导电膜4上形成凝胶保护膜5。以上仅为本申请的优选实施例，并非对本申请作出任何形式上和实质上的限制。本领域的技术人员，在不脱离本申请技术方案的范围内，当可利用以上所揭示的
技术实现思路
而作出的些许更改、修饰与演变的等同变化均为本申请的等效实施例；同时，凡依据本申请的实质技术对以上实施例所作的任何等同变化的更改、修饰与演变等均在本申请的由权利要求界定的范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高复原传导薄膜压力传感器，包括承压钢杯、传导薄以及引压连接管，其特征在于，所述的传导薄为多层复合膜，所述的多层复合膜的底面朝向承压钢杯的杯底，多层复合膜自底面到表面依次包括绝缘隔离膜、金属敏感纳米膜、引线导电膜、凝胶保护膜；所述的引线导电膜设有金属导线，并与引压连接管连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种高复原传导薄膜压力传感器，包括承压钢杯、传导薄以及引压连接管，其特征在于，所述的传导薄为多层复合膜，所述的多层复合膜的底面朝向承压钢杯的杯底，多层复合膜自底面到表面依次包括绝缘隔离膜、金属敏感纳米膜、引线导电膜、凝胶保护膜；所述的引线导电膜设有金属导线，并与引压连接管连接。


2.根据权利要求1所述的高复原传导薄膜压力传感器，其特征在于，所述的传导薄厚度为1000～2000纳米。


3.根据权利要求1或2所述的一种高复原传导薄膜压力传感器的制备方法，其特征在于，包括下述步骤：
(1)在承压钢杯上上制成绝缘隔离膜；
(2)在绝缘隔离膜上形成金属敏感纳米膜；
(3)将带有导电离子的液体凝胶的聚合离子溶液在金属敏感纳米膜上制成引线导电膜；所述的引线导电膜设置金属导线，并与引压连接管连接；
(4)用液体凝胶的聚合离子液体在引线导电膜上形成凝胶保护膜。


4.根据权利要求3所述的一种高复原传导薄膜压力传感器的制备方法，其特征在于，所述的金属敏感纳米膜的制备方法为，将单晶金属纳米线用分散...

【专利技术属性】
技术研发人员：祁建，
申请(专利权)人：无锡康森斯克电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32