一种半导体湿法清洗设备的智能化改造系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种半导体湿法清洗设备的智能化改造系统，涉及半导体湿法清洗设备技术领域。本实用新型专利技术包括设备本体、若干远程报警器和穿戴接收装置，设备本体包括机体和若干池体，机体上设有PLC控制器，机体上设有信号触发器，信号触发器与PLC控制器之间电性连接有中间继电器。本实用新型专利技术通过将实时监控与可穿戴的移动终端结合，实现对清洗设备状态的实时监控，在设备运行到关键节点时通过主动发出信息及时提醒作业人员，能有效帮助操作人员监控工艺关键节点、知晓设备的实时状态，降低化学试剂腐蚀不均匀导致芯片表面氧化层厚度不稳定，从而节约生产成本、减少质量事故。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体湿法清洗设备的智能化改造系统
本技术属于半导体湿法清洗设备
，特别是涉及一种半导体湿法清洗设备的智能化改造系统。
技术介绍
传统的半导体制造对过程精确控制要求越来越高，设备更新较快，在这趋势下，湿法清洗设备有点特殊，相较于老旧设备，新设备的功能并没有明显差异，其重点是尽量降低人的因素影响。在半导体芯片清洗过程中，由于集成电路内部各元件及连线相当微细，如果芯片表面遭到化学试剂腐蚀过度，很容易造成芯片氧化膜厚不稳定以至电路功能的损坏，形成短路或断路等问题，导致集成电路的失效以及影响几何特征的形成。湿法清洗设备五槽手动清洗机在软件和硬件上有以下不足之处：硬件的不足之处在于：1、清洗机泡酸槽基础功能与冲水槽基础功能互不相干，单独运行。2、清洗机泡酸槽程序结束后设备报警，报警器在设备本体，声音、光源传播空间有限。3、清洗机泡酸槽、冲水槽程序结束后设备报警中，无法区别设备名称。4、清洗机报警器未连接、未配置移动穿戴设备，无法实时知晓设备状态。综上，直接淘汰老旧的设备采购全新设备来降低质量异常的事故率是一种成熟可靠的方案，但投入成本高，对生产影响较大。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种半导体湿法清洗设备的智能化改造系统，通过将实时监控与可穿戴的移动终端结合，实现对清洗设备状态的实时监控，在设备运行到关键节点时通过主动发出信息及时提醒作业人员，在作业人员不能及时干预时，设备会按照预设方案进行自主处理，能有效帮助操作人员监控工艺关键节点、知晓设备的实时状态，降低化学试剂腐蚀不均匀导致芯片表面氧化层厚度不稳定，从而节约生产成本、减少质量事故。为解决上述技术问题，本技术是通过以下技术方案实现的：本技术为一种半导体湿法清洗设备的智能化改造系统，包括设备本体、若干远程报警器和穿戴接收装置，所述设备本体包括机体和若干池体，所述机体上设有PLC控制器；所述机体上设有信号触发器，所述信号触发器与PLC控制器之间电性连接有中间继电器；所述穿戴接收装置包括壳体，所述壳体两端均固定有腕带，所述壳体一表面镶嵌固定有显示屏，所述壳体内设有微处理器和振动器，所述显示屏和振动器均与微处理器电性连接；所述壳体内和信号触发器内均设有信号传输模块，所述信号触发器通过信号传输模块与微处理器电性连接；若干所述远程报警器均通过信号传输线路与信号触发器电性连接。进一步地，所述信号触发器内设有电源模块和降压模块，所述壳体内设有蓄电池，所述显示屏、微处理器、信号传输模块和振动器均与蓄电池电性连接。进一步地，所述设备本体上设有声光报警器，所述声光报警器与PLC控制器电性连接。进一步地，若干所述池体上均连通有纯水进水管，所述纯水进水管上设有电动开关阀，所述电动开关阀与PLC控制器电性连接。进一步地，若干所述池体内均设有液位传感器，若干所述液位传感器均与PLC控制器电性连接。本技术具有以下有益效果：本技术通过将实时监控与可穿戴的移动终端结合，实现对清洗设备状态的实时监控，在设备运行到关键节点时通过主动发出信息及时提醒作业人员，在作业人员不能及时干预时，设备会按照预设方案进行自主处理，实现了在作业过程中，能够有效帮助操作人员监控工艺关键节点、知晓设备的实时状态，提升设备利用效率；降低化学试剂腐蚀不均匀导致芯片表面氧化层厚度不稳定，从而节约生产成本、减少质量事故。当然，实施本技术的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术的一种半导体湿法清洗设备的智能化改造系统的系统原理框图；图2为本技术的方法流程图；图3为穿戴接收装置的结构示意图；附图中，各标号所代表的部件列表如下：1-穿戴接收装置，101-壳体，102-显示屏，103-腕带。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3所示，本技术为一种半导体湿法清洗设备的智能化改造系统，包括设备本体、若干远程报警器和穿戴接收装置1，设备本体包括机体和若干池体，机体上设有PLC控制器，远程报警器安装在人员集中区域，操作人员佩戴移动穿戴接收器，PLC控制器程序内新增酸槽腐蚀时间到信号关联提前进纯水信号、纯水槽水满液位信号和声光报警信号；机体上设有信号触发器，信号触发器与PLC控制器之间电性连接有中间继电器，信号触发器安装在设备本体的闲置区内部；穿戴接收装置1包括壳体101，壳体101两端均固定有腕带103，壳体101一表面镶嵌固定有显示屏102，壳体101内设有微处理器和振动器，显示屏102和振动器均与微处理器电性连接；壳体101内和信号触发器内均设有信号传输模块，信号触发器通过信号传输模块与微处理器电性连接；若干远程报警器均通过信号传输线路与信号触发器电性连接。其中如图1所示，信号触发器内设有电源模块和降压模块，壳体101内设有蓄电池，显示屏102、微处理器、信号传输模块和振动器均与蓄电池电性连接，蓄电池用于提供电能。其中如图1所示，设备本体上设有声光报警器，声光报警器与PLC控制器电性连接，PLC控制器能够控制声光报警器报警，从而提示设备本体周边的工作人员。其中如图1所示，若干池体上均连通有纯水进水管，纯水进水管上设有电动开关阀，电动开关阀与PLC控制器电性连接，PLC控制器能够控制电动开关阀开启和关闭，从而提前注入纯水。其中如图1所示，若干池体内均设有液位传感器，若干液位传感器均与PLC控制器电性连接，液位传感器检测池内水位高度，并将检测的数据传输至PLC控制器内，从而得到水位信息。在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本技术的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。以上公开的本技术优选实施例只是用于帮助阐述本技术。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该技术仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体湿法清洗设备的智能化改造系统，包括设备本体，所述设备本体包括机体和若干池体，所述机体上设有PLC控制器，其特征在于：包括若干远程报警器和穿戴接收装置(1)；/n所述机体上设有信号触发器，所述信号触发器与PLC控制器之间电性连接有中间继电器；/n所述穿戴接收装置(1)包括壳体(101)，所述壳体(101)两端均固定有腕带(103)，所述壳体(101)一表面镶嵌固定有显示屏(102)，所述壳体(101)内设有微处理器和振动器，所述显示屏(102)和振动器均与微处理器电性连接；/n所述壳体(101)内和信号触发器内均设有信号传输模块，所述信号触发器通过信号传输模块与微处理器电性连接；/n若干所述远程报警器均通过信号传输线路与信号触发器电性连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体湿法清洗设备的智能化改造系统，包括设备本体，所述设备本体包括机体和若干池体，所述机体上设有PLC控制器，其特征在于：包括若干远程报警器和穿戴接收装置(1)；
所述机体上设有信号触发器，所述信号触发器与PLC控制器之间电性连接有中间继电器；
所述穿戴接收装置(1)包括壳体(101)，所述壳体(101)两端均固定有腕带(103)，所述壳体(101)一表面镶嵌固定有显示屏(102)，所述壳体(101)内设有微处理器和振动器，所述显示屏(102)和振动器均与微处理器电性连接；
所述壳体(101)内和信号触发器内均设有信号传输模块，所述信号触发器通过信号传输模块与微处理器电性连接；
若干所述远程报警器均通过信号传输线路与信号触发器电性连接。


2.根据权利要求1所述的一种半导体...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋亚东，周晓，陈磊，吕伟，李天鹏，王光伟，
申请(专利权)人：江阴新顺微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32