一种共用驱动轴的多级真空泵制造技术

本发明专利技术公开了一种共用驱动轴的多级真空泵，包括多个真空驱动腔串联或并联连接形成多级真空驱动腔，每个独立的真空驱动腔内设置至少一转子，第一级真空驱动腔的入口直通大气，其中至少有两个真空驱动腔以一共用驱动轴驱动，其中该共用驱动轴包括至少两个分离驱动轴。所述多个真空驱动腔组成的真空泵可以是采用共轴的多级泵，例如多级罗茨泵，采用单一电机驱动，也可以是至少一个非共轴真空驱动腔均采用独立或共享的驱动电机驱动。由于采用分段式驱动轴，每个真空腔内的一对叶轮及轴的热胀冷缩不会被传递到轴向相邻的另外的真空腔室，也不会受到轴向相邻腔室热胀冷缩的影响。

【技术实现步骤摘要】
一种共用驱动轴的多级真空泵
本专利技术涉及真空泵领域，尤其涉及一种包括至少一共用驱动轴的多级真空泵。
技术介绍
在真空
中，可以直接排大气且形成真空的设备主要有液环泵，直排大气气冷罗茨真空泵、喷射泵（含蒸汽喷射泵，水喷泵）、滑阀泵、往复泵、旋片式真空泵（分为油式旋片真空泵和无油干式旋片真空泵）、螺杆式真空泵、爪式真空泵、多级罗茨真空泵、涡旋式真空泵等。而普通罗茨真空泵能够形成较高真空，但排气压力不能够达到直排大气的压力，必须配备上述的真空泵作为前级泵才能够正常安全的运行。还有罗茨式气冷泵虽然可以直排大气,但由于必须引回已排出气体冷却后再回到泵腔里,导致效率降低、功耗和噪音很大，最高工作真空度只有约2万帕。从节能减排、环境保护角度说，干式泵是未来发展的大趋势。但是干式真空泵虽然不会产生大量的废水，废油，对于环境的影响比非干式真空泵来说要小的多，但现市场上的各种类型的干式真空泵存在着很多先天性的不足之处，制约着其更广泛的使用。为了解决现有技术上有关真空泵的问题，专利技术人提出一种多驱动腔非共轴真空泵，包括多个独立的真空驱动腔，所述多个真空驱动腔串联连接形成多级真空驱动腔，每个独立的真空驱动腔内设置一对独立的转子，其特征在于所述多个真空驱动腔的气量主流方向与转子驱动轴形成垂直或30~90度大夹角，第一级真空驱动腔的入口直通大气，所述多个真空驱动腔全部或部分不共轴,所有不共轴的真空腔均采用独立的驱动电机驱动，所述多个真空驱动腔从上至下依次叠放成串联连接的多级真空驱动腔，下一级真空驱动腔的吸入口与上一级真空驱动腔的排气口连接，每级真空驱动腔的吸入口均位于上方，排气口均位于下方，真空驱动腔的两侧分别设有冷却水腔，每一个真空驱动腔的下方还设置一个夹套水层。但是上述现有技术中的真空泵虽然可以解决环境保护上的一些问题，但是当多级真空驱动腔使用共用驱动轴时，由于共用驱动轴的冷缩热胀导致每个真空腔内的叶轮/轴都会因为相邻真空腔热胀冷缩造成叶轮及轴的膨胀或缩短的问题。因此本专利技术的专利技术人为了改进上述问题，提出本专利技术以使得多级真空泵的共用驱动轴可以传动扭力，而且可以消除热胀冷缩导致的此一真空驱动腔的驱动轴对于另一相连接的真空驱动腔的驱动轴的轴向影响。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种包括至少一共用驱动轴的多级真空泵，该多级真空泵是一款能够承受一定粉尘、一定腐蚀、便于维护、抽气量大的干式真空泵。根据本方案的优选实施例，所述多个真空驱动腔从上至下依次叠放成串联连接的多级真空驱动腔，下一级真空驱动腔的吸入口与上一级真空驱动腔的排气口连接，每级真空驱动腔的吸入口均位于上方，排气口均位于下方，或侧面，每一个真空驱动腔都采用独立的电机驱动。为了实现上述目的，本专利技术提出一种包括至少一共用驱动轴的多级真空泵，包括多个独立的真空驱动腔，所述多个真空驱动腔串联或并联连接形成多级真空驱动腔，每个独立的真空驱动腔内设置至少一转子，第一级真空驱动腔的入口直通大气或前级装置；其中至少有两个真空驱动腔以一共用驱动轴驱动，其中该共用驱动轴包括至少两个分离驱动轴。优选的，以该共用驱动轴驱动的至少两个真空驱动腔，分别为一第一真空驱动腔及一第二真空驱动腔，该共用驱动轴包括一第一分离驱动轴和一第二分离驱动轴，该第一分离驱动轴位于第一真空驱动腔内，该第二分离驱动轴位于第二真空驱动腔内，其中该第一分离驱动轴与该第二分离驱动轴以第一连接件连接，且该第一分离驱动轴与该第二分离驱动轴间隔一段距离。进一步优选的，该共用驱动轴还包括一第三分离驱动轴，该第一分离驱动轴位于该第二分离驱动轴的一侧，且该第三分离驱动轴位于该第二分离驱动轴的另一侧，该第二分离驱动轴与该第三分离驱动轴以第二连接件连接。更进一步优选的，该第三分离驱动轴连接一驱动电机的电机轴。进一步优选的，该第一真空驱动腔内还包括一第一被动轴，该第一被动轴连接一第一齿轮；其中该第一分离驱动轴连接一第二齿轮；该第一齿轮啮合该第二齿轮。进一步优选的，该第二真空驱动腔内还包括一第二被动轴，该第二被动轴连接一第三齿轮；其中该第二分离驱动轴连接一第四齿轮；该第三齿轮啮合该第四齿轮。优选的，多个该真空驱动腔组成的该真空泵为共轴的多级泵。进一步优选的，该真空泵为多级罗茨泵或螺杆式真空泵或多级爪式真空泵。优选的，该真空泵为至少有一个共轴的非共轴多级真空泵。在实际应用中，根据实际需求，本专利技术可能选择的多级真空腔可能为2、3、4、5、6甚至更多级。其驱动电机可能通过传动装置共享动力，也可能电机与真空腔个数一一对应。根据本专利技术的优选实施例，真空驱动腔采用罗茨泵设计，真空驱动腔可采用定频或变频驱动电机驱动，即其转子驱动轴与定频或变频驱动电机连接。附图说明图1为本专利技术的原理图。图2为本专利技术一种不完全共轴实施例的结构示意图。图2-1为图2的另一实施例。图3为同轴真空驱动腔剖视图。图4为本专利技术另一不完全共轴实施例的结构示意图。图5为图4的剖视图。图5-1为图5的另一实施例。具体实施方式本专利技术的包括至少一共用驱动轴的多级真空泵也是采用多级压缩，原理是在该真空泵腔内由若干个独立的真空驱动腔（视实际需要决定采用多少个真空驱动腔模块），每一个独立的真空室都有一对独立的罗茨转子。见图1，在该实施例中，共包括四个真空驱动腔，分别是1级真空驱动腔1，2级真空驱动腔2，3级真空驱动腔3和4级真空驱动腔4，其原理是：多驱动腔体非共轴真空泵吸入口5达到1mbar的极限真空时，排气口为20mbar，压缩比大约在20倍，2级真空驱动腔的排气口为120mbar，压缩比大约在6倍左右，3级真空驱动腔的排气口为360mbar，压缩比大约在3倍左右，4级真空驱动腔的排气口6为1080mbar，压缩比大约也在3倍左右，实际项目中，则是根据不同需求，对独立的泵腔进行设计，实现不同的压缩比。当入口有负载时，则吸入口的真空度低于1mbar，则每一个相邻的真空驱动腔室的压缩比也会相应的变小（总的压缩比变小了）。上述的压缩比主要依据每一个真空驱动腔可以承受的热量和消耗功率，越是高真空环境下，压缩比虽然高，但压缩气体的质量流量较低（同等体积下），累积的热量较低（主要受到散热影响），消耗的功率也较小，所以此时压缩比可以较大。在粗真空环境下，压缩气体的质量流量较高（同等体积下），累积的热量较大（散热影响较小），消耗的功率也较大，所以此时压缩比要尽可能的小。从装置原理图来看该实施例的可变速变容干式真空泵的1级真空驱动腔的转子的旋转方向与3级真空驱动腔室的转子方向一致（1、3真空驱动腔的驱动轴为同一根轴），但与2级真空驱动腔室和4级真空驱动腔室的转子旋转方向正好相反（2、4真空驱动腔的驱动轴为同一根轴），所以这四个真空驱动腔室的驱动轴不在同一个轴上，这个与现有多级罗茨真空泵，爪式真空泵，螺杆式真空泵是完全不同的。为了进一步优化运行效果，本专利技术还提出个别或全部真空驱动腔室的变频驱动方式，随时间本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种共用驱动轴的多级真空泵，包括多个独立的真空驱动腔，所述多个真空驱动腔串联或并联连接形成多级真空驱动腔，每个独立的真空驱动腔内设置至少一转子，其特征在于，第一级真空驱动腔的入口直通大气或前级装置；/n其中至少有两个真空驱动腔以一共用驱动轴驱动，其中该共用驱动轴包括至少两个分离驱动轴。/n

【技术特征摘要】
1.一种共用驱动轴的多级真空泵，包括多个独立的真空驱动腔，所述多个真空驱动腔串联或并联连接形成多级真空驱动腔，每个独立的真空驱动腔内设置至少一转子，其特征在于，第一级真空驱动腔的入口直通大气或前级装置；
其中至少有两个真空驱动腔以一共用驱动轴驱动，其中该共用驱动轴包括至少两个分离驱动轴。


2.如权利要求1所述的共用驱动轴的多级真空泵，其特征在于，以该共用驱动轴驱动的至少两个真空驱动腔，分别为一第一真空驱动腔及一第二真空驱动腔，该共用驱动轴包括一第一分离驱动轴和一第二分离驱动轴，该第一分离驱动轴位于第一真空驱动腔内，该第二分离驱动轴位于第二真空驱动腔内，其中该第一分离驱动轴与该第二分离驱动轴以第一连接件连接，且该第一分离驱动轴与该第二分离驱动轴间隔一段距离。


3.如权利要求2所述的共用驱动轴的多级真空泵，其特征在于，该共用驱动轴还包括一第三分离驱动轴，该第一分离驱动轴位于该第二分离驱动轴的一侧，且该第三分离驱动轴位于该第二分离驱动轴的另一侧，该第二分离驱动轴与该第三分离驱动轴以第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：潇然，
申请(专利权)人：上海伊莱茨真空技术有限公司，潇然，苏州伊莱茨流体装备有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31