掩膜板及其制作方法技术

本申请公开了一种掩膜板及其制作方法，所述掩膜板包括：外框；第一遮挡层，设置于所述外框上，所述第一遮挡层具有多个第一开口；第二遮挡层，可拆卸地设置于所述第一遮挡层上，所述第二遮挡层具有多个第二开口，且所述多个第二开口与所述多个第一开口一一对应，所述多个第二开口中每一者的面积均小于或等于其对应的所述第一开口的面积；相比于现有技术，本申请提供的掩膜板可满足同一掩膜板进行不同尺寸的面板的制作，减小了制作掩膜板的成本以及时间，提高了工艺效率。

【技术实现步骤摘要】
掩膜板及其制作方法
本申请涉及显示
，尤其涉及一种掩膜板及其制作方法。
技术介绍
近年来，OLED(OrganicLight-EmittingDiode，有机发光二极管)显示装置以其独有的优势正吸引着业内绝大多数从业者注意，在中小尺寸显示领域更有取代LCD(LiquidCrystalDisplay，液晶显示)面板的趋势，现阶段中小尺寸的OLED面板大多依赖蒸镀制程，其中在蒸镀制程中用于图形定义的治具为掩模板。目前主流的OLED显示装置制程中，发光像素是通过掩膜板对蒸镀材料的遮挡来成型，不同的产品需要不同的掩膜板，但掩膜板成本很高，而且制作时间较长，效率较低，因此，针对不同尺寸的产品需要不用尺寸的掩膜板，需要耗费大量的成本和时间。
技术实现思路
本申请实施例提供一种掩膜板及其制作方法，能够满足不同尺寸的显示面板的制作，以解决现有技术中的掩膜板由于只能针对单一尺寸的显示面板的制作，进而增大成本和时间的技术问题。为解决上述技术问题，本申请提供一种掩膜板，所述掩膜板包括：外框；第一遮挡层，设置于所述外框上，所述第一遮挡层具有多个第一开口；第二遮挡层，可拆卸地设置于所述第一遮挡层上，所述第二遮挡层具有多个第二开口，且所述多个第二开口与所述多个第一开口一一对应，所述多个第二开口中每一者的面积均小于或等于其对应的所述第一开口的面积。在本申请的一种实施例中，所述掩膜板还包括设置于所述第一遮挡层以及所述第二遮挡层之间的掩膜层，且所述掩膜层包括与所述多个第一开口一一对应的多个掩膜部，且所述多个掩膜部中的每一者皆具有网格结构。在本申请的一种实施例中，所述掩膜板用于多块面板的制备，且所述多块面板与所述多个掩膜部一一对应，所述多块面板中每一者的像素区均与其对应的所述掩膜部中的所述网格结构相对应，所述网格结构中的网格开孔与所述像素区中的像素单元相对应。在本申请的一种实施例中，所述第二开口在所述网格结构上的投影的边界比所述像素区在所述网格结构上的投影的边界外扩第一距离，所述第一距离大于或等于三排所述像素单元的开口的宽度。在本申请的一种实施例中，所述第二遮挡层包括彼此平行的多个第一遮挡条以及彼此平行的多个第二遮挡条，其中所述多个第一遮挡条与所述多个第二遮挡条相互垂直相交且上下配置，且所述多个第二遮挡条为可拆卸式并与所述多个第一遮挡条彼此相接，以形成所述多个第二开口。在本申请的一种实施例中，所述第二遮挡层包括彼此平行的多个第一遮挡条以及彼此平行的多个第二遮挡条，其中所述多个第一遮挡条与所述多个第二遮挡条相互垂直相交且上下配置，且所述多个第一遮挡条与所述多个第二遮挡条一体成型，以形成所述多个第二开口。在本申请的一种实施例中，所述多个第一遮挡条与所述多个第二遮挡条相交叠区域的厚度与所述第二遮挡层中其他区域的厚度相同，所述第二遮挡层的厚度小于或等于30微米。在本申请的一种实施例中，所述多个第二开口中每一者的面积相同或不相同，所述多个第二开口中的每一者的形状皆独立地包括四边形或具有凹部和/或凸部的多边形。根据本申请的上述目的，提供一种掩膜板的制作方法，所述方法包括：S10、制备第一遮挡层于外框上，且所述第一遮挡层具有多个第一开口；以及S20、制备可拆卸地第二遮挡层于所述第一遮挡层上，且所述第二遮挡层具有多个第二开口，所述多个第二开口与所述多个第一开口一一对应，且所述多个第二开口中每一者的面积皆小于或等于其对应的所述第一开口的面积。在本申请的一种实施例中，所述步骤S10还包括：制备掩膜层于所述第一遮挡层上，且所述掩膜层包括与所述多个第一开口一一对应的多个掩膜部，所述多个掩膜部中的每一者皆具有网格结构。本申请的有益效果：本申请通过在掩膜板的第一遮挡层上设置第二遮挡层，以对第一遮挡层中的第一开口的尺寸和形状进行进一步限定，以满足同一掩膜板可以进行不同尺寸的面板的制作，减小了制作掩膜板的成本以及时间，提高了工艺效率。附图说明下面结合附图，通过对本申请的具体实施方式详细描述，将使本申请的技术方案及其它有益效果显而易见。图1为本申请实施例提供的一种掩膜板平面结构示意图。图2为本申请实施例提供的掩膜板侧面结构示意图。图3为本申请实施例提供的掩膜板制作方法流程图。图4为本申请实施例提供的掩膜板制作流程结构示意图。图5为本申请实施例提供的掩膜板制作流程结构示意图。图6为本申请实施例提供的掩膜板制作流程结构示意图。图7为本申请实施例提供的掩膜板平面放大结构示意图图8为本申请实施例提供的另一种掩膜板平面结构示意图。图9为本申请实施例提供的又一种掩膜板平面结构示意图。具体实施方式下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本申请的不同结构。为了简化本申请的公开，下文中对特定例子的部件和设置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩膜板，其特征在于，所述掩膜板包括：/n外框；/n第一遮挡层，设置于所述外框上，所述第一遮挡层具有多个第一开口；/n第二遮挡层，可拆卸地设置于所述第一遮挡层上，所述第二遮挡层具有多个第二开口，且所述多个第二开口与所述多个第一开口一一对应，所述多个第二开口中每一者的面积均小于或等于其对应的所述第一开口的面积。/n

【技术特征摘要】
1.一种掩膜板，其特征在于，所述掩膜板包括：
外框；
第一遮挡层，设置于所述外框上，所述第一遮挡层具有多个第一开口；
第二遮挡层，可拆卸地设置于所述第一遮挡层上，所述第二遮挡层具有多个第二开口，且所述多个第二开口与所述多个第一开口一一对应，所述多个第二开口中每一者的面积均小于或等于其对应的所述第一开口的面积。


2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜板还包括设置于所述第一遮挡层以及所述第二遮挡层之间的掩膜层，且所述掩膜层包括与所述多个第一开口一一对应的多个掩膜部，且所述多个掩膜部中的每一者皆具有网格结构。


3.根据权利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜板用于多块面板的制备，且所述多块面板与所述多个掩膜部一一对应，所述多块面板中每一者的像素区均与其对应的所述掩膜部中的所述网格结构相对应，所述网格结构中的网格开孔与所述像素区中的像素单元相对应。


4.根据权利要求3所述的掩膜板，其特征在于，所述第二开口在所述网格结构上的投影的边界比所述像素区在所述网格结构上的投影的边界外扩第一距离，所述第一距离大于或等于三排所述像素单元的开口的宽度。


5.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第二遮挡层包括彼此平行的多个第一遮挡条以及彼此平行的多个第二遮挡条，其中所述多个第一遮挡条与所述多个第二遮挡条相互垂直相交且上下配置，且所述多个第二遮挡条为可拆卸式并与所述多个第一遮挡...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈奎，陈永胜，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42