一种改变巨观缺陷自动光学检测设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种改变巨观缺陷自动光学检测设备，包括支撑板，支撑板的顶部外壁上焊接有工作台面，工作台面的一侧顶部外壁上焊接有支撑杆，支撑杆的顶端固定连接有扫描仪，扫描仪的底部外壁上安装有摄像头，工作台面的顶部外壁上固定设置有置物架，置物架的一侧面呈圆弧状，工作台面的顶部外壁上设置有显示屏，且显示屏位于扫描仪的一侧，支撑板的一侧外壁上焊接有连接板，且连接板位于工作台面的正下方，连接板的一侧顶部外壁上设置有计算机，工作台面上开设有透光孔，且透光孔位于摄像头的正下方，连接板的顶部外壁上固定设置有安装架，安装架的顶部外壁上固定安装有照明灯，且照明灯位于透光孔的正下方。

【技术实现步骤摘要】
一种改变巨观缺陷自动光学检测设备
本技术涉及光学检测设备
，特别涉及一种改变巨观缺陷自动光学检测设备。
技术介绍
巨观缺陷自动光学检测设备用途为检测wafer上微米级的缺陷，检测目标为PatternedSapphireSubstrate(图形化蓝宝石基板，PSS)的缺陷，现有的检测设备在进行检测时，有时会不便于放置大小不同的图形化蓝宝石基板，给检测人员带来不便。图形化蓝宝石基板主要缺陷为格线、溅影、脏污、刮伤、掉点，其中溅影发生之原因是制作光阻片过程中，wafer上有脏污时进行涂布光阻，脏污周围会形成像彗星一样的缺陷，由于缺陷自动光学检测设备原设计之演算法溅影的检出能力有限，原设计之演算法是利用相似图预设图库的方式来检出溅影缺陷，只能判别出70％的溅影缺陷，因此，需要一种改变巨观缺陷自动光学检测设备。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种改变巨观缺陷自动光学检测设备，以解决上述
技术介绍
中提出的现有设备检出溅影不够精准的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种改变巨观缺陷自动光学检测设备，包括支撑板，所述支撑板的顶部外壁上焊接有工作台面，所述工作台面的一侧顶部外壁上焊接有支撑杆，所述支撑杆的顶端固定连接有扫描仪，所述扫描仪的底部外壁上安装有摄像头，所述工作台面的顶部外壁上固定设置有置物架，所述置物架的一侧面呈圆弧状，所述工作台面的顶部外壁上设置有显示屏，且所述显示屏位于所述扫描仪的一侧，所述支撑板的一侧外壁上焊接有连接板，且所述连接板位于所述工作台面的正下方，所述连接板的一侧顶部外壁上设置有计算机。优选的，所述工作台面上开设有透光孔，且所述透光孔位于所述摄像头的正下方。优选的，所述连接板的顶部外壁上固定设置有安装架，所述安装架的顶部外壁上固定安装有照明灯，且所述照明灯位于所述透光孔的正下方。优选的，所述置物架的外壁上固定设置有橡胶垫。优选的，所述置物架的一侧底部外壁上焊接有固定板，所述置物架通过螺杆和所述固定板与所述工作台面相连接。优选的，所述支撑板的底部外壁上固定设置有减震垫板。优选的，所述置物架位于所述摄像头的正下方。本技术的技术效果和优点：1、通过将置物架的一侧面设计成圆弧状，使得该装置便于放置大小不同的图形化蓝宝石基板，从而便于便于工作人员对其进行检测，在橡胶垫的作用下，保证了图形化蓝宝石基板不易碰撞破损；2、本技术采用新设计之演算法，利用溅影的特性先找出黑缺陷再判别黑缺陷周围是否有色差，若无色差则判别为脏污，反之有色差则判定为溅影，从而有效地解决了由于溅影型态众多以旧演算法的方式，用图库难以匹配所有的溅影型态的问题，以新型演算法能更有效的检出各种型态的溅影缺陷。附图说明图1为本技术结构的示意图。图2为本技术结构的示意图。图3为本技术结构的示意图。图4为本技术结构的示意图。图中：1、支撑板；2、工作台面；3、支撑杆；4、扫描仪；5、摄像头；6、置物架；7、显示屏；8、连接板；9、计算机；10、透光孔；11、安装架；12、照明灯；13、橡胶垫；14、固定板；15、减震垫板。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。本技术提供了如图1-4所示的一种改变巨观缺陷自动光学检测设备，包括支撑板1，支撑板1的顶部外壁上焊接有工作台面2，工作台面2的一侧顶部外壁上焊接有支撑杆3，支撑杆3的顶端固定连接有扫描仪4，扫描仪4的底部外壁上安装有摄像头5，工作台面2的顶部外壁上固定设置有置物架6，置物架6位于摄像头5的正下方，置物架6的一侧面呈圆弧状，使用时，将待检测的图形化蓝宝石基板放置在置物架6上，置物架6的一侧面设计成圆弧状，这样便于放置大小不同的图形化蓝宝石基板，工作台面2的顶部外壁上设置有显示屏7，且显示屏7位于扫描仪4的一侧，支撑板1的一侧外壁上焊接有连接板8，且连接板8位于工作台面2的正下方，连接板8的一侧顶部外壁上设置有计算机9，工作台面2上开设有透光孔10，且透光孔10位于摄像头5的正下方，连接板8的顶部外壁上固定设置有安装架11，安装架11的顶部外壁上固定安装有照明灯12，且照明灯12位于透光孔10的正下方，开启照明灯12，灯光穿过透光孔10，从而保证了扫描仪4上的摄像头5的拍摄效果，扫描仪将拍摄的图形传输至计算机9，呈现在显示屏7上，计算机9使用的演算法软体为德国HDevelop_HALCONXL(版本11.0.2.6)，并采用新设计之演算法，利用溅影的特性先找出黑缺陷再判别黑缺陷周围是否有色差，若无色差则判别为脏污，反之有色差则判定为溅影，从而有效地解决了由于溅影型态众多以旧演算法的方式，用图库难以匹配所有的溅影型态的问题，以新型演算法能更有效的检出各种型态的溅影缺陷。结合图1和图3所示，置物架6的外壁上固定设置有橡胶垫13，这样有利于保证图形化蓝宝石基板不易碰撞破损，置物架6的一侧底部外壁上焊接有固定板14，置物架6通过螺杆和固定板14与工作台面2相连接，这样便于拆装置物架6，支撑板1的底部外壁上固定设置有减震垫板15，这样有利于该装置稳定放置。本实用工作原理：本技术为一种改变巨观缺陷自动光学检测设备，使用时，将待检测的图形化蓝宝石基板放置在置物架6上，置物架6的一侧面设计成圆弧状，这样便于放置大小不同的图形化蓝宝石基板，在橡胶垫13的作用下，保证了图形化蓝宝石基板不易碰撞破损，然后开启照明灯12，灯光穿过透光孔10，从而保证了扫描仪4上的摄像头5的拍摄效果，扫描仪将拍摄的图形传输至计算机9，呈现在显示屏7上，计算机9使用的演算法软体为德国HDevelop_HALCONXL(版本11.0.2.6)，并采用新设计之演算法，利用溅影的特性先找出黑缺陷再判别黑缺陷周围是否有色差，若无色差则判别为脏污，反之有色差则判定为溅影。最后应说明的是：以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种改变巨观缺陷自动光学检测设备，包括支撑板(1)，其特征在于：所述支撑板(1)的顶部外壁上焊接有工作台面(2)，所述工作台面(2)的一侧顶部外壁上焊接有支撑杆(3)，所述支撑杆(3)的顶端固定连接有扫描仪(4)，所述扫描仪(4)的底部外壁上安装有摄像头(5)，所述工作台面(2)的顶部外壁上固定设置有置物架(6)，所述置物架(6)的一侧面呈圆弧状，所述工作台面(2)的顶部外壁上设置有显示屏(7)，且所述显示屏(7)位于所述扫描仪(4)的一侧，所述支撑板(1)的一侧外壁上焊接有连接板(8)，且所述连接板(8)位于所述工作台面(2)的正下方，所述连接板(8)的一侧顶部外壁上设置有计算机(9)。/n

【技术特征摘要】
1.一种改变巨观缺陷自动光学检测设备，包括支撑板(1)，其特征在于：所述支撑板(1)的顶部外壁上焊接有工作台面(2)，所述工作台面(2)的一侧顶部外壁上焊接有支撑杆(3)，所述支撑杆(3)的顶端固定连接有扫描仪(4)，所述扫描仪(4)的底部外壁上安装有摄像头(5)，所述工作台面(2)的顶部外壁上固定设置有置物架(6)，所述置物架(6)的一侧面呈圆弧状，所述工作台面(2)的顶部外壁上设置有显示屏(7)，且所述显示屏(7)位于所述扫描仪(4)的一侧，所述支撑板(1)的一侧外壁上焊接有连接板(8)，且所述连接板(8)位于所述工作台面(2)的正下方，所述连接板(8)的一侧顶部外壁上设置有计算机(9)。


2.根据权利要求1所述的一种改变巨观缺陷自动光学检测设备，其特征在于：所述工作台面(2)上开设有透光孔(10)，且所述透光孔(10)位于所述摄像头(5)的正下方。


3.根据权利要求2所述的一种改变巨观缺...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪文庆，
申请(专利权)人：锐捷光电科技江苏有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32