一种衬底搬送机器人及衬底处理系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种衬底搬送机器人及衬底处理系统，包括底座，所述底座上端表面开设有容纳槽，所述容纳槽内部底端设置有支撑板，所述支撑板顶部固定设置有机体，所述底座外部四侧顶端均通过螺纹孔活动设置有螺栓，所述螺栓的一端均通过螺纹孔位于机体内部。本实用新型专利技术在容纳槽内部是通过支撑板来进行支撑机体的，在需要将机体与底座进行分离时，工作人员只需拆卸下螺栓，然后使马达进行工作带动螺杆转动就能够使移动板进行移动来带动支撑板进行同步的移动，使得机体的底端能够逐渐移动出容纳槽，避免了工作人员需要使用过多的力气将机体移动出容纳槽的步骤，节省了人力，提高了用于安装本机器人的底座的使用便利性。

【技术实现步骤摘要】
一种衬底搬送机器人及衬底处理系统
本技术涉及衬底搬送机器人
，具体为一种衬底搬送机器人及衬底处理系统。
技术介绍
以往，以机器人搬送半导体制造用晶片等衬底的技术已广泛运用。此处，在制造半导体时，实施晶片的洗净处理、成膜处理、加热处理、蚀刻处理等各种处理步骤。由于各处理步骤是以各不相同的处理装置实施，所以必须在多个处理装置之间搬送晶片。目前的衬底搬送机器人多是安装在一个底座上的，通过底座底部滚轮的设置来方便机器人的日常移动，但在需要将机器人与底座进行分离时，工作人员仍需使用较大的力来搬起机器人主体才能够完成机器人与底座的分离，比较费力。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种衬底搬送机器人及衬底处理系统，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种衬底搬送机器人及衬底处理系统，包括底座，所述底座上端表面开设有容纳槽，所述容纳槽内部底端设置有支撑板，所述支撑板顶部固定设置有机体，所述底座外部四侧顶端均通过螺纹孔活动设置有螺栓，所述螺栓的一端均通过螺纹孔位于机体内部，所述机体一侧设置有机器人处理器，所述机体与机器人处理器电性连接，所述机体顶部固定设置有支撑杆，所述支撑杆顶部通过转轴活动设置有第一连接杆，所述第一连接杆的一端顶部通过转轴活动设置有第二连接杆，所述第二连接杆的一端顶部固定设置有安装块，所述安装块一侧上下两端均开设有放置槽，所述放置槽内部一侧均固定设置有电动推杆，所述电动推杆的伸缩杆端处均设置有夹板，所述夹板远离电动推杆的一端位于安装块外部。<br>优选的，所述底座内部在容纳槽下方开始有空腔。优选的，所述空腔内部通过转轴活动设置有螺杆，所述底座底部通过安装座安装有马达，所述马达的输出轴端通过联轴器与螺杆所在的转轴传动连接，所述螺杆一端外侧通过螺纹孔活动设置有移动板，所述移动板顶部外侧均匀设置有若干支撑柱，若干所述支撑柱顶端均通过安装孔穿过底座与支撑板固定连接。优选的，所述底座底部在马达外侧设置有支撑块。优选的，所述支撑板外侧均均匀开设有凹槽，所述凹槽内部均通过转轴活动设置有滚轮。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1、本技术在容纳槽内部是通过支撑板来进行支撑机体的，在需要将机体与底座进行分离时，工作人员只需拆卸下螺栓，然后使马达进行工作带动螺杆转动就能够使移动板进行移动来带动支撑板进行同步的移动，使得机体的底端能够逐渐移动出容纳槽，避免了工作人员需要使用过多的力气将机体移动出容纳槽的步骤，节省了人力，提高了用于安装本机器人的底座的使用便利性；2、本技术还在支撑板外侧的多个凹槽中均设置有滚轮，滚轮的设置能够使得支撑板的外侧表面会通过滚轮与容纳槽的侧壁进行进行接触，从而使支撑板在上升移动的过程中，支撑板的边缘不会与容纳槽的内壁发生接触而卡住，保证了支撑板的上升工作的稳定进行，进一步提高了底座的使用便利性。附图说明图1为本技术一种衬底搬送机器人及衬底处理系统整体结构示意图；图2为本技术一种衬底搬送机器人及衬底处理系统滚轮在支撑板上的安装视图；图3为本技术一种衬底搬送机器人及衬底处理系统图1中A处的放大视图。图中：1、底座；2、容纳槽；3、支撑板；4、机体；5、螺栓；6、机器人处理器；7、支撑杆；8、第一连接杆；9、第二连接杆；10、安装块；11、放置槽；12、电动推杆；13、夹板；14、空腔；15、螺杆；16、马达；17、移动板；18、支撑柱；19、支撑块；20、凹槽；21、滚轮。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3，本技术提供一种技术方案：一种衬底搬送机器人及衬底处理系统，包括底座1，所述底座1上端表面开设有容纳槽2，所述容纳槽2内部底端设置有支撑板3，所述支撑板3顶部固定设置有机体4，所述底座1外部四侧顶端均通过螺纹孔活动设置有螺栓5，所述螺栓5的一端均通过螺纹孔位于机体4内部，所述机体4一侧设置有机器人处理器6，所述机体4与机器人处理器6电性连接，所述机体4顶部固定设置有支撑杆7，所述支撑杆7顶部通过转轴活动设置有第一连接杆8，所述第一连接杆8的一端顶部通过转轴活动设置有第二连接杆9，所述第二连接杆9的一端顶部固定设置有安装块10，所述安装块10一侧上下两端均开设有放置槽11，所述放置槽11内部一侧均固定设置有电动推杆12，所述电动推杆12的伸缩杆端处均设置有夹板13，所述夹板13远离电动推杆12的一端位于安装块10外部。所述底座1内部在容纳槽2下方开始有空腔14，空腔14用于容纳螺杆15和移动板17；所述空腔14内部通过转轴活动设置有螺杆15，所述底座1底部通过安装座安装有马达16，所述马达16的输出轴端通过联轴器与螺杆15所在的转轴传动连接，所述螺杆15一端外侧通过螺纹孔活动设置有移动板17，所述移动板17顶部外侧均匀设置有若干支撑柱18，若干所述支撑柱18顶端均通过安装孔穿过底座1与支撑板3固定连接，通过使马达16进行工作带动螺杆15转动，通过支撑柱18进行限位的移动板17会随着螺杆15的转动进行上下的移动，从而带动通过支撑柱18进行支撑连接的支撑板3进行同步的移动；所述底座1底部在马达16外侧设置有支撑块19，通过支撑块19来支撑起底座1，并且为马达16提供一个放置空间；所述支撑板3外侧均均匀开设有凹槽20，所述凹槽20内部均通过转轴活动设置有滚轮21，通过开设凹槽20来容纳滚轮21，滚轮21的设置能够使得支撑板3的外侧表面会通过滚轮21与容纳槽2的侧壁进行进行接触，从而使支撑板3在上升移动的过程中，支撑板3的边缘不会与容纳槽2的内壁发生接触而卡住。工作原理：在使用本机器人时，通过机器人处理器6来控制机体4上的第一连接杆8和第二连接杆9的使用，也能够控制电动推杆12进行工作带动夹板13合拢来完成对衬底物料的夹取工作，从而使得本机器人能够完成对衬底的搬送工作，本机器人的机体4是安装在底座1上的放置槽11内部的，再通过螺栓5进行固定来完成机器人的日常移动，在需要对机器人的机体4进行检修，即需要将机体4与底座1进行分离时，工作人员只需拆卸下螺栓5，然后使马达16进行工作带动螺杆15转动，通过支撑柱18进行限位的移动板17会随着螺杆15的转动进行上下的移动，从而带动通过支撑柱18进行支撑连接的支撑板3进行同步的移动，使得机体4的底端能够逐渐移动出容纳槽2，避免了工作人员需要使用过多的力气将机体4移动出容纳槽2的步骤，节省了人力，提高了用于安装本机器人的底座1的使用便利性，在支撑板3外侧的多个凹槽20中还设置有滚轮21，使得支撑板3的外侧表面能够通过滚轮21进行接触，从而使支撑板3在上升移动的过程中，支撑板3的边缘不会与容纳本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种衬底搬送机器人及衬底处理系统，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上端表面开设有容纳槽(2)，所述容纳槽(2)内部底端设置有支撑板(3)，所述支撑板(3)顶部固定设置有机体(4)，所述底座(1)外部四侧顶端均通过螺纹孔活动设置有螺栓(5)，所述螺栓(5)的一端均通过螺纹孔位于机体(4)内部，所述机体(4)一侧设置有机器人处理器(6)，所述机体(4)与机器人处理器(6)电性连接，所述机体(4)顶部固定设置有支撑杆(7)，所述支撑杆(7)顶部通过转轴活动设置有第一连接杆(8)，所述第一连接杆(8)的一端顶部通过转轴活动设置有第二连接杆(9)，所述第二连接杆(9)的一端顶部固定设置有安装块(10)，所述安装块(10)一侧上下两端均开设有放置槽(11)，所述放置槽(11)内部一侧均固定设置有电动推杆(12)，所述电动推杆(12)的伸缩杆端处均设置有夹板(13)，所述夹板(13)远离电动推杆(12)的一端位于安装块(10)外部。/n

【技术特征摘要】
1.一种衬底搬送机器人及衬底处理系统，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上端表面开设有容纳槽(2)，所述容纳槽(2)内部底端设置有支撑板(3)，所述支撑板(3)顶部固定设置有机体(4)，所述底座(1)外部四侧顶端均通过螺纹孔活动设置有螺栓(5)，所述螺栓(5)的一端均通过螺纹孔位于机体(4)内部，所述机体(4)一侧设置有机器人处理器(6)，所述机体(4)与机器人处理器(6)电性连接，所述机体(4)顶部固定设置有支撑杆(7)，所述支撑杆(7)顶部通过转轴活动设置有第一连接杆(8)，所述第一连接杆(8)的一端顶部通过转轴活动设置有第二连接杆(9)，所述第二连接杆(9)的一端顶部固定设置有安装块(10)，所述安装块(10)一侧上下两端均开设有放置槽(11)，所述放置槽(11)内部一侧均固定设置有电动推杆(12)，所述电动推杆(12)的伸缩杆端处均设置有夹板(13)，所述夹板(13)远离电动推杆(12)的一端位于安装块(10)外部。


2.根据权利要求1所述的一种衬...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱磊，
申请(专利权)人：天津弘亚模具有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12