本实用新型专利技术公开了一种具有检测装置的磁控溅射靶，包括真空腔体、靶材、靶座、连接座和水冷背板，所述真空腔体底部的中心位置处安装有靶座，且真空腔体底部的两内侧壁上皆固定有连接座，连接座的一端与靶座的外壁相触碰，并且连接座下方的靶座外壁上设有安装结构，所述靶座内部的顶端安装有靶材，且靶材下方的靶座内部安装有水冷背板，并且水冷背板底端的两侧皆设有流通管槽，流通管槽的底端延伸至靶座的外部，流通管槽底端的中心位置处安装有塞头，靶座底端的中心位置处安装有警报器。本实用新型专利技术不仅提高了磁控溅射靶使用时的精准性，延长了磁控溅射靶的使用寿命，而且提高了磁控溅射靶使用时的便捷性。
【技术实现步骤摘要】
一种具有检测装置的磁控溅射靶
本技术涉及磁控溅射靶
，具体为一种具有检测装置的磁控溅射靶。
技术介绍
磁控溅射镀膜是在磁场和电场的交互作用下，使氩离子将靶材成分溅射沉积到基片上，由于靶材磁场水平磁力线分布成跑道形状，跑道处最能有效地束缚电子而产生放电，并导致其正下方的靶材被快速刻蚀，因而磁控溅射靶被广泛应用于镀膜器械中。目前市面上的磁控溅射靶多种多样，但功能性较为单一，还存在一定的问题，已逐渐无法满足人们的需求，具体问题有以下几点：(1)现有的此类磁控溅射靶不便于对靶材自动进行检测处理，需由人工进行定时与主观判断，因而导致其存有一定的误差；(2)现有的此类磁控溅射靶的降温性能一般，导致靶材易因高温而出现损坏的现象，时常困扰着人们；(3)现有的此类磁控溅射靶不便于快速进行安装处理，导致其使用时有所不便，还需加以改善。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种具有检测装置的磁控溅射靶，以解决上述
技术介绍
中提出磁控溅射靶不便于对靶材自动进行检测处理、降温性能一般以及不便于快速进行安装处理的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种具有检测装置的磁控溅射靶，包括真空腔体、靶材、靶座、连接座和水冷背板，所述真空腔体底部的中心位置处安装有靶座，且真空腔体底部的两内侧壁上皆固定有连接座，连接座的一端与靶座的外壁相触碰，并且连接座下方的靶座外壁上设有安装结构，所述靶座内部的顶端安装有靶材，且靶材下方的靶座内部安装有水冷背板，并且水冷背板底端的两侧皆设有流通管槽，流通管槽的底端延伸至靶座的外部，流通管槽底端的中心位置处安装有塞头，所述靶座底端的中心位置处安装有警报器，且警报器底端的中心位置处通过支架安装有继电器。优选的，所述靶材的底端设有安置沟槽，且安置沟槽的内部安装有绝缘导线，绝缘导线的两端延伸至靶座的外部并与警报器两侧的外壁相连接，以便检测靶材的厚度。优选的，所述水冷背板的顶部设有等间距的导热块，导热块的顶端延伸至水冷背板的外部，且导热块顶端的中心位置处涂抹有低熔点金属粉末，提高对靶材的降温效果。优选的，所述安装结构的内部依次设有安置板、锁紧螺栓、螺旋槽、定位槽、条形限位槽、推柄以及定位孔，所述连接座下方的靶座外壁上设有定位槽，且定位槽内部的一侧设有安置板，安置板的一端延伸至定位槽的外部，并且安置板远离定位槽的一端设有定位孔，以便对安置板进行收放安置处理。优选的，所述定位槽底部的一侧设有条形限位槽，条形限位槽的底端延伸至靶座的外部，且条形限位槽上方的安置板底端固定有推柄，推柄的底端贯穿条形限位槽并延伸至靶座的外部，以便对安置板的移动幅度进行限位。优选的，所述定位孔上方的连接座底部设有螺旋槽，且定位孔位置处的安置板底端设有锁紧螺栓，锁紧螺栓的顶端贯穿定位孔并与螺旋槽螺纹连接，以便对安置板进行定位处理。与现有技术相比，本技术的有益效果是：该具有检测装置的磁控溅射靶不仅提高了磁控溅射靶使用时的精准性，延长了磁控溅射靶的使用寿命，而且提高了磁控溅射靶使用时的便捷性；(1)通过设置有安置沟槽、绝缘导线、警报器以及继电器，通过将安置沟槽设置于靶材的底部，再而将绝缘导线设置于安置沟槽的内部，且将绝缘导线的两端与警报器的两端进行连接，当进行镀膜时，靶材会因磨损导致其厚度不断的降低，使得外部切刀会与绝缘导线相接触，此时绝缘导线则会发生断裂，进而经警报器使继电器发生警报进行提示，实现了磁控溅射靶自动检测的功能，从而提高了磁控溅射靶使用时的精准性；(2)通过设置有流通管槽、塞头、水冷背板、低熔点金属粉末以及导热块，通过拉动塞头，使得流通管槽呈开合状态，此时由第一组流通管槽将冷却液注入至水冷背板的内部，经水冷背板的内部循环后并由第二组流通管槽排出，同时因低熔点金属粉末遇热即挥发的导热性能，使其对导热块的导热性能进行增幅，进而将靶材的热能导入至水冷背板内部的冷却液中，以便进行高效降温处理，降低靶材出现损坏的现象，从而延长了磁控溅射靶的使用寿命；(3)通过设置有安置板、锁紧螺栓、螺旋槽、定位槽、条形限位槽、推柄以及定位孔，通过推动推柄，使其在条形限位槽的内部滑移，并使其带动安置板滑移至定位槽的外部，此时旋转锁紧螺栓，使其经定位孔旋入至螺旋槽的内部，以便对其进行快速安装处理，从而提高了磁控溅射靶使用时的便捷性。附图说明图1为本技术正视剖面结构示意图；图2为本技术图1中A处放大结构示意图；图3为本技术安装结构剖视放大结构示意图；图4为本技术靶材俯视放大结构示意图。图中：1、真空腔体；2、靶材；3、靶座；4、连接座；5、继电器；6、警报器；7、水冷背板；8、安装结构；801、安置板；802、锁紧螺栓；803、螺旋槽；804、定位槽；805、条形限位槽；806、推柄；807、定位孔；9、流通管槽；10、安置沟槽；11、低熔点金属粉末；12、导热块；13、绝缘导线；14、塞头。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-4，本技术提供的一种实施例：一种具有检测装置的磁控溅射靶，包括真空腔体1、靶材2、靶座3、连接座4和水冷背板7，真空腔体1底部的中心位置处安装有靶座3，且真空腔体1底部的两内侧壁上皆固定有连接座4，连接座4的一端与靶座3的外壁相触碰，并且连接座4下方的靶座3外壁上设有安装结构8，安装结构8的内部依次设有安置板801、锁紧螺栓802、螺旋槽803、定位槽804、条形限位槽805、推柄806以及定位孔807，连接座4下方的靶座3外壁上设有定位槽804，且定位槽804内部的一侧设有安置板801，安置板801的一端延伸至定位槽804的外部，并且安置板801远离定位槽804的一端设有定位孔807，定位槽804底部的一侧设有条形限位槽805，条形限位槽805的底端延伸至靶座3的外部，且条形限位槽805上方的安置板801底端固定有推柄806，推柄806的底端贯穿条形限位槽805并延伸至靶座3的外部，定位孔807上方的连接座4底部设有螺旋槽803，且定位孔807位置处的安置板801底端设有锁紧螺栓802，锁紧螺栓802的顶端贯穿定位孔807并与螺旋槽803螺纹连接；通过推动推柄806，使其在条形限位槽805的内部滑移，并使其带动安置板801滑移至定位槽804的外部，此时旋转锁紧螺栓802，使其经定位孔807旋入至螺旋槽803的内部，以便对其进行快速安装处理，提高磁控溅射靶使用时的便捷性；靶座3内部的顶端安装有靶材2，靶材2的底端设有安置沟槽10，且安置沟槽10的内部安装有绝缘导线13，绝缘导线13的两端延伸至靶座3的外部并与警报器6两侧的外壁相连接，以便检测靶材本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种具有检测装置的磁控溅射靶，包括真空腔体(1)、靶材(2)、靶座(3)、连接座(4)和水冷背板(7)，其特征在于：所述真空腔体(1)底部的中心位置处安装有靶座(3)，且真空腔体(1)底部的两内侧壁上皆固定有连接座(4)，连接座(4)的一端与靶座(3)的外壁相触碰，并且连接座(4)下方的靶座(3)外壁上设有安装结构(8)，所述靶座(3)内部的顶端安装有靶材(2)，且靶材(2)下方的靶座(3)内部安装有水冷背板(7)，并且水冷背板(7)底端的两侧皆设有流通管槽(9)，流通管槽(9)的底端延伸至靶座(3)的外部，流通管槽(9)底端的中心位置处安装有塞头(14)，所述靶座(3)底端的中心位置处安装有警报器(6)，且警报器(6)底端的中心位置处通过支架安装有继电器(5)。/n
【技术特征摘要】
1.一种具有检测装置的磁控溅射靶，包括真空腔体(1)、靶材(2)、靶座(3)、连接座(4)和水冷背板(7)，其特征在于：所述真空腔体(1)底部的中心位置处安装有靶座(3)，且真空腔体(1)底部的两内侧壁上皆固定有连接座(4)，连接座(4)的一端与靶座(3)的外壁相触碰，并且连接座(4)下方的靶座(3)外壁上设有安装结构(8)，所述靶座(3)内部的顶端安装有靶材(2)，且靶材(2)下方的靶座(3)内部安装有水冷背板(7)，并且水冷背板(7)底端的两侧皆设有流通管槽(9)，流通管槽(9)的底端延伸至靶座(3)的外部，流通管槽(9)底端的中心位置处安装有塞头(14)，所述靶座(3)底端的中心位置处安装有警报器(6)，且警报器(6)底端的中心位置处通过支架安装有继电器(5)。
2.根据权利要求1所述的一种具有检测装置的磁控溅射靶，其特征在于：所述靶材(2)的底端设有安置沟槽(10)，且安置沟槽(10)的内部安装有绝缘导线(13)，绝缘导线(13)的两端延伸至靶座(3)的外部并与警报器(6)两侧的外壁相连接。
3.根据权利要求1所述的一种具有检测装置的磁控溅射靶，其特征在于：所述水冷背板(7)的顶部设有等间距的导热块(12)，导热块(12)的顶端延伸至水冷背板(7)的外部，且导热块(12)顶端的中心位...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙艳山，
申请(专利权)人：遵化市洪晟霖翼钛金设备有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13
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