玻璃基板的切断面检查装置制造方法及图纸

玻璃基板的切断面检查装置，能够从多个方向立体地对玻璃基板的切断面进行检查，用光学方式迅速而准确地检查出玻璃基板的质量检查中所用的切断面信息。该玻璃基板的切断面检查装置具有的主自动装置（１５０），包括：固定玻璃基板的吸附板（１１０）、用于分别取得基板的切断面的上侧、下侧、平面影像的第１、第２和第３摄影装置（１２０、１３０、１４０）、以及固定第１～第３摄影装置并使其移动的机架（１５１）。将利用该装置以光学方式取得的切断面信息进行反馈，能够提高玻璃基板的生产效率和质量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及玻璃基板的切断面检查装置，更详细地说是涉及这样一种玻璃基板的切断面检查装置，即通过利用影像光学系统从各个方向立体地对玻璃基板的切断面进行检查，能够迅速而准确地检测出玻璃基板的切断面的信息。
技术介绍
一般，在TFT-LCD(薄膜晶体管液晶显示器)、PDP(等离子显示板)、EL(Electro luminescence，即，电致发光)等平板显示器的制造领域中所使用的玻璃基板，是在把在玻璃熔化炉内熔化的玻璃熔液供给到熔化成形机内制成玻璃板后，利用金刚石砂轮等切割机按照初级规格进行切断，并在其表面上涂敷保护膜后，搬运到加工线上。在上述这种玻璃基板的切割工序中，因切割机的状态不同而被切割的程度不同，而且切断面上会产生缺陷，所以，取得切断面的信息是很重要的。过去，作业者利用显微镜对玻璃基板的切断面进行肉眼观察。如上所述，过去在利用显微镜来检查玻璃基板的切断面时，不仅需要很长的时间，而且检查精度低，所以存在不能获得准确的玻璃基板切断面信息的问题。尤其，由于受时间限制，对玻璃基板切断面只能检查一个侧面，不能对玻璃基板切断面进行立体观察，不能获得玻璃基板切断面的准确信息，存在很难将观察所得信息作为工序反馈数据使用的问题。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述情况而提出的方案，其目的在于通过利用影像光学系统从各个不同方向对玻璃基板切断面进行立体检查，能够迅速而准确地检查出玻璃基板切断面的信息，例如缺陷的种类和大小、玻璃基板的厚度、玻璃基板的切断面的直进性、切割机的砂轮切入深度等；能够把这些信息用作工序反馈数据，因此容易进行工艺改进，例如判断切割机的砂轮更换时间等，提供一种有助于提高玻璃基板生产效率和提高产品质量的玻璃基板的切断面检查装置。为了达到上述目的，本专利技术提供一种玻璃基板的切断面检查装置，用于检查玻璃基板的切断面，其特征在于，包括吸附板，用于固定上述玻璃基板，使上述玻璃基板的切断面向一边侧突出；第1摄影装置，位于上述玻璃基板的上表面的上方，并具有第1摄影机，用于面向上述切断面上侧与上述上表面垂直地对玻璃基板进行摄影获得影像；第2摄影装置，位于上述玻璃基板的下表面的下方，并具有第2摄影机，用于面向上述切断面下侧与上述下表面垂直地对玻璃基板进行摄影获得影像；第3摄影装置，与上述玻璃基板的切断面的对置，并具有第3摄影机，用于与上述切断面垂直地对玻璃基板进行摄影获得影像；机架，与上述玻璃基板的切断面靠近设置，分别与上述第1～第3摄影装置结合；以及机架移动装置，用于使上述机架移动，以便使设置在上述机架上的上述第1～第3摄影装置沿着上述切断面的长度方向移动，而可对切断面进行摄影。专利技术效果采用本专利技术的玻璃基板的切断面检查装置，利用影像光学系统能够从各个不同方向对玻璃基板切断面进行立体检查，所以能够迅速而准确地检查出玻璃基板切断面的信息，例如缺陷的种类和大小、玻璃基板的厚度、玻璃基板的切断面的直进性、切割机的砂轮切入深度等。这样能对缺陷进行高效率的检测，把这些信息用作工序反馈数据，因此容易进行工艺改进，例如判断切割机的砂轮更换时间等，因此，有助于提高玻璃基板生产效率和提高产品质量。附图说明图1是表示本专利技术的玻璃基板的切断面检查装置的侧面图。图2是表示本专利技术的玻璃基板的切断面检查装置的平面图。图3是表示本专利技术的玻璃基板的切断面检查装置的第1～第3摄影机和第1～第3照明的断面图。图4是表示本专利技术的玻璃基板的切断面检查装置的第4照明和第4反射镜的侧面图。图5是用于说明本专利技术的玻璃基板的切断面检查装置的第3摄影机的对焦的平面图。图6是用于说明本专利技术的玻璃基板的切断面检查装置的第3摄影机的对焦的图。具体实施例方式以下参照附图，详细说明本专利技术的最佳实施方式。图1是表示本专利技术的玻璃基板的切断面检查装置的侧面图。图2是表示本专利技术的玻璃基板的切断面检查装置的平面图。图3是表示本专利技术的玻璃基板的切断面检查装置的摄影机和照明的断面图。图4是表示本专利技术的玻璃基板的切断面检查装置的第4照明和第4反射镜的侧面图。如图所示，本专利技术的玻璃基板的切断面检查装置100包括用于固定玻璃基板1的吸附板110；在与玻璃基板1切断面1a的水平方向的两侧相垂直的方向上设置的第1、第2和第3摄影装置120、130、140；以及，使设置第1、第2、第3摄影装置120、130、140的机架151沿着玻璃基板1的切断面1a的长度方向移动的主自动装置150。吸附板110对玻璃基板1进行支承，使玻璃基板1的切断面1a从吸附板110一边侧突出。在与玻璃基板1相接触的吸附板110的一边侧形成多个真空孔(未图示)，从外部的真空装置向该真空孔供给吸力，吸附玻璃基板1。即使玻璃基板1挠曲，也能够通过沿吸附板110的长度方向从一边侧向另一边侧依次向真空孔内供给吸力，使玻璃基板1整体紧贴到吸附板110上。并且，最好使把切断面1a支承在标准位置上的多个导向器160，能够水平移动且固定地设置在与吸附板110相对置的位置上，从而使吸附板110上所固定的玻璃基板1的切断面1a、和下述第3摄影装置140的第3摄影机141之间的距离保持一定。由于这种结构，容易使玻璃基板1固定到吸附板110上，以使玻璃基板1的切断面1a位于第3摄影装置140的第3摄影机141的焦点距离，所以，容易使第3摄影机141进行对焦。第1～第3摄影装置120、…、140分别设置在主自动装置150的机架151上。第1摄影装置120具有分别位于玻璃基板1的上表面上方的第1摄影机121、以及第1照明122。第1摄影机121面向切断面1a的上侧、即玻璃基板1的上表面和切断面1a互相接合的上侧端，在与玻璃基板1垂直的状态下对玻璃基板1进行摄影，取得切断面1a的上侧面影像，第1照明122把光照射到第1摄影机121的摄影部位上。第2摄影装置130具有第2摄影机131和第2照明132，它们分别位于玻璃基板1的下表面的下方，以玻璃基板1的切断面1a为基准设置成与第1摄影装置120相对置的状态，第2摄影机131面向切断面1a的下侧、即玻璃基板1的下表面和切断面1a接合的下侧端，在与玻璃基板1的下表面垂直的状态下对玻璃基板1进行摄影，取得切断面1a的下侧面影像，第2照明132把光照射到第2摄影机131的摄影部位。第3摄影装置140具有分别与玻璃基板1的切断面1a的对置的第3摄影机141、以及第3照明142。第3摄影机141在面向切断面1a，与切断面1a垂直的状态下，对玻璃基板1进行摄影，取得切断面1a的平面影像，第3照明142把光照射到第3摄影机141的摄影部位上。第1～第3摄影装置120、…、140的第1～第3照明122、…、142，最好在与第1～第3摄影机121、…、141的透镜123、…、143的光轴相同的方向上照射光。为此，第1～第3照明122、…、142如图3所示，被设置成与第1～第3摄影机121、…、141垂直地照射光，从第1～第3照明122、…、142照射的光，由第1～第3反射镜124、…、144反射，沿着透镜部123、…、143的光轴进行照射。于是，第1～第3摄影机121、、…、141，不会受到从第1～第3照明122、…、142照射出的光的干扰，能够准确地对玻璃基板1的切断面1a进行摄影。主自动装置150设置成与玻璃基板1的切本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃基板的切断面检查装置，用于检查玻璃基板的切断面，其特征在于，包括：吸附板，用于固定上述玻璃基板，使上述玻璃基板的切断面向一边侧突出；第１摄影装置，位于上述玻璃基板的上表面的上方，并具有第１摄影机，用于面向上述切断面上 侧与上述上表面垂直地对玻璃基板进行摄影获得影像；第２摄影装置，位于上述玻璃基板的下表面的下方，并具有第２摄影机，用于面向上述切断面下侧与上述下表面垂直地对玻璃基板进行摄影获得影像；第３摄影装置，与上述玻璃基板的切断面对置，并 具有第３摄影机，用于与上述切断面垂直地对玻璃基板进行摄影获得影像；机架，与上述玻璃基板的切断面靠近设置，分别与上述第１～第３摄影装置结合；以及机架移动装置，用于使上述机架移动，以便使设置在上述机架上的上述第１～第３摄影装置沿 着上述切断面的长度方向移动，而可对切断面进行摄影。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：金英泽，文祥昊，金昶勋，李斗铉，
申请(专利权)人：三星康宁精密琉璃株式会社，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]