一种运用喷流装置改善电镀均匀性效果装置制造方法及图纸

技术编号:25841680 阅读:34 留言:0更新日期:2020-10-02 14:20
本实用新型专利技术公开了一种运用喷流装置改善电镀均匀性效果装置,包括电镀槽,所述电镀槽的下表面四角均固接有立柱,所述立柱的底端固接有底板,所述电镀槽的内部中心底端固接有网板,所述电镀槽的内部左侧固接有阴极治具,所述电镀槽的内壁右侧固接有阳极板。该运用喷流装置改善电镀均匀性效果装置,通过电镀槽、阴极治具、阳极板和喷流架之间的配合,在电镀作业进行时将循环泵进行启动,第二连管的顶端将电镀液吸收然后通过第一连管注入到空腔内,然后通过第一通孔向外喷射,这样能够明显的增加需要电镀的被镀物周围电镀液的流速,可以减薄阴极膜的厚度,提高了需要电镀的被镀物电镀的密度及速率。

【技术实现步骤摘要】
一种运用喷流装置改善电镀均匀性效果装置
本技术涉及电镀加工
,具体为一种运用喷流装置改善电镀均匀性效果装置。
技术介绍
电镀就是利用电解原理在某些金属表面上镀上一薄层其它金属或合金的过程,是利用电解作用使金属或其它材料制件的表面附着一层金属膜的工艺从而起到防止金属氧化(如锈蚀),提高耐磨性、导电性、反光性、抗腐蚀性(硫酸铜等)及增进美观等作用,目前半导体工业电镀技术快速发展,比方:立体封装堆叠技术、扇出封装、被动元件、PCB等对电镀均匀性和可用电流密度提出了很高的要求;工业电镀也希望很高的电流密度以提高产量,以上这些对电镀来说都是很大的挑战,通过电镀药水本身的改良已经无法满足这方面的要求,需要设备的配合改善均匀性和提高电流密度。目前现有的大多数电镀装置电镀槽内部缺少可以提高电镀液流速装置,因此到电镀工件的电镀密度及速率得不到保障,甚至会影响到电镀效果,其电镀的均匀性得不到较好的保障。且无法对电镀槽内部电镀液的流速进行调节,无法满足不同大小工件电镀时对电镀液流速所需,适用范围较为有限。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种运用喷流装置改善电镀均匀性效果装置,以解决上述
技术介绍
中提出的目前现有的大多数电镀装置电镀槽内部缺少可以提高电镀液流速装置,因此到电镀工件的电镀密度及速率得不到保障,甚至会影响到电镀效果,其电镀的均匀性得不到较好的保障问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种运用喷流装置改善电镀均匀性效果装置,包括电镀槽,所述电镀槽的下表面四角均固接有立柱,所述立柱的底端固接有底板,所述电镀槽的内部中心底端固接有网板,所述电镀槽的内部左侧固接有阴极治具,所述电镀槽的内壁右侧固接有阳极板,所述电镀槽的内部设有喷流架;所述喷流架包括隔板、空腔、第一通孔、短管、第一连管、循环泵和第二连管;所述隔板位于电镀槽的内部中心顶端,所述隔板的前后两面均与电镀槽的内壁固定相连,所述隔板的内部底端开有空腔,所述空腔的内部左侧开有多个第一通孔,所述隔板的右侧中心底端固接有短管,所述短管的外壁右侧固接有第一连管,所述第一连管的一部分依次贯穿网板和电镀槽,所述第一连管与电镀槽固定相连,所述第一连管的固接有循环泵,所述循环泵的顶端左侧固接有第二连管,所述第二连管与电镀槽固定相连。优选的,所述隔板的顶端设有调流机构;所述调流机构包括通槽、挡板、第二通孔、方板、橡胶条、立杆、螺杆、圆筒、第一伞形齿轮、第二伞形齿轮和旋杆;所述通槽开设在空腔的内部顶端左侧,所述通槽的内部左侧底端设有挡板,所述挡板的左表面与空腔的内壁右侧相贴合,所述挡板的右侧表面加工有多个第二通孔,所述挡板的顶端固接有方板,所述方板的外壁固接套接有橡胶条,所述橡胶条与通槽的内壁相抵紧,所述方板的上表面固接有立杆,所述立杆的顶端固接有螺杆,所述螺杆的外壁顶端套接有圆筒,所述圆筒的底端与挡板上表面固定相连,所述圆筒的内部底端转动连接有第一伞形齿轮,所述第一伞形齿轮的内壁与螺杆的外壁螺纹相连,所述第一伞形齿轮的右侧顶端啮合连接有第二伞形齿轮,所述第二伞形齿轮的右侧固接有旋杆,所述旋杆的一部分贯穿圆筒,所述旋杆通过轴承与圆筒转动相连。优选的,所述通槽与方板构成滑动限位结构。优选的,所述第二通孔的内径与第一通孔的内径相同,所述第二通孔的数量与第一通孔数量相同。优选的,所述旋杆与第二伞形齿轮的中心点均位于同一条水平线上。优选的,所述螺杆的顶端设有标杆;所述标杆包括套环、指针、圆杆和刻度;所述套环的内壁与螺杆的外壁顶端固定相连,所述套环的外壁左侧固接有指针,所述圆杆的底端与圆筒的顶端左侧固定相连,所述圆杆的外壁喷涂有刻度,所述指针与圆杆相贴合。与现有技术相比,本技术的有益效果是:该运用喷流装置改善电镀均匀性效果装置,相对于传统技术,具有以下优点:通过电镀槽、阴极治具、阳极板和喷流架之间的配合,在电镀作业进行时将循环泵进行启动,第二连管的顶端将电镀液吸收然后通过第一连管注入到空腔内,然后通过第一通孔向外喷射,这样能够明显的增加需要电镀的被镀物周围电镀液的流速,可以减薄阴极膜的厚度,使得阴极治具在发生反应时,提高了需要电镀的被镀物电镀的密度及速率,即电镀效果的均匀性得以保障。通过电镀槽、喷流架和调流机构之间的配合,操作人员可以通过转动旋杆来调节挡板的上下位置,即可使第一通孔的排放口径可以进行调节,第一通孔的排放口径减小时,可以增加第一通孔左侧电镀液的流速,适用于较大工件的电镀作业对电镀液的流速所需,适用范围得以加强。通过螺杆、套环、指针、圆杆和刻度之间的配合,操作人员可以根据指针与圆杆外壁刻度的关系来,知晓挡板的移动距离,便于操作人员对挡板进行调节。附图说明图1为本技术结构示意图;图2为图1隔板、空腔和挡板的连接结构示意图;图3为图2隔板、调流机构和标杆的连接结构示意图;图4为图2隔板、通槽和方板的连接结构示意图;图5为图2隔板、挡板和短管的连接结构示意图;图6为图1隔板的左视图。图中:1、电镀槽,2、立柱,3、底板,4、网板,5、阴极治具,6、阳极板,7、喷流架,701、隔板,702、空腔,703、第一通孔,704、短管,705、第一连管,706、循环泵,707、第二连管,8、调流机构,801、通槽,802、挡板,803、第二通孔,804、方板,805、橡胶条,806、立杆,807、螺杆,808、圆筒,809、第一伞形齿轮,810、第二伞形齿轮,811、旋杆,9、标杆,901、套环,902、指针,903、圆杆,904、刻度。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。请参阅图1-6,本技术提供一种技术方案:一种运用喷流装置改善电镀均匀性效果装置,包括电镀槽1,电镀槽1的下表面四角均固接有立柱2,立柱2的底端固接有底板3,电镀槽1的内部中心底端固接有网板4,网板4为表面布满通孔的不锈钢材质制成,目数为50-100目,电镀槽1的内部左侧固接有阴极治具5,电镀槽1的内壁右侧固接有阳极板6,电镀槽1的内部设有喷流架7,喷流架7包括隔板701、空腔702、第一通孔703、短管704、第一连管705、循环泵706和第二连管707,隔板701位于电镀槽1的内部中心顶端,隔板701的前后两面均与电镀槽1的内壁固定相连,隔板701的内部底端开有空腔702,空腔702的内部左侧开有多个第一通孔703,第一通孔703与空腔702互为连通,隔板701的右侧中心底端固接有短管704,短管704与空腔702互为连通,短管704的外壁右侧固接有第一连管705,第一连管705的一部分依次贯穿网板4和电镀槽1,第一连管705本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种运用喷流装置改善电镀均匀性效果装置,包括电镀槽(1),其特征在于:所述电镀槽(1)的下表面四角均固接有立柱(2),所述立柱(2)的底端固接有底板(3),所述电镀槽(1)的内部中心底端固接有网板(4),所述电镀槽(1)的内部左侧固接有阴极治具(5),所述电镀槽(1)的内壁右侧固接有阳极板(6),所述电镀槽(1)的内部设有喷流架(7);/n所述喷流架(7)包括隔板(701)、空腔(702)、第一通孔(703)、短管(704)、第一连管(705)、循环泵(706)和第二连管(707);/n所述隔板(701)位于电镀槽(1)的内部中心顶端,所述隔板(701)的前后两面均与电镀槽(1)的内壁固定相连,所述隔板(701)的内部底端开有空腔(702),所述空腔(702)的内部左侧开有多个第一通孔(703),所述隔板(701)的右侧中心底端固接有短管(704),所述短管(704)的外壁右侧固接有第一连管(705),所述第一连管(705)的一部分依次贯穿网板(4)和电镀槽(1),所述第一连管(705)与电镀槽(1)固定相连,所述第一连管(705)的固接有循环泵(706),所述循环泵(706)的顶端左侧固接有第二连管(707),所述第二连管(707)与电镀槽(1)固定相连。/n...

【技术特征摘要】
1.一种运用喷流装置改善电镀均匀性效果装置,包括电镀槽(1),其特征在于:所述电镀槽(1)的下表面四角均固接有立柱(2),所述立柱(2)的底端固接有底板(3),所述电镀槽(1)的内部中心底端固接有网板(4),所述电镀槽(1)的内部左侧固接有阴极治具(5),所述电镀槽(1)的内壁右侧固接有阳极板(6),所述电镀槽(1)的内部设有喷流架(7);
所述喷流架(7)包括隔板(701)、空腔(702)、第一通孔(703)、短管(704)、第一连管(705)、循环泵(706)和第二连管(707);
所述隔板(701)位于电镀槽(1)的内部中心顶端,所述隔板(701)的前后两面均与电镀槽(1)的内壁固定相连,所述隔板(701)的内部底端开有空腔(702),所述空腔(702)的内部左侧开有多个第一通孔(703),所述隔板(701)的右侧中心底端固接有短管(704),所述短管(704)的外壁右侧固接有第一连管(705),所述第一连管(705)的一部分依次贯穿网板(4)和电镀槽(1),所述第一连管(705)与电镀槽(1)固定相连,所述第一连管(705)的固接有循环泵(706),所述循环泵(706)的顶端左侧固接有第二连管(707),所述第二连管(707)与电镀槽(1)固定相连。


2.根据权利要求1所述的一种运用喷流装置改善电镀均匀性效果装置,其特征在于:所述隔板(701)的顶端设有调流机构(8);
所述调流机构(8)包括通槽(801)、挡板(802)、第二通孔(803)、方板(804)、橡胶条(805)、立杆(806)、螺杆(807)、圆筒(808)、第一伞形齿轮(809)、第二伞形齿轮(810)和旋杆(811);
所述通槽(801)开设在空腔(702)的内部顶端左侧,所述通槽(801)的内部左侧底端设有挡板(802),所述挡板(802)的左表面与空腔(702)的内壁右侧相贴合,所述挡板(802)的右侧表面加工有多个第二通孔(803),所述挡板(802)的顶...

【专利技术属性】
技术研发人员:唐静波肖阳
申请(专利权)人:深圳市元富机电科技有限公司
类型:新型
国别省市:广东;44

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