一种CCD摄像光纤激光划片机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种CCD摄像光纤激光划片机，包括机柜，机柜内安装大理石平台和Z轴滑轨平台，大理石平台上设有X轴滑轨平台，X轴滑轨平台上安装有Y轴滑轨平台，Y轴滑轨平台上安装有吸附平台，吸附平台连接有抽真空装置；吸附平台一侧设有一吸尘装置；Z轴滑轨平台上安装有升降滑台，升降滑台上固定有光路系统，光路系统内安装有激光发生装置，光路系统前端连接45度调整架，45度调整架上设有光学镜片，45度调整架的上方设有CCD相机，45度调整架下方通过螺纹连接聚焦镜筒。本实用新型专利技术不仅保证划线精度，而且提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种CCD摄像光纤激光划片机
本技术涉及划片机，尤其涉及一种CCD摄像光纤激光划片机。
技术介绍
激光划片机是激光经专用光学系统聚焦后成为一个非常小的光点，能量密度高，因其加工是非接触式的，对工件本身无机械冲压力，工件不易变形。热影响极小，划线精度高，广泛应用于太阳能电池板、薄金属片的切割和划片，采用光纤激光器作为工作光源，由计算机控制二维工作台，能按输入的图形做各种运动。输出功率大，划片精度高，速度快，可进行曲线及直线图形切割，这些只针对输入什么图形划刻什么图形，但是对于硅片上已经蚀刻的形状，按照硅片上面的已经存在的线路进行划线，硅片上的线宽只有50um，直径200mm的硅片，激光的光斑是30um，加上工作台精度10um，所以上下位置偏差不能超过10um，如果用肉眼观看和夹具对位置很难做到，而且生产效率低，无法满足生产的需求。因此，研发一种CCD摄像光纤激光划片机，成为本领域技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
本技术是为了解决上述不足，提供了一种CCD摄像光纤激光划片机。本技术的上述目的通过以下的技术方案来实现：一种CCD摄像光纤激光划片机，包括机柜，机柜内安装大理石平台和Z轴滑轨平台，所述大理石平台上设有X轴滑轨平台，X轴滑轨平台上安装有Y轴滑轨平台，Y轴滑轨平台上安装有吸附平台，吸附平台连接有抽真空装置，通过抽真空的方式将产品固定在吸附平台上，防止移动；所述吸附平台一侧设有一吸尘装置，将刻线过程中产生的粉尘吸走，防止对产品污染；所述Z轴滑轨平台上安装有升降滑台，升降滑台上固定有光路系统，光路系统内安装有激光发生装置，光路系统前端连接45度调整架，45度调整架上设有光学镜片，起到将水平出来的激光垂直向下的作用，45度调整架的上方设有CCD相机，用来观察效果和定位作用，CCD相机下方设有高倍相机镜头，45度调整架下方通过螺纹连接聚焦镜筒，起到聚焦光束作用，聚焦镜筒上通过顶丝安装有照明装置，加强曝光量，可以保证在昏暗情况下拍摄画面的清晰明亮的作用；所述大理石平台下方设有控制箱，控制箱的右端设有显示器支架，显示器支架上安装有显示器，显示器上方装有监视器。进一步地，所述X轴滑轨平台包括X轴电机、Z轴电机和X轴座轨，X轴电机连接Z轴电机，Z轴电机固定于X轴座轨内；所述Y轴滑轨平台底部设有安装在Z轴电机的X向滑动螺套，Y轴滑轨平台包括Y轴电机、Y轴丝杆和Y轴座轨，Y轴电机连接Y轴丝杆，Y轴丝杆固定于Y轴座轨内，Y轴座轨固定在X向滑动螺套上；所述吸附平台底部设有安装在Y轴丝杆的Y向滑动螺套，吸附平台固定在Y向滑动螺套上。进一步地，所述Z轴滑轨平台包括Z轴电机、Z轴丝杆和Z轴座轨，Z轴电机通过联轴器连接Z轴丝杆，Z轴丝杆固定于Z轴座轨内；所述升降滑台设有安装在Z轴丝杆的Z向滑动螺套。进一步地，所述Z轴滑轨平台的行程为500mm。进一步地，所述X轴滑轨平台和Y轴滑轨平台的行程均为300mm。本技术工作流程：工作时，将需要加工硅片放置在吸附平台上，并且打开抽真空装置进行产品固定，开启控制箱的控制按钮，通过将所要刻线的图形导入的CNC系统软件上，然后利用CCD监视器并且操作系统在X轴电机、Y轴电机和Z轴电机的状态进行控制，从而带动Z轴电机、Y轴丝杆和Z轴丝杆进行转动，并且带动X向滑动螺套、Y向滑动螺套和Z向滑动螺套移动，此时在Z轴电机通过带动Z轴丝杆上的光路系统进行Z轴方向移动，利用CCD相机进行观察和定位对焦，再通过X轴滑轨平台和Y轴滑轨平台带动吸附平台在X轴方向及Y轴方向上移动来抓取两边的标记点，系统会根据产品上图形的偏移量来计算软件里面图形的便宜量，从而利用光路系统的激光发生装置进行加工，进而解决了硅片上图形的定位问题。本技术与现有技术相比的优点是：本技术通过CCD摄像装置，使用者可以通过监视器清楚的观察样品上已有的蚀刻线路图，使用者只需要在软件上把要划线的图导入系统中，然后利用监视器找到产品两端的标记点，系统会根据产品上的图自动偏移一定的角度，不仅保证划线精度，而且提高生产效率。而且，本技术中，通过采用大理石台面，提升系统的综合稳定性，所有机械部件精心选配以保证长期精度。附图说明图1是本技术的结构示意图。图2是本技术中X轴、Y轴、Z轴滑轨平台的一侧结构示意图。图3是本技术中X轴、Y轴、Z轴滑轨平台的另一侧结构示意图。具体实施方式下面结合附图对本技术进一步详述。如图1、图2及图3所示，一种CCD摄像光纤激光划片机，包括机柜1，机柜1内安装大理石平台2和Z轴滑轨平台16，所述大理石平台2上设有X轴滑轨平台3，X轴滑轨平台3上安装有Y轴滑轨平台4，Y轴滑轨平台4上安装有吸附平台5，吸附平台5连接有抽真空装置（图中未示），通过抽真空的方式将产品固定在吸附平台上，防止移动；所述吸附平台5一侧设有一吸尘装置6，将刻线过程中产生的粉尘吸走，防止对产品污染；所述Z轴滑轨平台3上安装有升降滑台7，升降滑台7上固定有光路系统8，光路系统8内安装有激光发生装置（图中未示），光路系统8前端连接45度调整架9，45度调整架9上设有光学镜片（图中未示），起到将水平出来的激光垂直向下的作用，45度调整架9的上方设有CCD相机10，用来观察效果和定位作用，CCD相机10下方设有高倍相机镜头11，45度调整架9下方通过螺纹连接聚焦镜筒12，起到聚焦光束作用，聚焦镜筒12上通过顶丝安装有照明装置（图中未示），加强曝光量，可以保证在昏暗情况下拍摄画面的清晰明亮的作用；所述大理石平台2下方设有控制箱13，控制箱13的右端设有显示器支架14，显示器支架14上安装有显示器15，显示器15上方装有监视器（图中未示）。进一步地，所述X轴滑轨平台3包括X轴电机301、Z轴电机（图中未示）和X轴座轨302，X轴电机301连接Z轴电机，Z轴电机固定于X轴座轨302内；所述Y轴滑轨平台4底部设有安装在Z轴电机的X向滑动螺套303，Y轴滑轨平台4包括Y轴电机401、Y轴丝杆（图中未示）和Y轴座轨402，Y轴电机401连接Y轴丝杆，Y轴丝杆固定于Y轴座轨402内，Y轴座轨402固定在X向滑动螺套303上；所述吸附平台5底部设有安装在Y轴丝杆的Y向滑动螺套403，吸附平台5固定在Y向滑动螺套403上。进一步地，所述Z轴滑轨平台16包括Z轴电机1601、Z轴丝杆（图中未示）和Z轴座轨1602，Z轴电机1601通过联轴器（图中未示）连接Z轴丝杆，Z轴丝杆固定于Z轴座轨1602内；所述升降滑台7设有安装在Z轴丝杆的Z向滑动螺套1603。进一步地，所述Z轴滑轨平台16的行程为500mm。进一步地，所述X轴滑轨平台3和Y轴滑轨平台4的行程均为300mm。本技术工作流程：工作时，将需要加工硅片放置在吸附平台5上，并且打开抽真空装置进行产品固定，开启控制箱13的控制按钮，通过将所要刻线的图形导入的CNC系统软件上，然后利用CCD监视器并且操作系统在X本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种CCD摄像光纤激光划片机，其特征在于：包括机柜，机柜内安装大理石平台和Z轴滑轨平台，/n所述大理石平台上设有X轴滑轨平台，X轴滑轨平台上安装有Y轴滑轨平台，Y轴滑轨平台上安装有吸附平台，吸附平台连接有抽真空装置；所述吸附平台一侧设有一吸尘装置；/n所述Z轴滑轨平台上安装有升降滑台，升降滑台上固定有光路系统，光路系统内安装有激光发生装置，光路系统前端连接45度调整架，45度调整架上设有光学镜片，45度调整架的上方设有CCD相机，CCD相机下方设有高倍相机镜头，45度调整架下方通过螺纹连接聚焦镜筒，聚焦镜筒上通过顶丝安装有照明装置；/n所述大理石平台下方设有控制箱，控制箱的右端设有显示器支架，显示器支架上安装有显示器，显示器上方装有监视器。/n

【技术特征摘要】
1.一种CCD摄像光纤激光划片机，其特征在于：包括机柜，机柜内安装大理石平台和Z轴滑轨平台，
所述大理石平台上设有X轴滑轨平台，X轴滑轨平台上安装有Y轴滑轨平台，Y轴滑轨平台上安装有吸附平台，吸附平台连接有抽真空装置；所述吸附平台一侧设有一吸尘装置；
所述Z轴滑轨平台上安装有升降滑台，升降滑台上固定有光路系统，光路系统内安装有激光发生装置，光路系统前端连接45度调整架，45度调整架上设有光学镜片，45度调整架的上方设有CCD相机，CCD相机下方设有高倍相机镜头，45度调整架下方通过螺纹连接聚焦镜筒，聚焦镜筒上通过顶丝安装有照明装置；
所述大理石平台下方设有控制箱，控制箱的右端设有显示器支架，显示器支架上安装有显示器，显示器上方装有监视器。


2.根据权利要求1所述的一种CCD摄像光纤激光划片机，其特征在于：所述X轴滑轨平台包括X轴电机、Z轴电机和X轴座轨，X轴电...

【专利技术属性】
技术研发人员：高凯，张万军，
申请(专利权)人：上海超领激光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31