泵、及涂布装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够抑制收纳在收纳室的流动体中产生气泡的泵、及涂布装置。实施方式的泵具备：收纳室，能够收纳流动体；清洗室，设置在所述收纳室的与喷出所述流动体的侧为相反侧，收纳清洗液的空间的体积能够变化；及连杆，一端部设置在所述清洗室的内部，且另一端部设置在所述收纳室的内部。

【技术实现步骤摘要】
泵、及涂布装置相关申请案的引用本申请案以2019年3月20日申请的先前的日本专利申请案第2019-52314号的优先权的利益为基础，且请求其利益，并将其全体内容通过引用而包含于此。
本专利技术的实施方式涉及泵、及涂布装置。
技术介绍
有在基板等对象物之上涂布流动体的涂布装置。此种涂布装置具备供给流动体的泵。用于涂布装置的泵有注射泵、隔膜泵、齿轮泵等，但在对象物与喷嘴之间的相对速度变化的情况下等，存在使用喷出响应性或定流量性等优异的注射泵的情况。此处，当使设置在注射泵的连杆往复动作时，连杆侧面的微细凹凸上附着的流动体暴露在外部气体中。当附着在连杆侧面的流动体因暴露于外部气体而固化时，有在将连杆插入至收纳室的内部时固化物剥落而混入至流动体的顾虑。由于混入至流动体的固化物成为杂质，所以有形成的膜的品质降低的顾虑。此外，有在使连杆往复动作时外部气体被夹带入收纳室的内部而导致在收纳于收纳室的流动体中产生气泡。当在流动体中有气泡时，存在喷出响应性或定流量性等变差的顾虑。因此，提出如下技术，即，设置连接于收纳室的清洗室，经由清洗室将连杆插入至收纳室的内部。然而，在抑制气泡产生的方面有改善的余地。本专利技术所要解决的课题是提供能够抑制收纳在收纳室的流动体中产生气泡的泵、及涂布装置。
技术实现思路
实施方式的泵具备：收纳室，能够收纳流动体；清洗室，设置在所述收纳室的与喷出所述流动体的侧为相反侧，且收纳清洗液的空间的体积能够变化；及连杆，一端部设置在所述清洗室的内部，另一端部设置在所述收纳室的内部。附图说明图1是用以例示本实施方式的涂布装置的示意图。图2是用以例示本实施方式的泵的示意截面图。图3是用以例示比较例的泵的示意截面图。图4是用以例示另一实施方式的泵的示意截面图。图5是用以例示另一实施方式的泵的示意截面图。具体实施方式以下，参照图式对实施方式进行例示。另外，各图式中，对同样的构成要素附上同一符号并适当省略详细说明。图1是用以例示本实施方式的涂布装置100的示意图。图2是用以例示本实施方式的泵60的示意截面图。图3是用以例示比较例的泵360的示意截面图。如图1所示，能够在涂布装置100设置载置部10、喷嘴20、储槽30、排出部40、配管部50、泵60、及控制器70。载置部10的一面能够设为载置对象物200的载置面11。对象物200并无特别限定。例如图1所例示，对象物200也能够设为板状体。该情况下，对象物200也可为半导体晶片、玻璃基板等。此外，载置部10也可设为能够保持载置于载置面11的对象物200。例如，也可为载置部10具备静电吸盘、真空吸盘、机械吸盘等，通过这些吸盘保持对象物200的背面(与涂布流动体的侧为相反侧的面)或对象物200的侧面等。此外，能够在载置部10设置使相对于喷嘴20的位置变化的驱动部12。例如，载置部10也可为具备电动机的XY载台、具备电动机的旋转载台、具备电动机的输送器等。但是，只要能够使载置部10(对象物200)与喷嘴20的相对性的位置变化即可，因此驱动部12能够设置在载置部10及喷嘴20的至少任一者。例如，也可在单轴机器人、双轴机器人、多轴机器人等的臂部设置喷嘴20。喷嘴20能够连接在泵60的喷出流动体201的开口61b。喷嘴20将供给的流动体201向载置在载置部10的对象物200喷出。流动体201只要为能够通过泵60供给者则并无特别限定。流动体201能够设为例如粘接剂、涂料、墨水、光阻、化学液等处理液等。此外，后述的清洗液202只要为能够将流动体201中所含的物质溶解者则并无特别限定。清洗液202能够设为例如流动体201中所含的溶剂等。喷嘴20能够具有喷出口21、供给口22、及流路23。喷出口21能够设置在喷嘴20的载置面11侧的端部。喷出口21只要为能够对特定范围供给流动体201者则并无特别限定。例如，喷出口21能够设为孔或狭缝等。喷嘴20也可为所谓的针形喷嘴或狭缝喷嘴等。供给口22能够设置在例如喷嘴20的与载置面11侧为相反侧的端部或喷嘴20的侧面等。能够在供给口22连接用以连接配管的配管接头等。流路23设置在喷嘴20的内部，连接喷出口21与供给口22。流路23能够设为将从供给口22供给的流动体201引导至喷出口21的空间。喷嘴20的材料并无特别限定，只要对流动体201具有耐受性即可。喷嘴20能够设为包含例如不锈钢或氟树脂等者。喷嘴20的数量或配置等无特别限定，能够根据对象物200的大小、流动体201的涂布范围、粘度等流动体201的性质等而适当变更。在设置有多个喷嘴20的情况下，能够针对多个喷嘴20的每一者设置泵60，也能够针对每特定组的喷嘴20设置泵60，也能够针对多个喷嘴20设置1个泵60。储槽30能够在内部收纳流动体201。储槽30的材料只要为对流动体201有耐受性、且具有某程度的刚性者则并无特别限定。储槽30能够设为包含例如不锈钢或氟树脂等者。排出部40能够设为将存在于储槽30或泵60的内部的残余的流动体201排出者。排出部40能够设为例如废液箱、工厂配管、排水盘等。配管部50能够具有切换阀51、切换阀52、及开关阀53。切换阀51、切换阀52、及开关阀53能够设为电磁阀。切换阀51、切换阀52、及开关阀53能够通过控制器70控制。另外，也能够根据需要，配管部50进而具备流量调整阀、压力调整阀、过滤器等要素。切换阀51能够设为例如三向阀。能够在切换阀51的第1埠51a经由配管54a而连接储槽30。能够在第2埠51b经由配管54b而连接泵60。能够在第3埠51c经由配管54c而连接切换阀52的第1埠52a。切换阀51能够通过切换第1埠51a、第2埠51b、及第3埠51c的开关状态而切换流动体201的供给流路。切换阀52能够设为例如三向阀。能够在切换阀52的第2埠52b经由配管54d而连接喷嘴20的供给口22。能够在第3埠52c经由配管54e而连接开关阀53的第1埠53a。切换阀52能够通过切换第1埠52a、第2埠52b、及第3埠52c的开关状态而切换流动体201的供给流路。开关阀53能够设为例如双向阀。能够在开关阀53的第2埠53b连接配管54f。存在于储槽30或泵60的内部的残余的流动体201能够经由配管54f排出至排出部40。开关阀53能够通过切换开关状态而切换流动体201的供给与供给的停止。泵60能够将流动体201供给至喷嘴20。泵60能够设为所谓的注射泵。另外，关于泵60的详细内容将进行后述。控制器70能够具有储存控制程序的存储部与执行控制程序的运算部。存储部能够设为例如半导体存储器或硬盘等。运算部能够设为例如CPU(CentralProcessingUnit，中央处理器)等。另外，能够根据需要，控制器70进而具备输入部及输出部等。输入部能够设为例如操作者输入制程条件等的键盘或鼠标等。输出部能够设为例如显示涂布装置100的动作状态、制本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种泵，具备：收纳室，能够收纳流动体；清洗室，设置在所述收纳室的与喷出所述流动体的侧为相反侧，且收纳清洗液的空间的体积能够变化；及连杆，一端部设置在所述清洗室的内部，且另一端部设置在所述收纳室的内部。/n

【技术特征摘要】
20190320 JP 2019-0523141.一种泵，具备：收纳室，能够收纳流动体；清洗室，设置在所述收纳室的与喷出所述流动体的侧为相反侧，且收纳清洗液的空间的体积能够变化；及连杆，一端部设置在所述清洗室的内部，且另一端部设置在所述收纳室的内部。


2.根据权利要求1所述的泵，其中所述清洗室能够在所述收纳室与所述清洗室排列的方向伸缩，所述连杆能够伴随所述清洗室的伸缩而在所述收纳室与所述清洗室排列的方向移动。


3.根据权利要求1所述的泵，其中所述清洗室的与所述收纳室侧为相反侧的端部能够在所述收纳室与所述清洗室排列的方向移动。


4.根据权利要求1至3中任一项所述的泵，其进而具备驱动部，该驱动...

【专利技术属性】
技术研发人员：大城健一，杉本雄太，
申请(专利权)人：铠侠股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP