搬运机器人制造技术

本发明专利技术提供搬运机器人，能防止机器人与周围的干涉。搬运机器人(10)具备：分别与旋转轴能旋转地连结的第1臂(16)、第2臂(14)以及用于搬运基板的手(11、12)，在搬运机器人(10)中，具备存储部，其存储：对应于手(11、12)的动作范围设定的第1区域(R1)以及第2区域(R2)、用户以手动操作来操作搬运机器人(10)时的操作模式是各轴旋转手动操作的情况下选择的第1条件、和在用户以手动操作来操作搬运机器人(10)时的操作模式是直线手动操作的情况下选择的第2条件，在用户进行手动操作时，对应于所述操作模式读出所述第1条件或所述第2条件，监视手(11、12)的特定点的位置是否适合读出的条件。

【技术实现步骤摘要】
搬运机器人
本专利技术涉及搬运基板的搬运机器人。
技术介绍
过去以来，在对半导体晶片、玻璃基板等基板进行处理的基板处理装置中，设有用于将基板搬运到对这些基板进行处理的腔体的搬运机器人。例如在专利文献1中公开了如下那样的搬运机器人：在搬运机器人的动作范围预先设定干涉区域，存储向示教位置的动作的开始位置、目的位置与干涉区域的组合的型式，判定从开始位置到目的位置的动作符合哪个型式，对应于判定的型式来决定从开始位置到目的位置的动作轨迹，使得避开干涉区域。现有技术文献专利文献专利文献1：JP特开2010-162682号公报但在手动操作搬运机器人的情况下，即，在未预先设定目的位置、由用户直接进行操作的情况下，不能运用专利文献1所涉及的搬运机器人。另外，具有多个旋转轴的SCARA(选择顺应性装配机器手臂(SelectivelyComplianceArticulatedRobotArm))型的搬运机器人，因自由度高而难以手动进行操作，因此在手动进行操作的情况下，需要在防止用户的操作失误引起的与周边装置的干涉上下工夫。
技术实现思路
本专利技术鉴于相关的情况而提出，其目的在于，提供在基板搬运时能防止搬运机器人的手与周围的干涉的搬运机器人。本专利技术所涉及的搬运机器人具有：一端部与第1旋转轴能旋转地连结的第1臂；一端部与设于所述第1臂的另一端部的第2旋转轴能旋转地连结的第2臂；和一端部与设于所述第2臂的另一端部的第3旋转轴能旋转地连结的用于搬运基板的手，所述搬运机器人的特征在于，所述搬运机器人构成为能让用户选择：通过以手动操作使所述第1旋转轴、所述第2旋转轴或所述第3旋转轴的任一者旋转来使所述手的位置变化的各轴手动操作；和使所述手直线地动作的直线手动操作，所述搬运机器人具备存储部，其存储：对应于所述手的动作范围而设定的第1区域以及第2区域；用户在以手动操作来操作所述搬运机器人时的操作模式是各轴旋转手动操作的情况下选择的第1条件；和用户在以手动操作来操作所述搬运机器人时的操作模式是直线手动操作的情况下选择的第2条件，在用户进行手动操作时，对应于所述操作模式来读出所述第1条件或所述第2条件，监视所述手的特定点的位置是否适合读出的条件。在本专利技术所涉及的搬运机器人中，特征在于，所述第1条件是所述手的特定点存在于所述第1区域内。在本专利技术所涉及的搬运机器人中，特征在于，所述第2条件满足下述(1)～(3)的条件的全部。(1)不进行所述直线手动操作的手的所述特定点存在于所述第1区域。(2)进行所述直线手动操作的手的所述特定点存在于所述第1区域内或所述第2区域内。(3)在进行所述直线手动操作的手的所述特定点存在于所述第2区域内的情况下，角度A的相对于合适值的误差是容许误差内。专利技术的效果根据本专利技术，由于基于对应于所述搬运机器人被手动操作时的操作模式而选择的所述第1条件或所述第2条件来监视所述手的特定点的位置，因此能防止所述搬运机器人的所述手与周围的干涉。附图说明图1是表示本实施方式中基板处理装置的主要部分结构的概略的结构图。图2是概略表示本实施方式所涉及的基板处理装置的搬运机器人的立体图。图3是表示本实施方式所涉及的基板处理装置的控制部的主要部分结构的功能框图。图4是说明第1区域的说明图。图5是说明第2区域的说明图。图6是说明第2区域的说明图。图7是说明在本实施方式所涉及的基板处理装置中由控制部进行的搬运机器人的动作控制的流程图。附图标记的说明10搬运机器人11手12手13第3旋转轴15第2旋转轴17第1旋转轴20传输腔体21设置面22侧壁42判定部43选择部44监视部45停止控制部46通报部100基板处理装置C1～C8腔体C13连通口W基板具体实施方式以下基于附图来说明本实施方式所涉及的搬运机器人。图1是表示使用搬运机器人的基板处理装置的主要部分结构的概略的结构图。在图1中，附图标记100表示基板处理装置。基板处理装置100具备主体30和控制部40。主体30具备搬运机器人10和传输腔体20(搬运腔体)。在图1中，为了方便而省略传输腔体20的上部。另外，主体30具备腔体C1～C8。腔体C1～C8当中腔体C1～C7是用于对基板(未图示)进行处理的处理腔体，腔体C8是用于将存放在大气中的基板运进传输腔体20内的预真空腔(loadlock)。另外，基板例如是半导体晶片、玻璃基板等。传输腔体20是被侧壁22等包围的密闭空间，在内侧配置有搬运机器人10。传输腔体20中设有搬运机器人10的设置面21例如是六角形状。传输腔体20的侧壁22周设于设置面21的端部，腔体C1～C8气密地向侧壁22安装，与传输腔体20连通。搬运机器人10将经由腔体C8运进传输腔体20内的基板搬入到腔体C1～C7的任一者。腔体C1～C7对搬入的基板进行蚀刻等处理。另外，搬运机器人10将相关处理后的基板向腔体C1～C7外搬出。另外，搬入以及搬出是搬运动作的一例。另外，在自动运转时，传输腔体20内以及腔体C1～C7内是真空状态，在示教时，使传输腔体20内以及腔体C1～C7内为大气环境来进行。其中，即使是真空状态，只要能从传输腔体20的外侧看到传输腔体20内以及腔体C1～C7内，则就算是真空状态也能从传输腔体20的外侧进行示教。搬运机器人10是多关节式的所谓的SCARA机器人，具有多个旋转轴，构成为能使各旋转轴独立旋转。图2是概略表示本实施方式所涉及的基板处理装置100的搬运机器人10的立体图。搬运机器人10具有在与设置面21正交的Z轴方向(以下也称作上下方向)上上下活动的基台筒部18，在基台筒部18的中心设有第1旋转轴17。在第1旋转轴17能旋转地连结有棒状的第1臂16的一端部，第1臂16能以第1旋转轴17为中心旋转。在第1臂16的另一端部设有第2旋转轴15。在第2旋转轴15能旋转地连结有棒状的第2臂14的一端部，第2臂14能以第2旋转轴15为中心旋转。即，第2旋转轴15的下部安装于第1臂16的另一端部，在第2旋转轴15的上部安装有第2臂14的一端部。另外，第1臂16的长度与第2臂14的长度相同。另外，在第2臂14的另一端部设有第3旋转轴13。在第3旋转轴13能旋转地连结有手11、12的一端部，手11、12能以第3旋转轴13为中心旋转。即，第3旋转轴13构成为能使手11以及手12各自个别地旋转。例如在所述上下方向上，在第3旋转轴13的最上方安装手12的一端部，在手12的所述一端部的下方安装手11的一端部，在最下方安装第2臂14的另一端部。另外，手11、12例如由图2所示那样的长条形状的薄板材构成，形状并没有限定。另外，在第1旋转轴17、第2旋转轴15以及第3旋本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种搬运机器人，具有：/n一端部与第1旋转轴能旋转地连结的第1臂；/n一端部与设于所述第1臂的另一端部的第2旋转轴能旋转地连结的第2臂；和/n一端部与设于所述第2臂的另一端部的第3旋转轴能旋转地连结的用于搬运基板的手，/n所述搬运机器人的特征在于，/n所述搬运机器人构成为能让用户选择：通过以手动操作使所述第1旋转轴、所述第2旋转轴或所述第3旋转轴的任一者旋转来使所述手的位置变化的各轴手动操作；和使所述手直线地动作的直线手动操作，/n所述搬运机器人具备存储部，其存储：/n对应于所述手的动作范围而设定的第1区域以及第2区域；/n用户在以手动操作来操作所述搬运机器人时的操作模式是各轴旋转手动操作的情况下选择的第1条件；和/n用户在以手动操作来操作所述搬运机器人时的操作模式是直线手动操作的情况下选择的第2条件，/n在用户进行手动操作时，对应于所述操作模式来读出所述第1条件或所述第2条件，监视所述手的特定点的位置是否适合读出的条件。/n

【技术特征摘要】
20190401 JP 2019-0699571.一种搬运机器人，具有：
一端部与第1旋转轴能旋转地连结的第1臂；
一端部与设于所述第1臂的另一端部的第2旋转轴能旋转地连结的第2臂；和
一端部与设于所述第2臂的另一端部的第3旋转轴能旋转地连结的用于搬运基板的手，
所述搬运机器人的特征在于，
所述搬运机器人构成为能让用户选择：通过以手动操作使所述第1旋转轴、所述第2旋转轴或所述第3旋转轴的任一者旋转来使所述手的位置变化的各轴手动操作；和使所述手直线地动作的直线手动操作，
所述搬运机器人具备存储部，其存储：
对应于所述手的动作范围而设定的第1区域以及第2区域；
用户在以手动操作来操作所述搬运机器人时的操作模式是各轴旋转手动操作的情况下选择的第1条件；和

【专利技术属性】
技术研发人员：小林巧，
申请(专利权)人：株式会社达谊恒，
类型：发明
国别省市：日本;JP