检查装置、检查方法、检查系统、滤色镜的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种检查装置、检查方法、检查系统、滤色镜的制造方法。本发明专利技术的检查装置由于具备：条斑检测部，在从第１方向照射光后拍摄排列在检查对象基板上的像素的图像Ｌ、与从不同于上述第１方向的第２方向照射光后拍摄上述像素的图像Ｒ中，分别检测条斑；特定周期不规则抽取部，在图像Ｌ和图像Ｒ中，分别在检查对象基板上沿着与条斑垂直的方向，以预定间隔Ｔ抽取被检测到的多个条斑；和检测对象不规则抽取部，抽取图像Ｌ和图像Ｒ双方中被检测到的条斑，作为检测对象条斑，所以可仅检测由于对正常膜厚的像素产生了膜厚差的像素存在而产生的特定周期的条斑。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种从拍摄具有起伏的被检查物的起伏端部的图像中，才企测以特定周期在该被)险查物中产生的条斑(linear irregularities )的枱r查装置等。
技术介绍
近年来，液晶显示装置在推进大型化的同时，倾向于其需要增加。 但是，为了使液晶显示装置进一步普及，必须降低成本。尤其是，在液 晶显示装置中，对成本比重较高的滤色镜(color filter)的成本降低的要 求正在提高。最近，基于喷墨法的滤色镜的形成方法正在受到关注。在该形成方 法中，通过从喷墨头的喷嘴中向各像素喷出R(红)、G(绿)、B (蓝) 墨水，形成滤色镜。喷墨法的特征在于行程数少和墨水浪费少。由此， 可实现工艺的缩短和低成本。但是，在喷墨法形成滤色镜的情况下，产生滤色镜的制造工艺引起 的具有特定周期的条斑(条状的不规则)。条斑由于滤色镜的膜厚差异 而产生，并且目视(透过滤色镜的透射光)识别为条斑，所以大大影响 液晶显示装置的品质。这里，说明由喷墨法形成的滤色镜中产生具有特定周期的条斑的理 由。在由喷墨法形成滤色镜的情况下，对形成黑矩阵的透明基板，边沿 扫描方向(描绘方向)移动具有喷出墨水的多个喷嘴的头单元，边从各 喷嘴向由透明基板上的黑矩阵包围的规定区域喷出液状材料。之后，若 扫描方向的喷出完成，则在使头单元沿与扫描方向正交的方向移动规定 距离之后，再使头单元沿扫描方向，依次喷出液状材料，重复上述动作， 由此可制作在透明基板上形成了由黑矩阵区分的像素(絵素)的滤色镜。此时，在由于某些原因而致使液状材料的喷出量在头单元的每个喷 嘴处变得散乱的情况等下，以喷嘴间隔在滤色镜中产生条斑。另外，在 因某些原因使一个喷嘴堵塞的情况等下，以头单元间隔在滤色镜中产生 条斑。这样，在利用喷墨法制作出滤色镜的情况下，产生具有对应于其产生原因的各种周期的条斑。如上所述，由于产生条斑的滤色镜的品质存在问题，所以，产生条 斑的滤色镜必须在制造阶段检测并除去。但是，滤色镜中产生的条斑以10~ 100nm级的膜厚差出现，所以光的干涉或透射光的膜厚测量方法难 以;险测条斑。因此，以前使用如下方法，即通过测量滤色镜的像素端面的角度， 间接地测量膜厚，并检测条斑。根据图8 (a) ~ (c)来说明该方法。 图8(a) ~ (c)是表示通过测量像素端面的角度来测量膜厚的方法的 图。图8 (a)表示膜厚正常的像素中的像素端面的角度。即，这里，假 设在膜厚为正常值h的情况下，像素端面的角度在两侧均为a。另一方面，图8 (b)表示膜厚薄的像素中的像素端面的角度。如图 所示，像素端面的角度在两侧均为P 。比较图8 (a)与图8 (b)可知， P的角度比oc小。因此，可知图8 (b)中的膜厚h，比图8(a)中的正 常膜厚h薄。这样，测定像素端面的角度，在该角度低于正常值oc的情况下，可 判断为该像素的膜厚比正常的膜厚h薄。由此，可^^测以10 100nm级 出现的条斑。但是，条斑不仅如图8 (b)所示在像素的整个面中产生均等的膜厚 差。即，如图8(c)所示，有时涂敷在滤色镜上的像素向单侧倾斜。在 下面的说明中，将涂敷的像素向单侧倾斜所产生的条斑称为单侧倾斜不 规则。该单侧倾斜不规则在上述现有的拍摄像素端面的检查中，由于像素 端面的倾斜角度不同，所以会误判定为产生了膜厚差。这是因为如图8 (c)所示，在像素发生了倾斜的情况下，像素端面的角度在同一像素 的两侧分别为不同的值。例如，图8(c)中，像素左侧端面的角度为比正常角度a小的P , 所以现有检查方法中，会将图8(c)所示的像素被检测为产生了膜厚差 的缺陷像素。但是，图8 (c)所示的像素右侧端面的角度为比正常角度 a大的Y,结果，图8 (c)所示的像素的膜厚为正常值h。这样，单侧倾斜不规则实际上不产生膜厚差。因此，产生了单侧倾 斜不规则的滤色镜的透射光中未识别条斑。因此，产生单侧倾斜不规则的滤色镜由于作为制品没问题，故应作为合格品处理。但是，若该单側 倾斜不规则以宽频带(空间频率)出现在随机的位置上，则在上述现有 的测量了像素端面后间接地测量膜厚差的检查中，对于应作为合格品处 理的产生了单侧倾斜不规则的滤色镜进行缺陷判定。如上所述，在检测条斑缺陷的检查中，重要的是对与正常的滤色镜 相比产生了膜厚差并应作为缺陷处理的工艺引起的特定周期的条斑、和 应作为合格品处理的条斑(单侧倾斜不规则)进行区别检测。这里，作为检查条斑的现有技术，列举下面的专利文献1 ~3。在专 利文献l中，对于拍摄被检查物的拍摄图像，沿纵向横向方向单独累计 亮度数据，生成累计数据。之后，计算该累计数据的移动平均，算出累 计移动平均数据，根据这些累计数据与累计移动平均数据的差分，检查 条斑。由此，可降低噪声分量的影响，仅高精度地检测条斑。另外，在专利文献2中，利用光的干涉测定物体表面形状的方法中 利用了傅立叶变换。另外，在专利文献2中，根据在频率坐标系下频谱 振幅最大的最大值位置、以及在该最大值位置与原点之间频谱的振幅最 小的最小值位置，设定物体表面的形状测定中所使用的区域。由此，不 必通过操作者的辨别来设定物体表面的形状测定中所使用的区域。另外，在专利文献3中，在对拍摄滤色镜的拍摄图像执行二进制处 理之后，对上述滤色镜的像素两端执行逻辑与运算，检测缺陷。由此， 可检测附着在滤色镜的像素上的微小异物。但是，在专利文献l的技术中，由于切开二维数据的一部分后生成 累计数据，所以不适于检测预定的特定周期的条斑的出现。另外，在专 利文献l中，由于根本未考虑单侧倾斜不规则，故存在将单侧倾斜不规 则(合格品处理缺陷)误检测为缺陷的问题。另外，在专利文献2的技术中，由于利用频谱具有最大值的周期位 置来分析物体表面的形状，所以不适于执行涉及预定的特定周期的评 价。另外，在专利文献2中，由于与上述专利文献1的技术一样，根本 未考虑单侧倾斜不规则，所以存在会受到单侧倾斜不规则的影响的问 题。另外，由于产生了条斑的部位与不产生条斑的部位的亮度差较小， 所以难以二进制后才企测条斑。即，专利文献3的技术不适于条斑4企查。 另外，由于专利文献3也根本未考虑单侧倾斜不规则，所以该方法会误检测单側倾斜不规则。在滤色镜的检查工序中，为了判定该制造工艺中的异常原因，区别 合格品处理的缺陷并检测以特定周期产生的条斑是非常重要的。专利文献1:日本公开专利公报'特开2005-77181 ( 2005年3月24 日公开)'专利文献2:日本公开专利^M艮'特开2002-286407 ( 2002年10月 3日公开)'专利文献3:日本公开专利公报'特开平7-20065 ( 1995年1月24 日公开)，
技术实现思路
本专利技术鉴于上述课题而作出的，其目的在于不对合格品处理的缺陷 (单侧倾斜不规则)进行缺陷判定，仅检测制造工艺引起的、相对于正 常的膜厚产生膜厚差，并应作为缺陷处理的特定周期的条斑。为了解决上述课题，本专利技术的检查装置涉及检测多个起伏排列在被 检查面上的被检查物中所产生的条斑，其中具备条斑检测部件，在从 第1方向对上述被检查面照射光后拍摄上述起伏的第1图像、与从不同 于上述第1方向的第2方向对上述被检查面照射光后拍摄上述起伏的第 2图像中，分别检测条斑；特定周期不规则抽取部件，在上述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种检查装置，检测多个起伏排列在被检查面上的被检查物中产生的条斑，其中具备：　条斑检测部，在从第１方向对上述被检查面照射光后拍摄上述起伏的第１图像、与从不同于上述第１方向的第２方向对上述被检查面照射光后拍摄上述起伏的第２图像中，分别检测条斑；　特定周期不规则抽取部，在上述第１和第２图像中，分别在上述被检查面上沿着与条斑垂直的方向，以预定间隔抽取被检测到的多个条斑；和　检测对象不规则抽取部，抽取上述第１和第２图像双方中被检测到的条斑，作为检测对象条斑。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：井殿多闻，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]