直接成像光学设备制造技术

本发明专利技术提供一种直接成像光学设备，包括：光源，用于提供散射光；准直透镜，所述准直透镜接收自所述光源的所述散射光，并将所述散射光转换为平行光；复眼透镜，所述复眼透镜接收来自所述准直透镜的所述平行光，并对所述平行光进行匀光；中继透镜，所述中继透镜接收来自所述复眼透镜经过匀光后的所述平行光，并对所述平行光的进行延伸和聚焦；空间光调制器，所述空间光调制器接收来自所述中继透镜的所述平行光，并将所述平行光进行空间光调制；光刻成像镜头，所述光刻成像镜头接收来自所述空间光调制器经过空间光调制的光并将其在预定位置成像。根据本发明专利技术的直接成像光学设备，结构简便、光学质量较佳、光刻效果较好且节约成本。

【技术实现步骤摘要】
直接成像光学设备
本专利技术涉及直接成像领域，具体涉及一种直接成像光学设备。
技术介绍
直接成像设备是近年来逐步发展起来的，应用于PCB(印刷电路板)、FPC(柔性电路板)、FPD(平板显示器)、IC(集成电路)等行业的，取代传统菲林及Mask(掩膜)等接触式成像工艺的一种新型技术。但是现有的直接成像设备存在结构复杂臃肿、成本较高的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供一种直接成像光学设备，结构简便、光学质量较佳、光刻效果较好且节约成本。为解决上述技术问题，一方面，本专利技术提供一种直接成像光学设备，包括：光源，用于提供散射光；准直透镜，所述准直透镜接收自所述光源的所述散射光，并将所述散射光转换为平行光；复眼透镜，所述复眼透镜接收来自所述准直透镜的所述平行光，并对所述平行光进行匀光；中继透镜，所述中继透镜接收来自所述复眼透镜经过匀光后的所述平行光，并对所述平行光的进行延伸和聚焦；空间光调制器，所述空间光调制器接收来自所述中继透镜的所述平行光，并将所述平行光进行空间光调制；光刻成像镜头，所述光刻成像镜头接收来自所述空间光调制器经过空间光调制的光并将其在预定位置成像。进一步地，所述空间光调制器为数字微镜器件组件。进一步地，直接成像光学设备还包括：上位机，所述上位机连接所述数字微镜器件组件，所述上位机接收图形文件，并将所述图形文件处理为图形数据，并将所述图形数据传递至所述数字微镜器件组件，以使得所述数字微镜器件组件根据所述图形数据进行空间光调制。进一步地，所述数字微镜器件组件包括：数字微镜器件芯片，所述数字微镜器件芯片包括多个角度可调整的微镜片，所述数字微镜器件组件通过数字微镜器件芯片接收所述平行光并通过调整所述微镜片的角度实现所述空间光调制。进一步地，所述数字微镜器件组件还包括：芯片控制器，所述芯片控制器连接所述数字微镜器件芯片和所述上位机，所述芯片控制器接收来自所述上位机传递的所述图形数据，所述芯片控制器根据所述图形数据控制所述数字微镜器件芯片的所述微镜片进行角度调整。进一步地，所述光源为激光器、发光二极管及卤素灯中的任一种。进一步地，所述光刻成像镜头包括光阑及成像物镜，所述平行光依次穿过所述光阑及所述成像物镜，以在所述预定位置成像。进一步地，直接成像光学设备还包括：反光镜，所述反光镜设置在所述准直透镜和所述复眼透镜之间，所述反光镜接收来自所述准直透镜的所述平行光，并将所述平行光反射至所述复眼透镜。进一步地，所述光源横向设置；所述准直透镜面对所述光源设置，所述准直透镜的光轴与所述光源的光轴共线；所述反光镜的镜面法线与所述准直透镜的光轴成锐角；所述复眼透镜设置在所述反光镜的前上方；所述中继透镜面对所述复眼透镜设置；所述空间光调制器横向设置在所述中继透镜的前上方；所述光刻成像镜头设置在所述空间光调制器的下方。进一步地，所述中继透镜包括多组光轴共线的透镜，每组所述透镜包括镜像对称的两个所述透镜。本专利技术的上述技术方案至少具有如下有益效果之一：根据本专利技术的直接成像光学设备，包括光源、准直透镜、复眼透镜、中继透镜、空间光调制器及光刻成像镜头，光源发出的散射光经过准直透镜转换为平行光，平行光经过复眼透镜进行匀光，匀光后的平行光经过中继透镜，准确地延伸和聚焦在空间光调制器上，空间光调制器对光进行成像，光透过光刻成像镜头在预定位置形成像面，将待光刻产品放置在像面位置，光线能够较好地对待光刻产品进行光刻，能够使得光学设备结构简便、节约成本、运行稳定、光学质量好及光刻效果。附图说明图1为根据本专利技术一实施例的直接成像光学设备的结构示意图；图2为图1中的中继透镜的示意图。附图标记：1、光源；2、准直透镜；3、反光镜；4、复眼透镜；5、中继透镜；6、空间光调制器；7、光阑；8、成像物镜；9、像面。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例的附图，对本专利技术实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本专利技术的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。除非另作定义，本专利技术中使用的技术术语或者科学术语应当为本专利技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本专利技术中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”或者“一”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也相应地改变。下面，参考附图说明根据本专利技术实施例的直接成像光学设备。如图1所示，根据本专利技术的直接成像光学设备包括：光源1、准直透镜2、复眼透镜4、中继透镜5、空间光调制器6及光刻成像镜头。首先，说明光源1。光源1用于提供散射光。直接成像光学设备使用的光源1通常为点光源1，发出散射光。直接成像光学设备基于光源1发出的光进行对待光刻产品(电路板等)进行光刻。可选地，光源1为激光器、发光二极管及卤素灯中的任一种。激光器、发光二极管或卤素灯可以提供光学质量较佳的光，以使得光刻效果相对较好。接着，说明准直透镜2和复眼透镜4。准直透镜2接收自光源1的散射光，并将散射光转换为平行光。复眼透镜4接收来自准直透镜2的平行光，并对平行光进行匀光。散射光的光学质量较差，不利于进行光刻。通过准直透镜2将散射光转换为光学质量较好的平行光，能够提高光学质量，使得光刻效果较好。通过复眼透镜4进行匀光已是成熟技术，这里不再详述。通过复眼透镜4能够增加平行光的均匀性，能够提高光学质量，进一步提高光刻效果。接下来，说明中继透镜5和空间光调制器6。中继透镜5接收来自复眼透镜4经过匀光后的平行光，并对平行光的进行延伸和聚焦。空间光调制器6接收来自中继透镜5的平行光，并将平行光进行空间光调制。空间光调制器6对平行光进行空间光调制，从而形成光刻图形，以对待光刻产品进行光刻。经过复眼透镜4的光传播距离、聚焦位置及聚焦区域不能完全和空间光调制器6匹配，容易导致光能量的损失，使得光刻效果较差。通过中继透镜5能够将经过复眼透镜4的光进行延伸和聚焦，准确投射至空间光调制器6，以和空间光调制器6匹配。由此，能够增加光的利用率，提升光学质量。可选地，中继透镜5包括多组光轴共线的透镜，每组透镜包括镜像对称的两个透镜。如图2所示，框内的中继透镜5包括三组透镜，第一组透镜位于中央，第二组透镜位于第一组透镜的两侧，第三组透镜位于第二组透本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种直接成像光学设备，其特征在于，包括：/n光源(1)，用于提供散射光；/n准直透镜(2)，所述准直透镜(2)接收自所述光源(1)的所述散射光，并将所述散射光转换为平行光；/n复眼透镜(4)，所述复眼透镜(4)接收来自所述准直透镜(2)的所述平行光，并对所述平行光进行匀光；/n中继透镜(5)，所述中继透镜(5)接收来自所述复眼透镜(4)经过匀光后的所述平行光，并对所述平行光的进行延伸和聚焦；/n空间光调制器(6)，所述空间光调制器(6)接收来自所述中继透镜(5)的所述平行光，并将所述平行光进行空间光调制；/n光刻成像镜头，所述光刻成像镜头接收来自所述空间光调制器(6)经过空间光调制的光并将其在预定位置成像。/n

【技术特征摘要】
1.一种直接成像光学设备，其特征在于，包括：
光源(1)，用于提供散射光；
准直透镜(2)，所述准直透镜(2)接收自所述光源(1)的所述散射光，并将所述散射光转换为平行光；
复眼透镜(4)，所述复眼透镜(4)接收来自所述准直透镜(2)的所述平行光，并对所述平行光进行匀光；
中继透镜(5)，所述中继透镜(5)接收来自所述复眼透镜(4)经过匀光后的所述平行光，并对所述平行光的进行延伸和聚焦；
空间光调制器(6)，所述空间光调制器(6)接收来自所述中继透镜(5)的所述平行光，并将所述平行光进行空间光调制；
光刻成像镜头，所述光刻成像镜头接收来自所述空间光调制器(6)经过空间光调制的光并将其在预定位置成像。


2.根据权利要求1所述的直接成像光学设备，其特征在于，所述空间光调制器(6)为数字微镜器件组件。


3.根据权利要求2所述的直接成像光学设备，其特征在于，还包括：
上位机，所述上位机连接所述数字微镜器件组件，所述上位机接收图形文件，并将所述图形文件处理为图形数据，并将所述图形数据传递至所述数字微镜器件组件，以使得所述数字微镜器件组件根据所述图形数据进行空间光调制。


4.根据权利要求3所述的直接成像光学设备，其特征在于，所述数字微镜器件组件包括：
数字微镜器件芯片，所述数字微镜器件芯片包括多个角度可调整的微镜片，所述数字微镜器件组件通过数字微镜器件芯片接收所述平行光并通过调整所述微镜片的角度实现所述空间光调制。


5.根据权利要求4所述的直接成像光学设备，其特征在于，所述数字微镜器件组件还包括：
芯片控制器，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：祝锁，陶帅洋，熊让安，曹葵康，温延培，
申请(专利权)人：苏州天准科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32