一种智能切换控制装置及磁控溅射镀膜设备制造方法及图纸

本公开披露一种智能切换控制装置及磁控溅射镀膜设备，属于阴极射线管技术领域，该智能切换控制装置包括：阴极控制开关组件，一端与两个或两个以上的磁控溅射阴极连接，另一端与一个阴极电源连接；气流控制开关组件，设置在用于磁控溅射的镀膜腔体和气体流量模组的连接通道上，气流控制开关组件一端与一个气体流量模组连接，另一端与两个或两个以上的镀膜腔体连接；切换控制系统，与阴极控制开关组件及气流控制开关组件连接，通过发出的控制信号来控制阴极控制开关组件与气流控制开关组件，以开启和切换需要控制的磁控溅射阴极。通过实施本公开的技术方案，可同时连接两个或两个以上的磁控溅射阴极，并同时切换控制对应的阴极电源和气体流量模组。

【技术实现步骤摘要】
一种智能切换控制装置及磁控溅射镀膜设备
本公开涉及阴极射线管
，尤其涉及一种智能切换控制装置及磁控溅射镀膜设备。
技术介绍
对于磁控溅射镀膜设备来讲，阴极控制电源和工艺气体流量控制模组是不可缺少的组成部分。如图1所示，传统的磁控溅射控制系统中，控制一个磁控溅射阴极需要配备一个阴极控制电源、一套工艺气体流量控制模组。然而，在一条镀膜生产线中，需要用到几个到几十个不等的磁控溅射阴极，在工作过程中，会根据不同的镀膜工艺需要，开启不同的阴极；而往往阴极不需要同时开启，于是总有一些阴极控制电源和工艺气体流量计处于待机状态，因而造成了成本和能源上的一些浪费。
技术实现思路
有鉴于此，本公开提供一种智能切换控制装置及磁控溅射镀膜设备，可以同时连接两个或两个以上的磁控溅射阴极，并同时切换控制对应的阴极电源和气体流量模组，至少部分解决现有技术中存在的问题。为解决上述技术问题，本公开披露一种智能切换控制装置，该装置包括：阴极控制开关组件，一端与两个或两个以上的磁控溅射阴极连接，另一端与一个阴极电源连接；气流控制开关组件，设置在用于磁控溅射的镀膜腔体和气体流量模组的连接通道上，所述气流控制开关组件一端与一个气体流量模组连接，另一端与两个或两个以上的所述镀膜腔体连接；切换控制系统，与所述阴极控制开关组件及所述气流控制开关组件连接，通过发出的控制信号来控制所述阴极控制开关组件与所述气流控制开关组件，以开启和切换需要控制的所述磁控溅射阴极。作为一种可选的实现方式，上述切换控制系统可包括：本地控制器，与至少一组所述阴极控制开关组件及至少一组所述气流控制开关组件本地连接。作为一种可选的实现方式，上述切换控制系统可包括：远程控制器，与至少一组所述阴极控制开关组件及至少一组所述气流控制开关组件远程通信连接，所述阴极控制开关组件及所述气流控制开关组件配置有与所述远程控制器进行通信的终端通信模组。作为一种可选的实现方式，上述切换控制系统可包括：本地控制从站，与至少一组所述阴极控制开关组件及至少一组所述气流控制开关组件本地连接；远程控制主机，与所述至少一个本地控制从站通信连接，用于向所述本地控制从站发出控制信号。作为一种可选的实现方式，上述切换控制系统进一步包括：存储器，用于存储所述阴极控制开关组件、所述气流控制开关组件与所述磁控溅射阴极的身份信息、位置信息以及相互对应的控制关系信息；显示器，用于提供操作接口，供用户选择需要控制的磁控溅射阴极，获取组成控制信号的指令信息；处理器，用于根据所述指令信息，生成控制信号；自动控制组件，用于根据所述控制信号，向对应的所述阴极控制开关组件和所述气流控制开关组件发出所述控制信号，使对应的所述磁控溅射阴极的电源接通时，其所在的镀膜腔体内接通所述气体流量模组。作为一种可选的实现方式，上述主机通信模组还用于接收所述阴极控制开关组件和/或所述气流控制开关组件的反馈信号；所述显示器还用于根据所述反馈信号获取所述阴极控制开关组件和/或所述气流控制开关组件的实际控制的所述磁控溅射阴极的身份信息，并显示为用户可识别的阴极身份和/或位置编号信息。作为一种可选的实现方式，上述存储器还用于存储预设的磁控溅射镀膜工艺流程；上述自动控制组件还用于：根据预设的磁控溅射镀膜工艺流程，调取待控制的所述磁控溅射阴极对应的所述阴极控制开关组件和所述气流控制开关组件的相关信息，自动识别并控制所述阴极控制开关组件和所述气流控制开关组件的开关和切换。作为一种可选的实现方式，上述阴极控制开关组件包括两个或两个以上的控制开关和驱动电机；所述驱动电机与所述两个或两个以上的控制开关连接，一个所述控制开关设置在至少一条所述磁控溅射阴极和与其对应的所述阴极电源的连接线路上。作为一种可选的实现方式，上述控制开关为中频负荷开关；所述驱动电机通过联轴器搬动所述中频负荷开关，所述联轴器使一个所述中频负荷开关吸合，另一个所述中频负荷开关断开。作为一种可选的实现方式，上述气流控制开关组件进一步包括：两个或两个以上的电磁阀，一个所述电磁阀设置一条所述气体流量模组和所述镀膜腔体的连接通道上；交流变直流开关电源，与两个或两个以上的电磁阀连接；其中，在所述交流变直流开关电源与每个所述电磁阀的连接线路上设置有继电器；所述继电器根据所述控制信号控制所对应连接的所述电磁阀的通断电；在所述电磁阀通电时，所述气体流量模组与所述镀膜腔体的连接通道开启，使工艺气体充入相应的所述镀膜腔体。相应地，本公开还披露一种磁控溅射镀膜设备，该设备包括：磁控溅射阴极、镀膜腔体、气体流量模组、以及至少一个前述任一种所述的智能切换控制装置；其中，一个所述镀膜腔体内设置有一个所述磁控溅射阴极，并连接一个所述气体流量模组，连接同一个所述镀膜腔体的所述磁控溅射阴极和所述气体流量模组形成一套镀膜工具；所述智能切换控制装置用于对应控制两套或两套以上的镀膜工具。与现有技术相比，本公开的技术方案可实现以下技术效果：本公开的智能切换控制装置通过本地和/或远程控制的智能切换方式，实现一套阴极控制电源、一套工艺气体流量控制模组，可以同时连接两个磁控溅射阴极。根据不同的生产工艺需求，智能控制开启相应的阴极，从而有效节省成本和能源，且方便操作。另外，在镀膜生产线中，可以根据工艺需要，应用多个本公开的智能切换控制装置，切换和控制不同位置的阴极，而多个智能切换控制装置中可配置一台远程控制主机，在一个显示操作界面当中，可以操作所有的阴极的供电和切换，进而极大的节省了成本和能源，让切换操作变得更加简单。附图说明为了更清楚地说明本公开实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。图1为常用的阴极控制原理的示意图；图2为本公开披露的智能切换控制装实施例的控制原理示意图；图3为本公开智能切换控制装置实施例中切换控制系统的控制方式示意图；图4为本公开智能切换控制装置实施例中切换控制系统的另一种控制方式示意图；图5为本公开智能切换控制装置实施例中切换控制系统的组成示意图；图6为本公开实施例中智能切换控制装置的阴极控制原理示意图；图7为本公开实施例中智能切换控制装置的组成示意图；图8为本公开智能切换控制装置与远程控制PLC主机连接示意图。具体实施方式下面结合附图对本公开实施例进行详细描述。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合；并且，基于本公开中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。需要说明的是，下文描述在所附权利要求书的范围内的实施例的各种方面。应显而易见，本文中本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种智能切换控制装置，其特征在于，包括：/n阴极控制开关组件，一端与两个或两个以上的磁控溅射阴极连接，另一端与一个阴极电源连接；/n气流控制开关组件，设置在用于磁控溅射的镀膜腔体和气体流量模组的连接通道上，所述气流控制开关组件一端与一个气体流量模组连接，另一端与两个或两个以上的所述镀膜腔体连接；/n切换控制系统，与所述阴极控制开关组件及所述气流控制开关组件连接，通过发出的控制信号来控制所述阴极控制开关组件与所述气流控制开关组件，以开启和切换需要控制的所述磁控溅射阴极。/n

【技术特征摘要】
1.一种智能切换控制装置，其特征在于，包括：
阴极控制开关组件，一端与两个或两个以上的磁控溅射阴极连接，另一端与一个阴极电源连接；
气流控制开关组件，设置在用于磁控溅射的镀膜腔体和气体流量模组的连接通道上，所述气流控制开关组件一端与一个气体流量模组连接，另一端与两个或两个以上的所述镀膜腔体连接；
切换控制系统，与所述阴极控制开关组件及所述气流控制开关组件连接，通过发出的控制信号来控制所述阴极控制开关组件与所述气流控制开关组件，以开启和切换需要控制的所述磁控溅射阴极。


2.根据权利要求1所述的智能切换控制装置，其特征在于，所述切换控制系统包括：
本地控制器，与至少一组所述阴极控制开关组件及至少一组所述气流控制开关组件本地连接；或者，
远程控制器，与至少一组所述阴极控制开关组件及至少一组所述气流控制开关组件远程通信连接，所述阴极控制开关组件及所述气流控制开关组件配置有与所述远程控制器进行通信的终端通信模组。


3.根据权利要求1所述的智能切换控制装置，其特征在于，所述切换控制系统包括：
本地控制从站，与至少一组所述阴极控制开关组件及至少一组所述气流控制开关组件本地连接；
远程控制主机，与所述至少一个本地控制从站通信连接，用于向所述本地控制从站发出控制信号。


4.根据权利要求1所述的智能切换控制装置，其特征在于，所述切换控制系统进一步包括：
存储器，用于存储所述阴极控制开关组件、所述气流控制开关组件与所述磁控溅射阴极的身份信息、位置信息以及相互对应的控制关系信息；
显示器，用于提供操作接口，供用户选择需要控制的磁控溅射阴极，获取组成控制信号的指令信息；
处理器，用于根据所述指令信息，生成控制信号；
自动控制组件，用于根据所述控制信号，向对应的所述阴极控制开关组件和所述气流控制开关组件发出所述控制信号，使对应的所述磁控溅射阴极的电源接通时，其所在的镀膜腔体内接通所述气体流量模组。


5.根据权利要求4所述的智能切换控制装置，其特征在于：
所述自动控制组件还用于接收所述阴极控制开关组件和/或所述气流控制开关组件的反馈信号；
所述显示器...

【专利技术属性】
技术研发人员：俞元坤，方焕斌，
申请(专利权)人：布勒莱宝光学设备北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11