晶圆湿制程设备中晶圆清洗用挂篮抖动装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶圆湿制程设备中晶圆清洗用挂篮抖动装置，包括抖动驱动机构，所述抖动驱动机构上安装有抓手机构，通过所述抖动驱动机构驱动所述抓手机构上下往复运动，所述抓手机构上设有挂架机构，通过所述挂架机构提挂放置晶圆用的挂篮。本实用新型专利技术所提供的晶圆湿制程设备中晶圆清洗用挂篮抖动装置，其结构简明，实用性强，通过抖动驱动机构驱动抓手机构往复抖动，带动挂架机构及挂篮先行去除粉末和水滴；通过在抓手机构下设置挂架机构，使抓手机构不直接接触挂篮，由于挂篮在清洗过程中处于于处理槽内，以此，抓手机构也就远离于挂篮，进而避免与处理槽内药水接触。

【技术实现步骤摘要】
晶圆湿制程设备中晶圆清洗用挂篮抖动装置
本技术涉及一种晶圆湿制程设备中晶圆清洗用挂篮抖动装置。
技术介绍
在半导体加工领域，往往需要通过相应的处理液对半导体元件进行处理，如晶圆、引线框架或者PCB板生产过程中需要蚀刻、清洗。蚀刻完成后，如果粉末粘附在产品上，会影响产品的质量，所以需要去除粉末。去除粉末的一种方法是清洗，利用水冲洗产品，将粉末去除。在用水清洗过程中，粉末有可能粘附力比较大而难以去除。清洗完成后，产品表面会粘附大量的水滴，因此，需要以抖动的方式先行去除粉末和水滴。另一方面，在清洗过程中，一般，先通过提篮或挂篮等结构支撑半导体元件(如晶圆)，再通过抓手机构而将半导体元件整体移动至处理液中。然而，在抓手机构向下伸以提起挂篮时，抓手机构容易触碰到处理液药水，当抓手机构重复使用时，容易使不同处理液药水混淆。因此，需要避免抓手机构触碰到药水。
技术实现思路
本技术的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种晶圆湿制程设备中晶圆清洗用挂篮抖动装置。为实现以上目的，通过以下技术方案实现：一种晶圆湿制程设备中晶圆清洗用挂篮抖动装置，包括抖动驱动机构，所述抖动驱动机构上安装有抓手机构，通过所述抖动驱动机构驱动所述抓手机构上下往复运动，所述抓手机构上设有挂架机构，通过所述挂架机构提挂放置晶圆用的挂篮。优选地，所述抖动驱动机构包括驱动电机，所述驱动电机的输出轴上设有偏心机构，所述偏心机构连接于所述抓手机构进而驱动所述抓手机构上下往复运动。优选地，所述偏心机构包括驱动转盘以及从动转盘，所述驱动转盘安装于所述驱动电机的输出轴上，所述从动转盘偏心安装于所述驱动转盘上，进而，所述从动转盘绕所述输出轴偏心转动，所述从动转盘活动顶撑于所述抓手机构。优选地，所述抓手机构包括抓手悬臂、延伸连接段以及驱动安装板，所述抓手悬臂通过所述延伸连接段连接于所述驱动安装板，所述从动转盘活动顶撑于所述驱动安装板，所述挂架机构挂设于所述抓手悬臂下。优选地，所述抓手悬臂上设有钩挂凹槽，所述挂架机构的上部延伸出钩挂段，所述钩挂段挂设于所述钩挂凹槽上。优选地，所述挂架机构的下部两侧分别设有提挂梁，所述挂篮的两侧设有挂耳，所述挂耳挂设于所述提挂梁上。优选地，所述抖动驱动机构包括安装基座，所述驱动电机安装于所述安装基座上，所述安装基座上设有升降导向机构，所述驱动安装板滑设于所述升降导向机构，所述延伸连接段可上下运动地穿过所述升降导向机构。优选地，所述升降导向机构包括竖导板，所述竖导板上设有竖开口，所述竖开口两侧的所述竖导板上设有竖导轨，所述驱动安装板上设有滑块且滑设于所述竖导轨上，所述延伸连接段的连接端固定连接于所述驱动安装板并由所述竖开口穿出所述竖导板。优选地，所述延伸连接段的连接端设有竖抵块，所述竖抵块固定连接于所述驱动安装板并穿过所述竖开口，所述竖抵块的上端及下端分别设有限位撑板，所述限位撑板沿竖向上下延伸。优选地，所述驱动安装板朝向所述驱动电机的一侧面上设有顶撑块，所述从动转盘活动顶撑于顶撑块下，所述安装基座上设有竖调杆，所述竖调杆上设有可上下调节的水平抵块，所述水平抵块有间隙地对应于所述顶撑块以供限位抵住所述顶撑块，所述竖调杆的上端与所述竖导板固接。本技术晶圆湿制程设备中晶圆清洗用挂篮抖动装置的有益效果包括：1)通过抖动驱动机构驱动抓手机构往复抖动，带动挂架机构及挂篮先行去除粉末和水滴；通过在抓手机构下设置挂架机构，使抓手机构不直接接触挂篮，由于挂篮在清洗过程中处于于处理槽内，以此，抓手机构也就远离于挂篮，进而避免与处理槽内药水接触。2)通过从动转盘偏心安装于驱动转盘上，并通过驱动电机使驱动转盘转动，用该从动转盘顶动抓手机构的驱动安装板，以此，高效带动整个抓手机构上下往复抖动，该机械驱动方式容易拆装实现，且机械结构稳定，往复运动过程持久平稳。3)通过在抓手悬臂上安装钩挂凹槽，可以方便将挂架机构挂设在抓手悬臂上。4)在驱动电机下设有安装基座，安装基座上设有竖向的升降导向机构，抓手机构的驱动安装板可滑设于升降导向机构的竖导板上，以此对抓手机构起到稳定导向的作用。5)抓手机构的竖抵块上所设置的两块限位撑板可以有效限制抓手机构的升降幅度。6)安装基座上设有竖调杆，竖调杆上设有可上下调节的水平抵块，以此，可在水平方向上限位抵住驱动安装板的顶撑块，防止整个抓手机构水平晃动。附图说明图1为本技术晶圆湿制程设备中晶圆清洗用挂篮抖动装置的整体结构示意图。图2为对应图1的另一视角结构示意图。图3为对应图2中A区域的放大结构示意图。图4为对应图1中抓手机构的结构示意图。图5为对应图1中挂架机构的结构示意图。图6为对应图1中B区域的放大结构示意图。具体实施方式下面结合附图对本技术进行详细的描述：如图1所示，一种晶圆湿制程设备中晶圆清洗用挂篮抖动装置，包括抖动驱动机构1，所述抖动驱动机构1上安装有水平延伸的抓手机构2，通过所述抖动驱动机构1驱动所述抓手机构2上下往复运动，所述抓手机构2上设有挂架机构3，通过所述挂架机构3提挂放置晶圆99用的挂篮4。结合图2和图3所示，所述抖动驱动机构1包括驱动电机10，所述驱动电机10的输出轴上设有偏心机构5，所述偏心机构5连接于所述抓手机构2进而驱动所述抓手机构2上下往复运动。如图3所示，所述偏心机构5包括驱动转盘50以及从动转盘52，所述驱动转盘50安装于所述驱动电机10的输出轴上，所述从动转盘52偏心安装于所述驱动转盘50上，进而，所述从动转盘52绕所述输出轴偏心转动，所述从动转盘52活动顶撑于所述抓手机构2。如图4所示，所述抓手机构2包括抓手悬臂20、延伸连接段22以及驱动安装板24，所述抓手悬臂20通过所述延伸连接段22连接于所述驱动安装板24，所述从动转盘52活动顶撑于所述驱动安装板24，所述挂架机构3挂设于所述抓手悬臂20下。结合图4和图5所示，所述抓手悬臂20上设有钩挂凹槽26，所述挂架机构3为通过横杆竖杆连接的框架结构，所述挂架机构3的上部延伸出钩挂段30，所述钩挂段30挂设于所述钩挂凹槽26上。结合图1和图5所示，所述挂架机构3的下部两侧分别设有提挂梁32，所述挂篮4的两侧设有挂耳40，所述挂耳40挂设于所述提挂梁32上。结合图2和图3所示，所述抖动驱动机构1包括安装基座12，所述驱动电机10安装于所述安装基座12上，所述安装基座12上设有升降导向机构6，所述驱动安装板24滑设于所述升降导向机构6，所述延伸连接段22可上下运动地穿过所述升降导向机构6。如图3所示，所述升降导向机构6包括竖导板60，所述竖导板60上设有竖开口62，所述竖开口62两侧的所述竖导板60上设有竖导轨64，所述驱动安装板24上设有滑块240且滑设于所述竖导轨64上，所述延伸连接段22的连接端固定连接于所述驱动安装板24并由所述竖开口62穿出所述竖导板60。<本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆湿制程设备中晶圆清洗用挂篮抖动装置，其特征在于，包括抖动驱动机构，所述抖动驱动机构上安装有抓手机构，通过所述抖动驱动机构驱动所述抓手机构上下往复运动，所述抓手机构上设有挂架机构，通过所述挂架机构提挂放置晶圆用的挂篮。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆湿制程设备中晶圆清洗用挂篮抖动装置，其特征在于，包括抖动驱动机构，所述抖动驱动机构上安装有抓手机构，通过所述抖动驱动机构驱动所述抓手机构上下往复运动，所述抓手机构上设有挂架机构，通过所述挂架机构提挂放置晶圆用的挂篮。


2.根据权利要求1所述的晶圆湿制程设备中晶圆清洗用挂篮抖动装置，其特征在于，所述抖动驱动机构包括驱动电机，所述驱动电机的输出轴上设有偏心机构，所述偏心机构连接于所述抓手机构进而驱动所述抓手机构上下往复运动。


3.根据权利要求2所述的晶圆湿制程设备中晶圆清洗用挂篮抖动装置，其特征在于，所述偏心机构包括驱动转盘以及从动转盘，所述驱动转盘安装于所述驱动电机的输出轴上，所述从动转盘偏心安装于所述驱动转盘上，进而，所述从动转盘绕所述输出轴偏心转动，所述从动转盘活动顶撑于所述抓手机构。


4.根据权利要求3所述的晶圆湿制程设备中晶圆清洗用挂篮抖动装置，其特征在于，所述抓手机构包括抓手悬臂、延伸连接段以及驱动安装板，所述抓手悬臂通过所述延伸连接段连接于所述驱动安装板，所述从动转盘活动顶撑于所述驱动安装板，所述挂架机构挂设于所述抓手悬臂下。


5.根据权利要求4所述的晶圆湿制程设备中晶圆清洗用挂篮抖动装置，其特征在于，所述抓手悬臂上设有钩挂凹槽，所述挂架机构的上部延伸出钩挂段，所述钩挂段挂设于所述钩挂凹槽上。


6.根据权利要求5所述的晶圆湿制程设备中晶圆清洗用挂篮抖动...

【专利技术属性】
技术研发人员：王振荣，刘红兵，朱雄，方琴剑，
申请(专利权)人：上海新阳半导体材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31