隔离机台排水回收污染源的方法与系统技术方案

一种隔离机台排水回收污染源的方法与系统，该方法将机台设备数据置于一数据库中，当回收系统的监测单元发现回收水受污染时，会即刻产生警报通知管理人员，管理人员可检索数据库，依照污染物的种类，将可能造成排水污染的机台排水管路清单列出，并配合机台化学品使用纪录将其排列出隔离的优先顺序，而管理人员可依照此顺序通过远端控制，将可能污染的排水管路逐步隔离，进而将污染源找出。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术有关于一种回收污染源的方法与系统，且特别是有关于一种隔离机台排水回收污染源的方法与系统。
技术介绍
近年来台湾缺水问题日益严重，对于产业发展已逐渐产生威胁，再加上政府对于用水回收率的法令规定日趋严格等等因素下，迫使产业必须加强全厂用水效率，包括必须回收使用部分的处理排水，才能达到处理回收率的法令要求。然而，因为半导体产业处理变动性极高，处理技术也不断的演进与提升，再加上处理使用化学药剂的种类也越来越复杂，使得回收水污染发生频率也常因为处理变动、机台操作失误、机台维修、阀门故障以及其他人为、仪器机械的异常动作等因素而提高。当排水回收异常污染发生时，可能会因紧急排放而减少回收水量，亦或是继续回收，增加水回收系统处理负荷，使再生频率提高。然而，可能会因回收水水质变化而污染处理过程，影响产品合格率。因此，必须尽快找到污染源进行隔离，以减少对回收水量以及处理合格率的冲击。一般传统追踪污染源的做法皆为采用由下游往上游逐步追查的做法。即是从发生异常水质的中间暂存槽开始清查，先就连接暂存槽的所有主管路的回收水进行取样分析，等待确认造成污染的主管路之后，再依照主管路的配置路线将污染区域划分出来，之后再将污染区域所有机台逐台清查，将所有机台的管路进行管路查看(以避免错接的情况)、排管钻孔取样以及进行水样分析。然而，半导体机台的排水管路众多而复杂，再加上水样分析往往旷日费时，因此导致污染处理过程时间延长。若污染事故为一非连续性发生的情况，如采样时机不对，很容易因错失而误判，因而无法找出污染的出处。因此，以往进行污染源追踪，就如同大海捞针般的耗时费力，且不一定能获得解决。若长期未能将污染源找到的情况下，将会导致回收率下降、回收处理系统受损、回收系统再生成本增加，甚至危害处理合格率等等严重后果。
技术实现思路
本专利技术的目的就是在提供一种隔离机台排水回收污染源的方法与系统，使得水回收系统污染发生时，可快速处理并降低污染危害。本专利技术提出一种隔离机台排水回收污染源的系统，其包括多个管线、多个机台、多个回收系统、污染监测单元、机台数据库以及数据库检索系统。多个管线用以传输排水。多个机台连接管线至少其一，于工作中排放排水。多个回收系统连接管线，接收机台的排水并回收。污染监测单元装置于回收系统前，监测回收水水质，当污染发生时，可即刻产生警报，并告知污染种类。机台数据库用以储存机台设备数据，以提供使用者了解排水特性。数据库检索系统提供以特定条件进行该机台数据库的数据搜寻，并将其符合检索条件的结果，以表列方式输出，以提供与污染发生相关的机台，缩小检索范围。依照本专利技术的较佳实施例所述的隔离机台排水回收污染源的系统，其中还包括远端控制单元，用以远端切换排水管路阀门的自动控制元件，操作人员无须至现场寻找阀件位置并手动切换。本专利技术提出一种隔离机台排水回收污染源的方法，适用于具有多个管线、多个机台、多个回收系统以及具有污染监测单元。其中机台连接管线至少其一，于工作中排放排水。回收系统连接管线，接收机台的排水并回收。污染监测单元装置于回收系统，监测回收水水质，当污染发生时，可即刻产生警报，并告知污染种类。其方法包括将机台设备数据设置于一机台数据库。当该污染监测单元发现回收水受污染时，产生警报，并提供一污染信息。当收到污染警报后，依照该污染信息检索数据库，搜寻可能造成污染的机台，并将机台排水管路清单列出。以及根据机台清单排列出排水管路隔离的优先顺序，依照此顺序将可能污染的排水管逐步隔离，进而找出污染源。本专利技术因采用数据库储存所有信息，当污染发生时，可快速于数据库查出污染源或其相关机台，因此可以快速隔离机台排水回收污染源。为让本专利技术的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。附图说明图1表示本专利技术一实施例的隔离机台排水回收污染源的系统方块图。图2表示本专利技术一实施例的隔离机台排水回收污染源的方法流程图。主要元件符号说明管线1、管线2、管线3、管线4管线(pipe)A、B、C机台101、102、103、104回收系统106污染监测单元108机台数据库110数据库检索系统112远端控制单元200将机台设备数据设置于机台数据库202当污染监测单元发现回收水受污染时，即刻产生警报通知管理人员204当收到污染警报后，依照从该污染监测单元得到的信息检索机台数据库，以交集或联集的方式搜寻可能造成污染的机台，并将机台排水管路清单列出206根据机台清单清查化学药品使用纪录，排列出排水管路隔离的优先顺序，依照此顺序将可能污染的排水管逐步隔离，进而找出污染源具体实施方式图1为本专利技术一实施例的隔离机台排水回收污染源的系统方块图，请参考图1，包括管线管线1、管线2、管线3以及管线4、机台A、B以及C、回收系统101、102、103以及104、污染监测单元106、机台数据库108、数据库检索系统110以及远端控制单元112。其中，所有的机台A、B、C于工作中通过管线管线1、管线2、管线3以及管线4排放排水。回收系统101、102、103以及104接收管线管线1、管线2、管线3以及管线4流过的排水，作回收处理。污染监测单元106装置于回收系统101、102、103以及104收集槽前，连续监测回收水水质。当污染发生时，污染监测单元106可即刻产生警报通知管理人员，并告知污染种类，提供污染浓度以及发生时间。如此一来，管理人员就可以借着这些信息，依照机台数据库108所提供的污水排放状况来判断隔离方式。其中，机台数据库108储存所有机台的编号、设置位置、槽体运行功能、清洗槽体设计、内部管线配置、使用化学品种类、浓度、处理配方、用水量、外部排水管路配置与编号、以及机台管路图等，用以提供使用者了解机台运行方式与排水特性的信息。为了使机台数据库108所储存的数据能够被有效的利用，本实施例更利用数据库检索系统110来提供管理人员以特定条件进行数据库数据搜寻，并将其符合检索条件的结果，以表列输出方式反馈管理人员，用以提供与污染发生相关的机台，缩小检索范围。再者，远端控制单元112可用以远端切换排水管路阀门的自动控制元件，如此则操作人员无须至现场寻找阀件位置并手动切换，可进一步节省人力与时间。举例来说，假设机台C发生污染，此时污染监测单元106检测到污染，立刻对管理人员发出警报通知管理人员。管理人员接收到污染监测单元106的警报后，就知道必须检视污染监测单元106送出的信息。假设此时污染监测单元106送出回收系统102、103以及104受污染，并且检测出污染种类、污染浓度、以及发生时间等信息，则管理人员可以进入数据库检索系统110，将从污染监测单元106收到的信息与机台数据库108进行对比，逐步分析以得到管线管线2、管线3以及管线4受污染，而管线管线2、管线3以及管线4取交集可以得到机台A与C，之后再彻查机台A以及机台C使用的化学药品，与污染种类作比较，就可以撤查出机台C为污染源。最后再利用远端控制单元112用以远端切换排水管路阀门便可以将可能污染的排水管逐步做隔离。图2为本专利技术一实施例的隔离机台排水回收污染源的方法流程图，请参考图1以及图2。首先，将机台设备数据设置于机台数据库108，包括机台位置、机台槽体设计、内部管线配置、使用化学品种类与浓本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种隔离机台排水回收污染源的系统，包括：多个管线，用以传输排水；多个机台，连接该些管线至少其一，于工作中排放排水；多个回收系统，连接该些管线以接收该些管线的排水；一污染监测单元，监测该些回收系统所接收的排水水 质，当排水被污染时则产生与污染物相关的信息；一机台数据库，用以储存机台设备数据，以提供使用者了解排水特性；以及一数据库检索系统，提供以特定条件进行该机台数据库的数据搜寻的相关操作，以提供与污染发生相关的可能机台。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：林纬平，彭锦相，曹志杰，江汉钟，巫信东，
申请(专利权)人：力晶半导体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]