一种划伤记录仪制造技术

本实用新型专利技术提供一种划伤记录仪，这种划伤记录仪为板状结构，其规格与验伤目标晶圆一致，且由透明材料制成；划伤记录仪标有刻度，刻度覆盖在整个所述划伤记录仪的顶面和/或底面；刻度为格子状刻度或点状矩阵刻度。本实用新型专利技术提供的划伤记录仪可以准确记录划伤的形貌信息，替代晶圆在机械臂上进行比对，或直接在机台上进行传送测试，减少了晶圆划伤或破片的风险，更容易发现和分析晶背划伤的缘由；简化了测试步骤，降低工作量，提高了测量效率；提高检测的精确度，减少人为误差。

【技术实现步骤摘要】
一种划伤记录仪
本技术涉及半导体
，特别是涉及一种用于验证晶背划伤的划伤记录仪。
技术介绍
晶圆在传送过程中会出现被机械臂划伤晶背的情况，因此需要找出造成这种划伤的目标机械臂。如图1和图2所示，由于晶圆1是非透明的，无法与怀疑的机械臂3进行直接对比，现有技术中验证晶背划伤2一般是利用普通的测量工具，收集划伤2的长度、大致形状、距离中心或者晶圆边缘的宽度等量化信息，然后再与机械臂3或机械臂3的CAD位图进行对比，试图找出造成划伤2的目标机械臂3。这种测量方法存在各种问题，首先，使用测量工具测量时常常会存在计算失误或测量误差的情况，并且测量过程繁琐且复杂，增加了工作量。也有将空白晶圆1放入机台中进行试运行找出目标机械臂3的方法，但是由于晶圆1是不透明的，需要拿起晶圆1查看其背部是否存在划伤2，却难以将其准确地放回原位，甚至还会增加划伤甚至破片的风险。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种划伤记录仪，可有效解决晶圆划伤验证过程中存在的不准确或不方便的问题。为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供了一种划伤记录仪，所述划伤记录仪为板状结构，其规格与验伤目标晶圆一致，且由透明材料制成；所述划伤记录仪标有刻度，所述刻度覆盖在整个所述划伤记录仪的顶面和/或底面；所述刻度为格子状刻度或点状矩阵刻度。优选地，所述划伤记录仪由透明的亚克力板制成。在一优选实施例中，所述晶圆为12寸晶圆，则所述划伤记录仪为直径为300mm的圆形板状结构。在上述实施例中，所述划伤记录仪上的格子状刻度将其直径分为三十等份，每等份被分为四个最小刻度。在另一优选实施例中，所述晶圆为8寸晶圆，则所述划伤记录仪为直径为200mm的圆形板状结构。在上述实施例中，所述划伤记录仪上的格子状刻度将其直径分为二十等份，每等份被分为四个最小刻度。在上述两个实施例中，所述最小刻度单位是2.5mm。优选地，所述刻度相对于所述划伤记录仪的顶面或底面所在的平面凸起或凹陷，或者与所述顶面或底面位于一个平面上。如上所述，本技术的一种划伤记录仪，具有以下有益效果：(1)本技术提供了一种具有透明特性的划伤记录仪，可以实现目测确认目标机械臂，检测晶背划伤更直观且方便，且由于是透明的，不用拿起确认划伤，还能减少工作量；(2)本技术提供的划伤记录仪上带有刻度，从而可以减少测量误差，提高准确性；(3)本技术提供的划伤记录仪可以替代晶圆与机械臂进行直接比对，减少了晶圆划伤或者破片的风险。附图说明图1为现有技术中验证晶背划伤的示意图一；图2为现有技术中验证晶背划伤的示意图二；图3为使用本技术公开的划伤记录仪验证晶背划伤的示意图一；图4为使用本技术公开的划伤记录仪验证晶背划伤的示意图二。标号说明1晶圆2划伤3机械臂4划伤记录仪5刻度具体实施方式以下由特定的具体实施例说明本申请的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点及功效。本申请还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本申请的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。须知，本说明书附图中所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
所能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本技术可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当亦视为本技术可实施的范畴。本技术公开的实施例提供了一种划伤记录仪4，这种划伤记录仪4的规格与验伤目标晶圆1一致，此处规格是指采用板状结构的划伤记录仪上下表面的形状及尺寸与晶圆1相同或基本相同，而厚度则可以常规的晶圆厚度为准。这种划伤记录仪4由透明材料制成，优选地，由透明的亚克力板制作而成。划伤记录仪4的表面设置有格子状的刻度5，划伤记录仪5仿12寸晶圆时，其直径被分为三十等份，每等份又被分为四个最小刻度，最小刻度单位是2.5mm。划伤记录仪5仿8寸晶圆时，其直径可被分为二十等份，每等份又被分为四个最小刻度，最小刻度单位是2.5mm。在其他实施例中，最小刻度单位可以根据精确度需要设置为其他长度，最小刻度单位越小，划伤记录仪4的精确度越大。刻度5可以设置在划伤记录仪4的顶面和/或底面。在其他实施例中，划伤记录仪4上的刻度5可以为其他能够起到准确记录划伤2的结构，例如可以为点状矩阵，相邻两点之间的距离相等，点以矩阵的形式铺满整个划伤记录仪4，当使用这种划伤记录仪4进行划伤比对时，可以通过点与点之间的连接记录划伤2的走向，通过点与点之间的距离计算划伤的长度、位置等信息。相邻两点之间的距离为最小刻度单位，点的排布越密集，越能准确地记录划伤2。刻度5在划伤记录仪4上的设置包括三种实施方式：首先，刻度5可以相对于划伤记录仪4的顶面或底面所在平面微微凸起；其次，刻度5可以与划伤记录仪4的顶面或底面位于一个平面上；最后，刻度5也可以相对于划伤记录仪4的顶面或底面所在平面微微凹陷。当使用本技术提供的划伤记录仪4进行晶背划伤检测时，有以下几种使用方法：通过进行比对找出目标机械臂，首先准确记录晶圆1上的划伤2，具体地，将划伤记录仪4与被划伤的晶圆1放入晶圆盒的相邻槽位中，方便对其进行准确定位，然后在划伤记录仪4上准确地记录划伤2的轨迹与缺口的方向等信息。将上述信息与收集来的机械臂3的CAD位图进行比对，或者代替晶圆1直接与机械臂3进行比对，找出目标机械臂3。当使用上述方法无法找出目标机械臂3，或者能够找出若干可疑机械臂3而无法确定目标机械臂3时，可以采用下述方法。如图3和图4所示，将划伤记录仪4放置在可疑机台中进行试运行测试，由于划伤记录仪4是透明的，因此可以直接目测其背面划伤，确定目标机械臂3，减少晶圆1的损耗机率，提高量测效率。并且由于划伤记录仪4表面刻度5的存在，可以直观且准确地传递给工作人员划伤2的形貌、长度、位置等信息。为了方便直接进行目测，还可以打开机台挡板，降低机台的运行速度。需要说明的是，当使用第二种方式寻找目标机械臂3时，划伤记录仪4宜采用硬度与晶圆1接近的材料制成，例如亚克力板，因而划伤记录仪更容易产生与晶圆类似的划伤，并且，亚克力板物理性质稳定且韧性高，不易破碎产生小碎片或颗粒，不会对机台造成损伤。本技术提供的划伤记录仪4还可以有另一种用途：使用划伤记录仪4将机台中每一个机本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种划伤记录仪，其特征在于：/n所述划伤记录仪为板状结构，其规格与验伤目标晶圆一致，且由透明材料制成；/n所述划伤记录仪标有刻度，所述刻度覆盖在整个所述划伤记录仪的顶面和/或底面；/n所述刻度为格子状刻度或点状矩阵刻度。/n

【技术特征摘要】
1.一种划伤记录仪，其特征在于：
所述划伤记录仪为板状结构，其规格与验伤目标晶圆一致，且由透明材料制成；
所述划伤记录仪标有刻度，所述刻度覆盖在整个所述划伤记录仪的顶面和/或底面；
所述刻度为格子状刻度或点状矩阵刻度。


2.根据权利要求1所述的划伤记录仪，其特征在于：
所述划伤记录仪由透明的亚克力板制成。


3.根据权利要求1所述的划伤记录仪，其特征在于：
所述晶圆为12寸晶圆，则所述划伤记录仪为直径为300mm的圆形板状结构。


4.根据权利要求3所述的划伤记录仪，其特征在于：
所述划伤记录仪上的格子状刻度将其直径分为三十...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘珊珊，
申请(专利权)人：芯恩青岛集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37