除泡烤箱系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种除泡烤箱系统，包括腔体、加热单元、风扇及驱动装置。腔体具有内部空间，其中流体适于进出内部空间。加热单元配置于腔体内。风扇配置于腔体内。驱动装置包括定子模块、转子模块及耐压胶体。转子模块配置于定子模块内，并适于相对定子模块转动，转子模块包括转轴，转轴包括伸入段，驱动装置在伸入段以外的部位被设置于腔体外而位于常压下，转轴的伸入段伸入腔体，以连接于风扇。耐压胶体包覆至少部分的定子模块，其中定子模块与耐压胶体所共同围绕出的空间连通于腔体的内部空间。本实用新型专利技术提供的除泡烤箱系统可提升产品的可靠性与质量。

【技术实现步骤摘要】
除泡烤箱系统
本技术涉及一种烤箱系统，尤其涉及一种除泡烤箱系统。
技术介绍
半导体封装结构在制造过程中封装胶体可能会产生气泡，封装胶体内的气泡可能会影响产品的可靠性与质量。目前，半导体封装结构可通过压力烤箱以高温高压的方式来去除封装胶体内的气泡。现有的压力烤箱内通常会设有加热单元与风扇，加热单元用以使压力烤箱升温，风扇用以使压力烤箱内的温度均匀。风扇可通过设置在压力烤箱外部的马达来驱动。马达的转轴会伸入压力烤箱的腔体以连接到风扇，且轴封会设置在马达的转轴穿过腔体的部位，以隔绝腔体内外高压差。然而，轴封承受长时间的温差与压差相当容易耗损。
技术实现思路
本技术提供一种除泡烤箱系统，其马达转轴与腔体之间可不需设置轴封。本技术的一种除泡烤箱系统，包括腔体、加热单元、风扇及驱动装置。腔体具有内部空间，其中流体适于进出内部空间。加热单元配置于腔体内。风扇配置于腔体内。驱动装置包括定子模块、转子模块及耐压胶体。转子模块配置于定子模块内，并适于相对定子模块转动，转子模块包括转轴，转轴包括伸入段，驱动装置在伸入段以外的部位被设置于腔体外而位于常压下，转轴的伸入段伸入腔体，以连接于风扇。耐压胶体包覆至少部分的定子模块，其中定子模块与耐压胶体所共同围绕出的空间连通于腔体的内部空间。在本技术的一实施例中，上述的驱动装置还包括上盖、下盖及两轴承，上盖配置于耐压胶体的上侧，转子模块的转轴穿过上盖。下盖配置于耐压胶体的下侧。两轴承套设于转轴，且介于转轴与上盖之间以及转轴与下盖之间，其中耐压胶体的外表面、上盖的外表面与下盖的外表面位于常压下。在本技术的一实施例中，上述的驱动装置包括侧壳，上盖与下盖分别固定于侧壳，耐压胶体填充于定子模块与侧壳之间，且侧壳位于常压下。在本技术的一实施例中，上述的整个耐压胶体的外表面外露，耐压胶体的外表面位于常压下。在本技术的一实施例中，上述的除泡烤箱系统还包括侧壳，包括孔槽，侧壳包覆局部的耐压胶体的外表面，孔槽外露出部分的耐压胶体，且侧壳位于常压下。在本技术的一实施例中，上述的除泡烤箱系统还包括侧壳，围绕定子模块的部分，耐压胶体包覆定子模块的另一部分，且耐压胶体的外表面及侧壳的外表面位于常压下。在本技术的一实施例中，上述的除泡烤箱系统还包括压力供应模块，连通于内部空间，以提供流体进入腔体。在本技术的一实施例中，上述的除泡烤箱系统还包括冷却模块，配置于腔体之外且连通于内部空间，位于内部空间的流体适于流至冷却模块降温之后再流回内部空间。在本技术的一实施例中，上述的除泡烤箱系统还包括流体含量传感器，配置于腔体之外且连通于内部空间。基于上述，本技术的除泡烤箱系统的驱动装置的定子模块与耐压胶体所共同围绕出的空间连通于腔体的内部空间，由于耐压胶体可承受负压、高压和/或压差，转轴与腔体之间可不需设置轴封去阻隔，且驱动装置可位于腔体外且直接设置于常压下。此外，定子模块至少部分受耐压胶体的包覆，而可受到耐压胶体的保护。为让本技术的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。附图说明图1是依照本技术的一实施例的一种除泡烤箱系统的示意图；图2至图5是依照本技术的多个实施例的多种除泡烤箱系统的驱动装置的示意图。附图标记说明1：除泡烤箱系统；20：腔体；22：内部空间；23：缝隙；24：加热单元；26：风扇；30：热交换器；40：泵；50：流体含量传感器；60：增压缸；70：电磁阀；80：调节阀；90：流体供应源；100、100a、100b、100’：驱动装置；110、110a、110b、110’：外壳；112、112a、112’：上盖；114、114a、114’：下盖；116、116b、116’：侧壳；118：孔槽；120：转子模块；122：转轴；124：轴承；130：定子模块；132：线圈；134：电子铁芯；140、140b：耐压胶体；150：温度传感器；152：传输线。具体实施方式图1是依照本技术的一实施例的一种除泡烤箱系统的示意图。请参阅图1，本实施例的除泡烤箱系统1包括腔体20、加热单元24、风扇26、驱动装置100及压力供应模块。腔体20具有内部空间22。在本实施例中，压力供应模块连通于内部空间22，压力供应模块可以用来对腔体20的内部空间22抽真空、提供负压环境、提供气体而使腔体20的内部空间22回到常压、和/或提供高压流体至腔体20的内部空间22，以使内部空间22的压力大于1大气压。更明确地说，本实施例中，压力供应模块包括流体供应源90、调节阀80、电磁阀70及增压缸60(或是比例阀)，但压力供应模块并不以此为限制。此外，在本实施例中，除泡烤箱系统1运作时内部空间22的压力例如是大于等于0大气压且小于100大气压，但除泡烤箱系统1运作时内部空间22的压力不以此为限制。除泡烤箱系统1运作时内部空间22的压力可以是负压、真空或是正压，端视所需而调整。另外，在本实施例中，加热单元24配置于腔体20内，用以使内部空间22的流体温度升高。在本实施例中，加热单元24例如是电热管，但加热单元24的种类不以此为限制。风扇26配置于腔体20内，用以使内部空间22的流体温度均匀。由图1可见，驱动装置100包括转轴122，其中转轴122包括伸入段。伸入段是指转轴122伸入腔体20内的区段，转轴122通过伸入段伸入腔体20以连接于风扇26，进而带动风扇26转动，使内部空间22的流体温度均匀。转轴122在贯穿腔体20的部分与腔体20的壁面之间具有微小的缝隙23，以使转轴122能够相对于腔体20转动而不干涉，且腔体20的内部空间22能通过缝隙23连通于驱动装置100的内部。在本实施例中，驱动装置100例如是马达，但驱动装置100的种类不以此为限制。另外，在本实施例中，除泡烤箱系统1还可包括冷却模块，配置于腔体20之外且连通于内部空间22。详细地说，在本实施例中，冷却模块包括热交换器30与泵40，热交换器30用来将流体降温。泵40用来制造出流体流出于腔体20，通过热交换器30之后，再流回腔体20的循环。位于内部空间22的流体适于流至冷却模块降温之后再流回内部空间22。当然，在其他实施例中，冷却模块也可以通过风扇来达到流体循环的效果。值得一提的是，在其他实施例中，泵40也可以用马达来取代。此外，除泡烤箱系统1还可选择地包括流体含量传感器50，配置于腔体20之外且连通于内部空间22。在本实施例中，流体含量传感器50可对内部空间22内的特定流体的含量进行感测，且流体含量传感器50可具有调节单元(未示出)，调节单元可在感测特定流体含量之前先将流体调整至适合被感测的状态。举例来本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种除泡烤箱系统，其特征在于，包括：/n腔体，具有内部空间，其中流体适于进出所述内部空间；/n加热单元，配置于所述腔体内；/n风扇，配置于所述腔体内；以及/n驱动装置，包括：/n定子模块；/n转子模块，配置于所述定子模块内，并适于相对所述定子模块转动，所述转子模块包括转轴，所述转轴包括伸入段，所述驱动装置在所述伸入段以外的部位被设置于所述腔体外而位于常压下，所述转轴的所述伸入段伸入所述腔体，以连接于所述风扇；以及/n耐压胶体，包覆至少部分的所述定子模块，其中所述定子模块与所述耐压胶体所共同围绕出的空间连通于所述腔体的所述内部空间。/n

【技术特征摘要】
20190611 TW 1082074001.一种除泡烤箱系统，其特征在于，包括：
腔体，具有内部空间，其中流体适于进出所述内部空间；
加热单元，配置于所述腔体内；
风扇，配置于所述腔体内；以及
驱动装置，包括：
定子模块；
转子模块，配置于所述定子模块内，并适于相对所述定子模块转动，所述转子模块包括转轴，所述转轴包括伸入段，所述驱动装置在所述伸入段以外的部位被设置于所述腔体外而位于常压下，所述转轴的所述伸入段伸入所述腔体，以连接于所述风扇；以及
耐压胶体，包覆至少部分的所述定子模块，其中所述定子模块与所述耐压胶体所共同围绕出的空间连通于所述腔体的所述内部空间。


2.根据权利要求1所述的除泡烤箱系统，其特征在于，所述驱动装置还包括：
上盖，配置于所述耐压胶体的上侧，所述转子模块的转轴穿过所述上盖；
下盖，配置于所述耐压胶体的下侧；以及
两轴承，套设于所述转轴，且介于所述转轴与所述上盖之间以及所述转轴与所述下盖之间，其中所述耐压胶体的外表面、所述上盖的外表面与所述下盖的外表面位于常压下。


3.根据权利要求2所述的除泡烤箱系统，其特征在于，所述驱动装置还包括：
侧壳，所述上盖与所述下盖分别固定于...

【专利技术属性】
技术研发人员：张景南，林盛裕，陈明展，
申请(专利权)人：毅力科技有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71