一种纳米机器人的制备方法及纳米机器人技术

本发明专利技术公开了一种纳米机器人的制备方法，会先在基板表面涂覆武德合金薄膜，并将武德合金薄膜刻蚀成凸起。然后会在凸起表面镀覆盖凸起的磁性薄膜，此时磁性薄膜中形成有对应凸起的腔体，该腔体可以用于载药。之后会加热武德合金材质的凸起，以将磁性薄膜与基板分离，最后切割磁性薄膜即可制成纳米机器人。通过镀膜设备在基板表面镀磁性薄膜的速度非常快，可以有效降低纳米机器人的制作成本；且通过镀膜设备制备的磁性薄膜的厚度通常较为均匀，构成磁性薄膜的各个组分之间也会充分的混合，磁性薄膜本身的致密性也会显著提高。本发明专利技术还提供了一种纳米机器人，同样具有上述有益效果。

【技术实现步骤摘要】
一种纳米机器人的制备方法及纳米机器人
本专利技术涉及纳米机器人领域，特别是涉及一种纳米机器人的制备方法及一种纳米机器人。
技术介绍
随着近年来科技不断的进步，纳米机器人的应用也越来越广泛。纳米机器人特指尺寸在几纳米至百微米，最大为厘米级的小型机器人，在生物医学和环境保护等领域具有非常重要的潜在应用，例如生物医学领域的靶向治疗等等。在现有技术中，构成纳米机器人的材料通常为磁性材料，在使用过程中或通过施加的外部磁场控制纳米机器人移动。例如在靶向治疗过程中，纳米机器人可以携带药物。病人在服用之后可以通过人体外部的磁场控制人体内的纳米机器人移动至病灶，再释放携带的药物进行治疗。但是在现有技术中，纳米机器人的生产过程通常较为复杂，制作成本较高，所以如何降低纳米机器人的制作成本是本领域技术人员急需解决的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种纳米机器人的制备方法，可以有效降低纳米机器人的制作成本；本专利技术还提供了一种纳米机器人，可以使用成本较低的方法制作该纳米机器人。为解决上述技术问题，本专利技术提供一种纳米机器人的制备方法，包括：在基板表面涂覆武德合金薄膜；刻蚀所述武德合金薄膜，以在所述基板表面形成至少一个凸起；通过镀膜设备在所述基板表面镀磁性薄膜，所述磁性薄膜覆盖所述凸起；加热所述凸起，以分离所述基板与所述磁性薄膜；切割所述磁性薄膜，以制成所述纳米机器人。可选的，所述通过镀膜设备在所述基板表面镀磁性薄膜包括：将所述基板固定于镀膜设备的中心旋转轴；其中，所述中心旋转轴的四周设置有对应所述磁性薄膜的靶材；在预设温度下通过所述镀膜设备在所述基板表面镀所述磁性薄膜；其中，所述预设温度不大于所述武德合金薄膜的熔化温度。可选的，所述在预设温度下通过所述镀膜设备在所述基板表面镀所述磁性薄膜包括：在预设温度下通过所述镀膜设备在所述基板表面镀所述磁性薄膜；其中，所述预设温度的取值范围为30℃至50℃，包括端点值。可选的，加热所述凸起包括：将设置有所述磁性薄膜的基板放置在纯水固定槽中；加热所述纯水固定槽内的纯水至所述武德合金薄膜的熔化温度，并保持预设时间。可选的，所述加热所述纯水固定槽内的纯水至所述武德合金薄膜的熔化温度，并保持预设时间包括：加热所述纯水固定槽内的纯水至所述武德合金薄膜熔化所需的温度，并保持预设时间；其中，所述预设时间的取值范围为5min至10min，包括端点值。可选的，所述切割所述磁性薄膜包括：通过激光切割设备切割所述磁性薄膜。可选的，所述刻蚀所述武德合金薄膜包括：通过激光刻蚀设备刻蚀所述武德合金薄膜。可选的，所述磁性薄膜为远红外磁性薄膜。可选的，所述远红外磁性薄膜包括以下质量分数的组分：质量分数为50％-70％的远红外陶瓷、质量分数为10％-20％的二氧化钛、质量分数为10％-15％的氧化银、质量分数为10％-15％的氧化锌。本专利技术还提供了一种纳米机器人，包括如上述任一项所述方法所制备而成的纳米机器人。本专利技术所提供的一种纳米机器人的制备方法，会先在基板表面涂覆武德合金薄膜，并将武德合金薄膜刻蚀成凸起。然后会在凸起表面镀覆盖凸起的磁性薄膜，此时磁性薄膜中形成有对应凸起的腔体，该腔体可以用于载药。之后会加热武德合金材质的凸起，以将磁性薄膜与基板分离，最后切割磁性薄膜即可制成纳米机器人。通过镀膜设备在基板表面镀磁性薄膜的速度非常快，可以有效降低纳米机器人的制作成本；且通过镀膜设备制备的磁性薄膜的厚度通常较为均匀，构成磁性薄膜的各个组分之间也会充分的混合，磁性薄膜本身的致密性也会显著提高；同时使用镀膜设备不会产生其他的化学污染，从而可以在有效降低制作成本的同时提高纳米机器人的品质。本专利技术还提供了一种纳米机器人，同样具有上述有益效果，在此不再进行赘述。附图说明为了更清楚的说明本专利技术实施例或现有技术的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1至图5为本专利技术实施例所提供的一种纳米机器人制备方法的工艺流程图；图6为本专利技术实施例所提供的一种具体的纳米机器人制备方法的流程图；图7为镀膜设备的俯视结构示意图；图8为镀膜设备正视结构示意图；图9为本专利技术实施例所提供的一种具体的镀膜设备工作时的俯视结构示意图。图中：1.基板、2.武德合金薄膜、21.凸起、3.磁性薄膜、4.中心旋转轴、5.靶材、51.远红外陶瓷靶、52.钛靶、53.银靶、54.锌靶。具体实施方式本专利技术的核心是提供一种纳米机器人的制备方法。在现有技术中，制作而成的纳米机器人的成本较高，且纳米机器人自身材质的品质较低，在制备过程中通常会产生较大的化学污染。而本专利技术所提供的一种纳米机器人的制备方法，会先在基板表面涂覆武德合金薄膜，并将武德合金薄膜刻蚀成凸起。然后会在凸起表面镀覆盖凸起的磁性薄膜，此时磁性薄膜中形成有对应凸起的腔体，该腔体可以用于载药。之后会加热武德合金材质的凸起，以将磁性薄膜与基板分离，最后切割磁性薄膜即可制成纳米机器人。通过镀膜设备在基板表面镀磁性薄膜的速度非常快，可以有效降低纳米机器人的制作成本；且通过镀膜设备制备的磁性薄膜的厚度通常较为均匀，构成磁性薄膜的各个组分之间也会充分的混合，磁性薄膜本身的致密性也会显著提高；同时使用镀膜设备不会产生其他的化学污染，从而可以在有效降低制作成本的同时提高纳米机器人的品质。为了使本
的人员更好地理解本专利技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步的详细说明。显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参考图1至图5，图1至图5为本专利技术实施例所提供的一种纳米机器人制备方法的工艺流程图。参见图1，在本专利技术实施例中，所述纳米机器人的制备方法包括：S101：在基板表面涂覆武德合金薄膜。上述基板1在本专利技术实施例中通常为玻璃基板1。当然，在本专利技术实施例中还可以选用其他材质的基板1，有关基板1的具体材质在本专利技术实施例中并不做具体限定。在本步骤之前，通常需要对基板1进行清洗，以保证基板1表面的清洁。具体的，可以先对基板1表面进行酒精擦拭，之后将基板1放入超声波清洗机中依次进行去离子水清洗以及酒精清洗，最后将基板1放在酒精蒸汽中进行干燥。当基板1从酒精蒸汽中去除时，由于凝结的蒸汽会很快的蒸发掉，从而会使得衬底很快的干燥。上述超声波清洗机中的超声功率通常在75W至300W之间，包括端点值。参见图2，在本步骤中，会在基板1表面设置一整层覆盖基板1表面的武德合金薄膜2。伍德合金薄膜的材质本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种纳米机器人的制备方法，其特征在于，包括：/n在基板表面涂覆武德合金薄膜；/n刻蚀所述武德合金薄膜，以在所述基板表面形成至少一个凸起；/n通过镀膜设备在所述基板表面镀磁性薄膜，所述磁性薄膜覆盖所述凸起；/n加热所述凸起，以分离所述基板与所述磁性薄膜；/n切割所述磁性薄膜，以制成所述纳米机器人。/n

【技术特征摘要】
1.一种纳米机器人的制备方法，其特征在于，包括：
在基板表面涂覆武德合金薄膜；
刻蚀所述武德合金薄膜，以在所述基板表面形成至少一个凸起；
通过镀膜设备在所述基板表面镀磁性薄膜，所述磁性薄膜覆盖所述凸起；
加热所述凸起，以分离所述基板与所述磁性薄膜；
切割所述磁性薄膜，以制成所述纳米机器人。


2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述通过镀膜设备在所述基板表面镀磁性薄膜包括：
将所述基板固定于镀膜设备的中心旋转轴；其中，所述中心旋转轴的四周设置有对应所述磁性薄膜的靶材；
在预设温度下通过所述镀膜设备在所述基板表面镀所述磁性薄膜；其中，所述预设温度不大于所述武德合金薄膜的熔化温度。


3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述在预设温度下通过所述镀膜设备在所述基板表面镀所述磁性薄膜包括：
在预设温度下通过所述镀膜设备在所述基板表面镀所述磁性薄膜；其中，所述预设温度的取值范围为30℃至50℃，包括端点值。


4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，加热所述凸起包括：
将设置有所述磁性薄膜的基板放置在纯水固定槽中；
加热所述纯水固定槽内的纯水至所述武德合...

【专利技术属性】
技术研发人员：张伯伦，杨志，
申请(专利权)人：湖南早晨纳米机器人有限公司，
类型：发明
国别省市：湖南;43