工件架旋转系统以及真空镀膜设备技术方案

本发明专利技术公开一种工件架旋转系统以及真空镀膜设备，所述工件架旋转系统包括安装座、转动组件和驱动系统，所述转动组件设于所述安装座，所述转动组件包括用以固定待镀膜工件的自转盘，所述自转盘可沿着其自转轴可转动设置，且所述自转盘还可绕着一公转轴转动设置，所述驱动系统驱动连接于所述转动组件，所述驱动系统驱动所述自转盘绕着所述自转轴和/或所述公转轴转动，以使得所述自转盘具有单独绕其自转轴转动的自转行程、单独绕公转轴转动的公转行程、以及同时能够绕自转轴转动和公转轴转动的组合转动行程。本发明专利技术提供的技术方案能够实现对工件进行自转、公转和自转与公转同时进行的组合转动形式，以能够对工件的多个表面进行镀膜，以解决现有技术的缺陷。

【技术实现步骤摘要】
工件架旋转系统以及真空镀膜设备
本专利技术涉及真空镀膜加工
，尤其是一种工件架旋转系统以及真空镀膜设备。
技术介绍
现有的PVD(PhysicalVaporDeposition的缩写，中文意思是“物理气相沉积”)镀膜(通常称之为真空镀膜)中需要将工件放置在真空室中进行镀膜，由于靶材固定，所以需要将工件进行旋转，现有的工件的旋转形式都采用单一的旋转方式，故而，在一次镀膜时，不能做到对工件的各个表面进行镀膜，所以现有技术对于工件的多个表面进行镀膜时，采用分多次进行镀膜，操作比较麻烦。
技术实现思路
本专利技术的主要目的是提出一种工件架旋转系统以及真空镀膜设备，旨在能够实现对工件进行自转、公转和自转与公转同时进行的组合转动形式，以能够对工件的多个表面进行镀膜，以解决现有技术的缺陷。为实现上述目的，本专利技术提出一种工件架旋转系统，用在真空镀膜设备上，其特征在于，所述工件架旋转系统包括：安装座；转动组件，设于所述安装座，所述转动组件包括用以固定待镀膜工件的自转盘，所述自转盘可沿着其自转轴可转动设置，且所述自转盘还可绕着一公转轴转动设置；以及，驱动系统，驱动连接于所述转动组件，所述驱动系统驱动所述自转盘绕着所述自转轴和/或所述公转轴转动，以使得所述自转盘具有单独绕其自转轴转动的自转行程、单独绕公转轴转动的公转行程、以及同时能够绕自转轴转动和公转轴转动的组合转动行程。可选地，所述转动组件还包括一公转盘，所述公转盘可转动设置，所述公转盘的转轴为所述公转轴；所述自转盘沿着其自转动轴可转动地设于所述公转盘上，且可随着所述公转盘一同公转；所述驱动系统驱动连接于所述公转盘和所述自转盘，且可选择性地驱动所述自转盘自转和/或所述公转盘公转。可选地，所述驱动系统包括：驱动装置；以及，传动机构，传动连接在所述驱动装置与所述公转盘和所述自转盘之间，以将所述驱动装置驱动转化为所述公转盘的公转和/或所述自转盘的自转。可选地，所述驱动装置包括公共驱动装置；所述传动机构包括传动动连接在所述公共驱动装置和所述公转盘之间的公转传动机构、以及传动连接在所述公共驱动装置和所述自转盘之间的自转传动机构；其中，所述公转传动机构和所述自转传动机构均设置为可离合的传动机构，以使得所述公共驱动装置能够选择驱动所述自转盘自转和/或所述公转盘公转。可选地，所述驱动装置包括公转驱动装置和自转驱动装置；所述传动机构包括传动连接在所述公转驱动装置和所述公转盘之间的公转传动机构、以及传动连接在所述自转动驱动装置和所述自转盘之间的自转传动机构。可选地，所述公转驱动装置和所述自转驱动装置均固定安装于所述安装座；所述自转传动机构设置为可离合传动设置的传动机构，以使得所述公转动驱动装置通过所述公转传动机构驱动所述公转盘时，所述自转盘与所述公转驱动装置之间脱离驱动连接。可选地，所述公转传动机构包括固定套接在所述公转轴的公转转动部，以通过所述公转轴与所述公转盘连接，所述公转转动部与所述公转驱动装置传动连接，以被所述公转驱动装置驱动转动；所述自转传动机构包括：转动轴，外套接于所述公转轴，且两者之间可相对转动；自转动传动部，固定套接在所述转动轴，且与所述自转动驱动装置传动连接，以被所述自转驱动装置驱动转动；大齿轮，固定套接于所述转动轴，以被所述转动轴带动转动；以及，小齿轮，与所述大齿轮相啮合，且可通过所述自转轴与所述自转盘连接；其中，所述小齿轮和所述大齿轮设置为可分离设置，或者所述自转动轴与所述小齿轮设置为可离合设置，以使得所述自转传动机构设置为可离合传动设置的传动机构。可选地，所述小齿轮套接于所述自转轴，且两者之间在周向上相互固定以传递转动，所述小齿轮在所述自转轴的轴向上可调节设置，以使得所述小齿轮能够与所述大齿轮分离和啮合。可选地，所述自转轴上与处在分离状态的所述小齿轮对应的分离位置、以及对应处在啮合状态的所述小齿轮的啮合位置；所述小齿轮和所述自转轴的分离位置，其中之一设置有定位部，另一设置有配合部，通过所述定位部和所述配合部的定位配合，以使得所述小齿轮定位在所述自转轴的分离位置。可选地，所述定位部为卡槽，所述配合部为弹性卡凸。可选地，所述小齿轮与所述自转轴之间设置有复位件，所述复位件用以在所述定位部和所述配合部解除配合时，将所述小齿轮复位至所述啮合位置。可选地，所述安装座上还设置有能够驱动所述小齿轮在所述自转轴上的分离位置和啮合位置之间活动的调节装置。可选地，所述调节装置包括：脱离装置，具有可驱动伸缩设置的抵顶件，所述抵顶件用以顶推所述小齿轮自所述自转轴的啮合位置移动至所述分离位置；以及，复位装置，具有可驱动伸缩设置的吸附件，所述吸附件用以吸附所述小齿轮设置，以对处在所述分离位置的所述小齿轮施加作用力，使得所述定位部和所述配合部解除配合。可选地，所述吸附件上设置有第一磁吸部；所述小齿轮设置有与所述第一磁吸部吸附的第二磁吸部。可选地，所述安装座包括固定板，所述固定板与所述公转盘相对设置，且所述固定板上设置有支撑组件，所述支撑组件的一端与所述固定板固定连接，另一端设置有与所述公转盘滚动接触的滚动件。本专利技术还提供一种真空镀膜设备，包括工件架旋转系统，所述工件架旋转系统包括：安装座；转动组件，设于所述安装座，所述转动组件包括用以固定待镀膜工件的自转盘，所述自转盘可沿着其自转轴可转动设置，且所述自转盘还可绕着一公转轴转动设置；以及，驱动系统，驱动连接于所述转动组件，所述驱动系统驱动所述自转盘绕着所述自转轴和/或所述公转轴转动，以使得所述自转盘具有单独绕其自转轴转动的自转行程、单独绕公转轴转动的公转行程、以及同时能够绕自转轴转动和公转轴转动的组合转动行程。本专利技术的技术方案中，用以固定待镀膜工件的自转盘具有单独绕其自转轴转动的自转行程、单独绕公转轴转动的公转行程、以及同时能够绕自转轴转动和公转轴转动的组合转动行程，以能够对工件的多个表面进行镀膜，以解决现有技术的缺陷。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。图1为本专利技术提供的工件架旋转系统的一实施例的立体示意图；图2为图1的工件架旋转系统的传动系统的主要结构的立体示意图；图3为图2的剖视示意图；图4为图1中的自转盘、小齿轮和自转轴的组合示意图；图5为图4的剖视示意图；图6为图1中的分离装置的立体示意图；图7为图1中的复位装置的立体示意图；图8为图1中的支撑组件的立体示意图。本专利技术提供的实施例附图标号说明：...

【技术保护点】
1.一种工件架旋转系统，用在真空镀膜设备上，其特征在于，所述工件架旋转系统包括：/n安装座；/n转动组件，设于所述安装座，所述转动组件包括用以固定待镀膜工件的自转盘，所述自转盘可沿着其自转轴可转动设置，且所述自转盘还可绕着一公转轴转动设置；以及，/n驱动系统，驱动连接于所述转动组件，所述驱动系统驱动所述自转盘绕着所述自转轴和/或所述公转轴转动，以使得所述自转盘具有单独绕其自转轴转动的自转行程、单独绕公转轴转动的公转行程、以及同时能够绕自转轴转动和公转轴转动的组合转动行程。/n

【技术特征摘要】
1.一种工件架旋转系统，用在真空镀膜设备上，其特征在于，所述工件架旋转系统包括：
安装座；
转动组件，设于所述安装座，所述转动组件包括用以固定待镀膜工件的自转盘，所述自转盘可沿着其自转轴可转动设置，且所述自转盘还可绕着一公转轴转动设置；以及，
驱动系统，驱动连接于所述转动组件，所述驱动系统驱动所述自转盘绕着所述自转轴和/或所述公转轴转动，以使得所述自转盘具有单独绕其自转轴转动的自转行程、单独绕公转轴转动的公转行程、以及同时能够绕自转轴转动和公转轴转动的组合转动行程。


2.如权利要求1所述的工件架旋转系统，其特征在于，所述转动组件还包括一公转盘，所述公转盘可转动设置，所述公转盘的转轴为所述公转轴；
所述自转盘沿着其自转动轴可转动地设于所述公转盘上，且可随着所述公转盘一同公转；
所述驱动系统驱动连接于所述公转盘和所述自转盘，且可选择性地驱动所述自转盘自转和/或所述公转盘公转。


3.如权利要求2所述的工件架旋转系统，其特征在于，所述驱动系统包括：
驱动装置；以及，
传动机构，传动连接在所述驱动装置与所述公转盘和所述自转盘之间，以将所述驱动装置驱动转化为所述公转盘的公转和/或所述自转盘的自转。


4.如权利要求3所述的工件架旋转系统，其特征在于，所述驱动装置包括公共驱动装置；
所述传动机构包括传动动连接在所述公共驱动装置和所述公转盘之间的公转传动机构、以及传动连接在所述公共驱动装置和所述自转盘之间的自转传动机构；
其中，所述公转传动机构和所述自转传动机构均设置为可离合的传动机构，以使得所述公共驱动装置能够选择驱动所述自转盘自转和/或所述公转盘公转。


5.如权利要求3所述的工件架旋转系统，其特征在于，所述驱动装置包括公转驱动装置和自转驱动装置；
所述传动机构包括传动连接在所述公转驱动装置和所述公转盘之间的公转传动机构、以及传动连接在所述自转动驱动装置和所述自转盘之间的自转传动机构。


6.如权利要求5所述的工件架旋转系统，其特征在于，所述公转驱动装置和所述自转驱动装置均固定安装于所述安装座；
所述自转传动机构设置为可离合传动设置的传动机构，以使得所述公转动驱动装置通过所述公转传动机构驱动所述公转盘时，所述自转盘与所述公转驱动装置之间脱离驱动连接。


7.如权利要求6所述的工件架旋转系统，其特征在于，所述公转传动机构包括固定套接在所述公转轴的公转转动部，以通过所述公转轴与所述公转盘连接，所述公转转动部与所述公转驱动装置传动连接，以被所述公转驱动装置驱动转动；
所述自转传动机构包括：
转动轴，外套接于所述公转轴，且两者之间可...

【专利技术属性】
技术研发人员：李刘合，毛迎东，孙玉强，寇淑文，
申请(专利权)人：北航歌尔潍坊智能机器人有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37