超微量分析的取样瓶及其取样方法技术

本发明专利技术公开一种超微量分析的取样瓶及其取样方法，以有效防止超微量分析的前置取样污染。该方法至少包括步骤ａ）提供一取样瓶体，该取样瓶体上方具有一自该取样瓶体内部上方向外延伸的流出管路、一用以控制该出管路的流出控制阀、一自该取样瓶体上方向内延伸至该取样瓶体底部的流入管路、以及一用以控制该流入管路的流入控制阀；ｂ）连接该流入管路至一取样液管路，并连接该流出管路至一排流管路；ｃ）开启该流入控制阀与该流出控制阀，使一取样液自该取样液管路流入该取样瓶体，并自该取样瓶体底部向上填满该取样瓶体；ｄ）当该取样液填满该取样瓶体后，持续使该取样液自该流入管路导入该取样瓶体，并自该流出管路溢流而出；以及ｅ）关闭该流入控制阀与该流出控制阀，并将该取样瓶体与该取样液管路及该排流管路分离，以提供该取样瓶体内的该取样液进行超微量分析之用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术关于一种检测样品取样的取样瓶及其取样方法，特别是一种超微 量分析的取样瓶及其取样方法，以有效防制超微量分析的前置取样污染，并 符合经济效益与准确分析的需求。
技术介绍
微量分析技术一般广泛用于化学品的品管规范，尤其对于目前整个IC或光电产业而言，所用到的纯水化学品与气体，其纯度与微量不纯物是在极低的范围(ppb以下)，超过规范的化学品会对产品的良率造成不可预期的影 响。而在超微量分析领域中，检测物的浓度更在sub-ppb等级以下(即ppt 等级)。然而在人类所生活的大气环境中，或多或少都有一些金属、离子及 有机不纯物散布于环境中。在这样的取样环境与过程中这些不纯物往往会污 染所取样的检测样品。在过去微量分析(ppb等级)方法中，这些环境所造 成的污染是可忽略的，但现今超微量分析领域中(所订定的检测标准规格甚 至在1 ppt以下)，这些背景环境的微污染则将会严重影响超微量分析的准确 性。以超纯净水(Ultra Pure Water, UPW)的取样为例，传统的直接取样方式并 不适用于超微量分析作业。因为传统的直接取样方式，以所需取样的水源 101,先行反复冲洗取样瓶至少三次后，再以取样的水源装满该取样瓶102, 加盖封存，并利用ICP-MS&IC进行超微量不纯物的检测，如图1所示。然 而利用这种传统直接取样方式在取样时，所采得的检测样品会与取样环境的 空气接触，造成检测样品污染，就超微量分析(ppt等级)而言，这些微污染 严重影响超^t量分析的准确性。因此如何降低取样时的微污染往往为各超微量分析实验室的重要课题。 为了避免与取样环境的空气接触，遂有 一些超微量分析的取样多于密闭洁净 拒中进行，以有效降低取样时的微污染，如图2所示。在一洁净柜中先导入 外气，而该外气经水洗、微尘(ULPA过滤器)过滤等处理后形成洁净气体存在于该洁净拒，尔后再在该洁净拒内进行取样工作，则取样时的污染较少， 不易污染样品。但在实际应用时，开门取样时外气的进入、取样手套的洁 净度仍会影响分析的准确度。另一方面，洁净拒本身的造价高，体积大且移 动不便，故其实际取样的方便性较差。同样地，若以洁净拒配合操作手套形成手套箱组合，如图3所示，其内通入高纯度的氮气(AN2),防止外气进入 洁净拒内，使得拒内为高纯度纯氮环境。其取样动作以取样手套进行，虽可 隔绝不与外气接触避免污染，但由于该系统需外接高纯度氮气，所以通用性 不高。当然设备本身的造价高、体积大且移动不便，且便利性较差无法普遍 应于超微量分析的取样工作。
技术实现思路
本专利技术的主要目的为提供一种超微量分析的取样装置。借由以完全密闭 的方式进行取样，可完全隔绝环境的污染，有效防制超微量分析的前置取样 污染，并符合经济效益与准确分析的需求。为达前述目的，本专利技术提供一种超微量分析的取样装置，包括一取样瓶 体，具有一装载空间； 一旋锁盖体，旋锁固定于该取样瓶体之上，用以封存 该装载空间； 一流入管路，设置在该旋锁盖体之上，其一端通过该旋锁盖体 向该取样瓶体内部延伸至该取样瓶体的底部，而另 一端则用以与 一取样液管 路连接，将一取样液导入该装载空间； 一流入控制阀，设置在该流入管路上， 用以控制该流入管路的开闭； 一流出管路，设置在该旋锁盖体之上，其一端 置于该旋锁盖体而不向该取样瓶体的该装载空间延伸，而另 一 端则用以与一 排流管路连接，将溢流的该取样液排出该装载空间；以及一流出控制阀，设 置在该流出管路上，用以控制该流出管路的开闭。根据上述构想，其中该取样液为 一超纯净水(Ultra Pure Water, UPW)或热 超纯净水(Hot Ultra Pure Water, HUPW)。根据上述构想，其中该超微量分析为一 ICP-MS&IC检测。根据上述构想，其中该流入管路与该取样液管路以螺旋安装方式(Screw Fitting)接合固定。根据上述构想，其中该流出管路与该排流管路以螺旋安装方式(Screw Fitting)接合固定。根据上述构想，其中该流入控制阀与该流出控制阀均为一双向阀。根据上述构想，其中该取样瓶体与该旋锁盖体由聚四氟乙烯(Perfluoroalkoxy, PFA)或聚二氟乙烯PVDF、聚丙烯PP、聚乙烯PE、高密 度聚乙烯HDPE等材质所构成。本专利技术的另 一 目的为提供一种超微量分析的取样方法。借由以完全密闭 的方式进行取样，可完全隔绝环境的污染，有效防制超微量分析的前置取样 污染，并符合经济效益与准确分析的需求。为达前述目的，本专利技术提供一种超微量分析的取样方法，其步骤包括 a)提供一取样瓶体，该取样瓶体上方具有一 自该取样瓶体内部上方向外延伸 的流出管路、 一用以控制该流出管路的流出控制阀、 一 自该取样瓶体上方向 内延伸至该取样瓶体的内底的流入管路、以及一用以控制该流入管路的流入 控制阀；b)连接该流入管路至一取样液管路，并连接该流出管路至一排流 管路；c)开启该流入控制阀与该流出控制阀，使一取样液自该取样液管路流 入该取样瓶体，并自该取样瓶体底部向上填满该取样瓶体；d)当该取样液 填满该取样瓶体后，持续使该取样液自该流入管路导入该取样瓶体，并自该 流出管路溢流而出；以及e)关闭该流入控制阀与该流出控制阀，并将该取 样瓶体与该取样液管路及该排流管路分离，以提供该取样瓶体内的该取样液进行超微量分析之用。根据上述构想，其中该取样液为 一超纯净水(Ultra Pure Water, UPW)或 热超纯净水(Hot Ultra Pure Water, HUPW)。根据上述构想，其中该超微量分析为一 ICP-MS&IC检测。根据上述构想，其中该步骤d)持续20至40分钟。根据上述构想，其中该流入管路与该取样液管路以螺旋安装方式(Screw Fitting)接合固定。根据上述构想，其中该流出管路与该排流管路以螺旋安装方式(Screw Fitting)接合固定。根据上述构想，其中该流入控制阀与该流出控制阀均为 一双向阀。根据上述构想，其中该取样瓶体更具有一旋锁盖体。根据上述构想，其中该取样瓶体由聚四氟乙烯(Perfluoroalkoxy, PFA)或 聚二氟乙坶PVDF、聚丙烯PP、聚乙烯PE、高密度聚乙烯HDPE等材质所 构成。本专利技术并不受限于以上所述的特征。本专利技术的其他特征叙述于下。附图说明图1:为传统直接取样示意图。图2:为传统在洁净拒中取样的示意图。图3:为传统在手套箱中取样的示意图。图4:为本专利技术一优选实施例的取样装置结构。图5(a)至图5(e):公开本专利技术一优选实施例的超微量分析的取样方法。主要附图符号说明101水源102取样瓶31取样瓶体311装载空间32旋锁盖体33流入管路331流入管路下端332流入管路上端34流入控制阀35流出管路351流出管路下端352流出管路上端36流出控制阀41取样液管路411取样液42. 排流管路具体实施例方式本段落所叙述的实施例是解释本专利技术，但不限制本专利技术。本专利技术不限定 于特殊材料、处理步骤或尺寸。请参阅图4，其公开本专利技术一优选实施例的取样装置结构。如图所示， 本专利技术超微量分析的取样装置，包括一取样瓶体31,具有一装载空l'i 311; 一旋锁盖体32,旋锁固定于该取样瓶体31之上，用以封本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超微量分析的取样方法，其步骤包括：ａ）提供一取样瓶体，该取样瓶体上方具有一自该取样瓶体内部上方向外延伸的流出管路、一用以控制该流出管路的流出控制阀、一自该取样瓶体上方向内延伸至该取样瓶体内的流入管路、以及一用以控制该流入管路的流入控制阀；ｂ）连接该流入管路至一取样液管路，并连接该流出管路至一排流管路；ｃ）开启该流入控制阀与该流出控制阀，使一取样液自该取样液管路流入该取样瓶体，并自该取样瓶体底部向上填满该取样瓶体；ｄ）当该取样液填满该取样瓶体后，持续使该取样液自该流入管路导入该取样瓶体，并自该流出管路溢流而出；以及ｅ）关闭该流入控制阀与该流出控制阀，并将该取样瓶体与该取样液管路及该排流管路分离，以提供该取样瓶体内的该取样液进行超微量分析之用。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：丁慧敏，杜建兴，
申请(专利权)人：力晶半导体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[]