一种MPCVD金刚石合成设备供水保护系统及方法技术方案

本发明专利技术的一种MPCVD金刚石合成设备供水保护系统及方法，包括冷水机、管道、MPCVD金刚石合成设备，所述冷水机通过管道与MPCVD金刚石合成设备组成冷水循环回路，还包括控制系统，所述控制系统包括水温测量装置、水压测量装置、水流量测量装置、报警装置和控制中心，所述水温测量装置、水压测量装置、水流量测量装置设于冷水循环回路上,所述控制中心设有输入端和输出端，所述输入端与水温测量装置、水压测量装置、水流量测量装置电连接，所述输出端与报警装置电连接。在MPCVD金刚石合成设备工作过程中，可通过对MPCVD合成设备冷却水各主要技术参数的实时监控，及时发现冷却水的各类异常状况，并根据异常状态进行调节以保障设备在最佳状态工作。

【技术实现步骤摘要】
一种MPCVD金刚石合成设备供水保护系统及方法
本专利技术涉及智能制造领域，特别涉及一种MPCVD金刚石合成设备供水保护系统。
技术介绍
MPCVD金刚石合成过程需要利用冷却水对微波电源、微波头、反应腔体、水负载、基板台等多个模块和部件进行冷却或吸收反射微波功率，因此保障冷却水的安全供应是MPCVD金刚石合成设备正常工作的重要前提。由于目前MPCVD金刚石合成设备的智能化程度较低，无法对冷却水的供应情况进行实施监测和处置，因此设备的安全使用，特别是设备在无人值守情况下的安全使用存在重大隐患。
技术实现思路
本专利技术为了克服现有技术的缺点，提出一种MPCVD金刚石合成设备供水保护系统及方法，通过控制系统，实现冷水循环回路关键技术参数的监控，在冷水循环回路发生故障时进行分级别处理，在发生重大故障时及时切断微波电源供电甚至是设备供电，保障设备安全。本专利技术的一种MPCVD金刚石合成设备供水保护系统，包括冷水机、管道、MPCVD金刚石合成设备，所述冷水机通过管道与MPCVD金刚石合成设备组成冷水循环回路，还包括控制系统，所述控制系统包括水温测量装置、水压测量装置、水流量测量装置、报警装置和控制中心，所述水温测量装置、水压测量装置、水流量测量装置设于冷水循环回路上,所述控制中心设有输入端和输出端，所述输入端与水温测量装置、水压测量装置、水流量测量装置电连接，所述输出端与报警装置电连接。进一步具体地，所述冷水机上设有第一进水口和第一出水口，所述MPCVD金刚石合成设备上设有第二进水口和第二出水口，所述第一进水口、第一出水口分别通过管道与第二出水口、第二进水口连通，所述水温测量装置、水压测量装置、水流量测量装置设于第二进水口与管道之间。进一步地，所述冷水机与控制中心通讯连接。具体地，所述冷水机与控制中心的通讯方式为串口通讯或USB通讯。进一步地，还包括供电管理系统，所述供电管理系统上设有设备总电源管理模块、微波电源管理模块、冷水机电源管理模块，所述设备总电源管理模块与控制中心电连接，所述微波电源管理模块与控制中心电连接，所述微波电源管理模块还与MPCVD金刚石合成设备的微波头电连接，所述冷水机电源管理模块与冷水机和控制中心电连接。进一步地，所述设备总电源管理模块、微波电源管理模块、冷水机电源管理模块为继电器或可控硅。更进一步地，所述冷水循环回路上还设有调节阀，所述调节阀与控制中心电连接。进一步优选地，所述调节阀设于第一出水口与管道之间。进一步地，所述报警装置为蜂鸣器、三色灯、发光二极管中的任一种。进一步优选地，所述报警装置为三色灯。进一步地，所述控制中心包括控制计算机和信号接收处理模块。根据控制系统采用的保护方法，包括以下步骤：S1、开启冷水机、MPCVD金刚石合成设备、控制系统，所述冷水机与MPCVD金刚石合成设备组成冷水循环回路，所述控制系统监测冷水循环回路中的冷却水状态是否正常，若不正常进入步骤S2；S2、通过控制系统对MPCVD金刚石合成设备进行保护。进一步地，所述冷却水状态包括冷却水的水温、水压、水流量。更进一步具体地，步骤S2中，所述控制系统若监测冷却水水温出现异常后，通过控制中心向冷水机发送相应指令进行温度调节，若通过冷水机无法将水温调节至正常工作范围，控制中心对微波头电源功率进行相应调节，并通过报警装置发送报警信号进行提醒；所述控制系统若监测冷却水水压出现异常后，通过控制中心向冷水机发送相应指令进行水压调节，若通过冷水机无法将水压调节至正常工作范围，控制中心将关闭微波头电源，并保持冷水机工作，同时通过报警装置进行提醒；所述控制系统若监测冷却水水流量出现异常后，通过控制中心向冷水机或调节阀发送相应指令进行水流量调节，若无法将水流量调节至正常工作范围，控制中心将关闭微波头电源，并保持冷水机工作，同时通过报警装置进行提醒。更进一步地，所述控制系统若监测冷却水水压出现大于70Kpa的压力下降时，立即关闭MPCVD金刚石合成设备总电源和冷水机电源。具体地，所述控制中心监控冷水机的出水温度在20-28℃。具体地，所述控制中心监控冷水机的出水压力252.5-383.8KPa。具体地，所述控制中心监控冷水机的出水流量40-60L/min。本MPCVD金刚石合成设备供水保护系统及方法有以下特点：1、在MPCVD金刚石合成设备工作过程中，可通过对MPCVD合成设备冷却水各主要技术参数的实时监控，及时发现冷却水的各类异常状况，并根据异常状态进行调节以保障设备在最佳状态工作；2、当控制中心无法通过冷水机和调节阀纠正冷却水异常状态时，则通过微波电源管理模块关闭微波头电源，保护MPCVD金刚石合成设备核心器件磁控管的安全，防止微波电源报警导致直接关闭微波头功率输出，对磁控管造成损伤，影响其使用寿命；3、在紧急状态下，控制中心可通过设备总电源管理模块，直接切断MPCVD金刚石合成设备和冷水机总电源，防止冷却水在设备元器件通电时进入设备内部造成短路，保证设备和操作人员的安全。附图说明图1为实施例2中控制系统的连接关系示意图；图2为实施例2中控制系统与冷水机、MPCVD金刚石合成设备的连接关系示意图。其中，1-控制系统；2-水温测量装置；3-水压测量装置；4-水流量测量装置；5-报警装置；6-冷水机；7-管道；8-MPCVD金刚石合成设备；9-第一进水口；10-第一出水口；11-第二进水口；12-第二出水口；13-调节阀；14-控制中心。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，均属于本专利技术保护的范围。实施例1：本专利技术的一种MPCVD金刚石合成设备供水保护系统及方法，包括冷水机、管道、MPCVD金刚石合成设备，所述冷水机通过管道与MPCVD金刚石合成设备组成冷水循环回路，还包括控制系统，所述控制系统包括水温测量装置、水压测量装置、水流量测量装置、报警装置和控制中心，所述水温测量装置、水压测量装置、水流量测量装置设于冷水循环回路上,所述控制中心设有输入端和输出端，所述输入端与水温测量装置、水压测量装置、水流量测量装置电连接，所述输出端与报警装置电连接。所述控制中心包括控制计算机和信号接收处理模块。水温测量装置、水压测量装置、水流量测量装置采集的信号为模拟信号(即电压值或电流值)，信号接收处理模块将模拟信号转换成数字信号，并输送至控制计算机，控制计算机根据实时输送的数字信号，判断管道内的水温、水压、水流量是否符合MPCVD金刚石合成设备的使用标准。其中，所述控制中心监控冷水机的出水温度在20-28℃，所述控制中心监控冷水机的出水压力本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种MPCVD金刚石合成设备供水保护系统，包括冷水机、管道、MPCVD金刚石合成设备，所述冷水机通过管道与MPCVD金刚石合成设备组成冷水循环回路，其特征在于还包括控制系统，/n所述控制系统包括水温测量装置、水压测量装置、水流量测量装置、报警装置和控制中心，所述水温测量装置、水压测量装置、水流量测量装置设于冷水循环回路上,所述控制中心设有输入端和输出端，所述输入端与水温测量装置、水压测量装置、水流量测量装置电连接，所述输出端与报警装置电连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种MPCVD金刚石合成设备供水保护系统，包括冷水机、管道、MPCVD金刚石合成设备，所述冷水机通过管道与MPCVD金刚石合成设备组成冷水循环回路，其特征在于还包括控制系统，
所述控制系统包括水温测量装置、水压测量装置、水流量测量装置、报警装置和控制中心，所述水温测量装置、水压测量装置、水流量测量装置设于冷水循环回路上,所述控制中心设有输入端和输出端，所述输入端与水温测量装置、水压测量装置、水流量测量装置电连接，所述输出端与报警装置电连接。


2.根据权利要求1所述的MPCVD金刚石合成设备供水保护系统，其特征在于：所述冷水机上设有第一进水口和第一出水口，所述MPCVD金刚石合成设备上设有第二进水口和第二出水口，所述第一进水口、第一出水口分别通过管道与第二出水口、第二进水口连通，所述水温测量装置、水压测量装置、水流量测量装置设于第二进水口与管道之间。


3.根据权利要求1或2所述的MPCVD金刚石合成设备供水保护系统，其特征在于：所述冷水机与控制中心通讯连接。


4.根据权利要求3所述的MPCVD金刚石合成设备供水保护系统，其特征在于：还包括供电管理系统，所述供电管理系统上设有设备总电源管理模块、微波电源管理模块、冷水机电源管理模块，
所述设备总电源管理模块与控制中心电连接，所述微波电源管理模块与控制中心电连接，所述微波电源管理模块还与MPCVD金刚石合成设备的微波头电连接，所述冷水机电源管理模块与冷水机和控制中心电连接。


5.根据权利要求4所述的MPCVD金刚石合成设备供水保护系统，其特征在于：所述冷水循环回路上还设有调节阀，所述调节阀与控制中心电连接。


6.根据权利要求5所述的MPCVD金刚石合成...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄翀，唐跃强，
申请(专利权)人：长沙新材料产业研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：湖南;43