一种等离子自动清洗设备及其工作方法技术

本发明专利技术涉及一种等离子自动清洗设备，属于半导体加工技术领域；其包括机架、设置在机架上的清洗机构、分设在清洗机构两侧外的送料装置、分设在送料装置与清洗机构之间的储料装置、与机架滑动连接的回料装置以及罩设在外周的罩壳，所述送料装置能够将物料板从储料装置内推送至清洗机构内，所述回料装置能够将清洗后的物料板推送回储料装置内；本发明专利技术提供了一种等离子自动清洗设备及其工作方法，能够实现送料、清洗、回料的自动化操作，提高清洗效率，降低人工作业量，降低人工成本，提高经济效益。

【技术实现步骤摘要】
一种等离子自动清洗设备及其工作方法
本专利技术涉及一种等离子自动清洗设备及其工作方法，属于半导体加工

技术介绍
等离子清洗机也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新清洗技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果；等离子清洗机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。目前等离子清洗机常用于半导体领域，可对引线框架、PCB板、晶圆、陶瓷等材料进行清洗，但目前的等离子清洗机在取片时大多是采用人工取片，即人工将待清洗的物料板放置在清洗腔内，清洗完成后再由人工从清洗腔内取出，这样不仅降低了清洗的效率，且增加了大量人工成本，经济效益低下。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术中的不足，提供一种等离子自动清洗设备及其工作方法，能够实现送料、清洗、回料的自动化操作，提高清洗效率，降低人工作业量，降低人工成本，提高经济效益。为实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案：一种等离子自动清洗设备，其包括机架、设置在机架上的清洗机构、分设在清洗机构两侧外的送料装置、分设在送料装置与清洗机构之间的储料装置、与机架滑动连接的回料装置以及罩设在外周的罩壳，所述送料装置能够将物料板从储料装置内推送至清洗机构内，所述回料装置能够将清洗后的物料板推送回储料装置内。进一步地，所述清洗机构包括设置在机台上的清洗腔盘、与机架滑动连接的转动座、与转动座转动铰接的转动支撑梁、设置在转动支撑梁上的盖壳以及能够限制转动支撑梁转动的限位装置，所述盖壳设置在清洗腔盘上方，所述清洗腔盘内设有能够允许物料板滑动的清洗腔滑槽，所述盖壳能够密封盖设在清洗腔盘上。进一步地，所述限位装置包括设置在转动座外侧的水平限位挂轴、设置在转动座外侧的掀盖限位挂轴以及与转动支撑梁转动连接的限位挂勾，所述盖壳转动至水平位置时，限位挂勾能够勾设在水平限位挂轴上，所述限位挂勾勾设在掀盖限位挂轴上时，盖壳的最外侧高于盖壳的最内侧。进一步地，所述储料装置包括与机架竖向滑动连接的料盒，所述料盒内设有多层相互平行的储料滑槽，物料板能够在储料滑槽内滑动，所述料盒能够穿出至机架上方。进一步地，所述送料装置包括设置在机架上的推料机构以及推料驱动机构，所述推料机构包括导向座、与导向座滑动连接的传送板带、设置在传送板带前端的推料头以及导向轮，所述传送板带另一端与推料驱动机构连接，所述传送板带设置在导向轮与导向座之间，所述传送板带经由导向轮传送后弯折，所述传送板带为弹性结构，所述导向轮与固定座通过一弹性连杆连接，所述弹性连杆一端与固定座转动连接，所述弹性连杆另一端与导向轮转动连接，所述弹性连杆中部与固定座之间通过弹簧连接。进一步地，所述推头包括推料导向板以及设置在推料导向板前方的推块，所述推块上设有推料豁口，所述推料导向板上设有弯曲的加强槽，所述加强槽的延伸方向与推料方向平行，所述加强槽的下表面与传送板带贴合；所述推料导向板相邻的两棱边经倒角过渡连接，所述推料豁口呈梯形设置且外侧的竖向距离大于内侧的竖向距离。进一步地，所述回料装置包括与机架滑动连接的安装座、与安装座滑动连接的连接块、设置在连接块上的双头推板、设置在连接块与安装座之间的弹性装置以及设置在连接块与安装座之间的位移检测装置，所述连接块滑动方向与送料方向平行，所述双头推板两端设有内凹的回料豁口，所述回料豁口呈梯形设置且外侧的竖向距离大于内侧的竖向距离。进一步地，所述储料装置与送料装置之间还设有送料挡板，所述送料挡板上设有过渡孔，所述过渡孔内设有过渡滑槽，所述储料装置内的物料板能够经过过渡滑槽进入清洗机构内，所述清洗机构内的物料板能够经过过渡滑槽进入储料装置内。一种上述的等离子自动清洗设备，其工作方法包括以下步骤：A、将待清洗的物料板放置在两侧的料盒的储料滑槽内，竖向升起盖壳使盖壳与清洗腔盘脱离，将回料装置移动至清洗机构的一侧外，B、移动两侧的料盒直至料盒最下方的物料板与过度滑槽以及清洗滑槽在同一平面内；C、启动距离回料装置较远一侧的送料装置，将与之相邻的料盒内的物料板完全推送至清洗滑槽内后，该侧的送料装置的推头复位，盖壳下移，直至密封盖设在清洗腔盘上，启动清洗机构，开始清洗；D、清洗完成后，提升盖壳，启动回料装置将清洗后的物料板推送回料盒后，降下料盒使相邻的上一层物料板移动至与过度滑槽以及清洗滑槽在同一平面内；E、与步骤D同一时刻，启动另一侧的送料装置，将与之相邻的料盒内的物料板推送至清洗腔盘的清洗滑槽内；F、回料装置移动至清洗机构外侧，另一侧的送料装置将物料板完全推送至清洗槽内后，该侧的送料装置复位，盖壳下压密封盖设在清洗腔盘内，启动清洗机构，开始清洗；G、重复D-F步骤，直至两侧料盒内所有的物料板均被清洗完，停止设备运行，取下料盒，取出物料板。与现有技术相比，本专利技术所达到的有益效果：本技术方案设有送料装置、储料装置以及回料装置，能够实现物料板的自动进料与回料，减少了人工作业量，提升了作业效率；本技术方案在清洗机构两侧均设有送料装置与储料装置，在送料的同时能够进行另一侧的回料作业，两侧的送料与回料作业交替重复进行，有效利用了设备作业时间，缩短了单次清洗的周期，提升了作业效率本技术方案的送料装置的传送板带弯折设置，充分利用了设备的上部空间，减少了设备的水平占地空间，设备紧凑性、集成度更高，同样的水平区域内能够设置更多的设备，提升了作业效率；本技术方案的回料装置能够分别将清洗后的物料板推送至两侧的储料装置内，方便快捷，效率高；本技术方案的回料装置设有位移感应装置能够时时获知双头推板是工作状态，减少物料板与设备的损坏，方便人员操作；本技术方案的清洗机构设有限位装置，能够在盖壳掀起后对盖壳进行限位固定，为操作人员提供了方便，确保了使用安全性。附图说明图1是本专利技术实施例提供的一种等离子自动清洗设备的主视结构示意图；图2是本专利技术实施例提供的一种等离子自动清洗设备的立体结构示意图；图3是本专利技术实施例提供的一种等离子自动清洗设备的局部结构放大示意图；图4是本专利技术实施例提供的一种等离子自动清洗设备的料盒的立体结构局部放大示意图；图5是本专利技术实施例提供的一种等离子自动清洗设备的送料装置的立体结构示意图；图6是本专利技术实施例提供的一种等离子自动清洗设备的送料装置的推料机构的立体结构示意图；图7是本专利技术实施例提供的一种等离子自动清洗设备的送料装置的推料头的立体结构示意图；图8是本专利技术实施例提供的一种等离子自动清洗设备的送料装置的清洗机构的局部结构使用状态示意图1；图9是本专利技术实施例提供的一种等离子自动清洗设备的送料装置的清洗机构的局部结构使用状态示意图2；图10是本专利技术实施例提供的一种等离子自动清洗设备的送料装置的回料装置的立体结构示意图。标号说明：1-机架、2-清洗机构、3-送料装置、4-储料装置、5-回料装置、6-罩壳、7-物料板、8-清洗本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种等离子自动清洗设备，其特征在于：包括机架（1）、设置在机架上的清洗机构（2）、分设在清洗机构两侧外的送料装置（3）、分设在送料装置与清洗机构之间的储料装置（4）、与机架滑动连接的回料装置（5）以及罩设在外周的罩壳（6），所述送料装置能够将物料板（7）从储料装置内推送至清洗机构内，所述回料装置能够将清洗后的物料板推送回储料装置内。/n

【技术特征摘要】
1.一种等离子自动清洗设备，其特征在于：包括机架（1）、设置在机架上的清洗机构（2）、分设在清洗机构两侧外的送料装置（3）、分设在送料装置与清洗机构之间的储料装置（4）、与机架滑动连接的回料装置（5）以及罩设在外周的罩壳（6），所述送料装置能够将物料板（7）从储料装置内推送至清洗机构内，所述回料装置能够将清洗后的物料板推送回储料装置内。


2.根据权利要求1所述的一种等离子自动清洗设备，其特征在于：所述清洗机构包括设置在机台上的清洗腔盘（8）、与机架滑动连接的转动座（9）、与转动座转动铰接的转动支撑梁（10）、设置在转动支撑梁上的盖壳（11）以及能够限制转动支撑梁转动的限位装置（12），所述盖壳设置在清洗腔盘上方，所述清洗腔盘内设有能够允许物料板滑动的清洗腔滑槽（13），所述盖壳能够密封盖设在清洗腔盘上。


3.根据权利要求2所述的一种等离子自动清洗设备，其特征在于：所述限位装置包括设置在转动座外侧的水平限位挂轴（14）、设置在转动座外侧的掀盖限位挂轴（15）以及与转动支撑梁转动连接的限位挂勾（16），所述盖壳转动至水平位置时，限位挂勾能够勾设在水平限位挂轴上，所述限位挂勾勾设在掀盖限位挂轴上时，盖壳的最外侧高于盖壳的最内侧。


4.根据权利要求1所述的一种等离子自动清洗设备，其特征在于：所述储料装置包括与机架竖向滑动连接的料盒（17），所述料盒内设有多层相互平行的储料滑槽（18），物料板能够在储料滑槽内滑动，所述料盒能够穿出至机架上方。


5.根据权利要求1所述的一种等离子自动清洗设备，其特征在于：所述送料装置包括设置在机架上的推料机构（19）以及推料驱动机构（20），所述推料机构包括导向座（21）、与导向座滑动连接的传送板带（22）、设置在传送板带前端的推料头（23）以及导向轮（24），所述传送板带另一端与推料驱动机构连接，所述传送板带设置在导向轮与导向座之间，所述传送板带经由导向轮传送后弯折，所述传送板带为弹性结构，所述导向轮与固定座通过一弹性连杆（25）连接，所述弹性连杆一端与固定座转动连接，所述弹性连杆另一端与导向轮转动连接，所述弹性连杆中部与固定座之间通过弹簧（26）连接。


6.根据权利要求5所述的一种等离子自动清洗设备，其特征在于：所述推头包括推料导向板（27）以及...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭峰，刘向东，彭小巧，王宇，国际瑞，
申请(专利权)人：昆山普乐斯电子科技有限公司，苏州优维毕光电科技有限公司，苏州艾斯林自动化科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32