一种轻便式线切割机过线轮轴承箱制造技术

本实用新型专利技术公开了一种轻便式线切割机过线轮轴承箱，该轴承箱包括滚轮座、深沟球轴承、轴、孔用弹性挡圈、盖板；其中，该滚轮座一端封闭，另一端开口，在两端之间形成有深沟球轴承容置空间；深沟球轴承安装在轴上并置于该深沟球轴承容置空间内，位于滚轮座另一端的深沟球轴承由孔用弹性挡圈定位，并由盖板密封，在该密封状态下，轴的一部分穿过孔用弹性挡圈和盖板而从滚轮座的另一端露出。本实用新型专利技术的轴承箱内部结构简单优化，操作便捷，便于拆卸、更换。本实用新型专利技术的轴承箱内部结构简单优化，能够提高过线轮的稳定性，解决在硅片切割生产过程中钢线断线的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种轻便式线切割机过线轮轴承箱
本技术涉及一种轻便式线切割机过线轮轴承箱，属于线切割机布线过线轮

技术介绍
硅材料是制造超大规模集成电路的主要衬底材料，硅晶片的生产主要是运用线切割机将晶棒切割成硅晶片。切割过程是通过线网完成的，而形成线网需要钢线的来回形成线路，此时就需要过线轮来布置钢线方向。过线轮是将挂有聚氨酯圈套的铝合金圆盘安装在轴承箱外面，当金刚线在槽内表面走过时，线轮随金刚线转动，从而将滑动摩擦转换成静摩擦。过线轮轴承箱的好坏决定了过线轮的稳定性，过线轮稳定性降低，轻则断线次数增多，导致硅晶片参数偏高，重则导致硅晶片报废。例如，现有的原装过线轮由硬质合金制成，重量较大，内部安装轴承造价高，精度达不到导致过线轮晃动量大，容易造成钢线断线，影响硅晶片生产质量。在此情况下就需要优化过线轮轴承箱结构来保证过线轮的稳定性。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种轻便式线切割机过线轮轴承箱，该轴承箱内部结构优化，能够提高过线轮的稳定性，解决在硅片切割生产过程中钢线断线的问题。为实现上述目的，本技术采用以下技术方案：一种轻便式线切割机过线轮轴承箱，该轴承箱包括滚轮座、深沟球轴承、轴、孔用弹性挡圈、盖板；其中，该滚轮座一端封闭，另一端开口，在两端之间形成有深沟球轴承容置空间；深沟球轴承安装在轴上并置于该深沟球轴承容置空间内，位于滚轮座另一端的深沟球轴承由孔用弹性挡圈定位，并由盖板密封，在该密封状态下，轴的一部分穿过孔用弹性挡圈和盖板而从滚轮座的另一端露出。在该轴承箱中，所述深沟球轴承的数量为两个。在该轴承箱中，所述盖板上设有多个堵丝口，该多个堵丝口由内六角堵丝堵住密封。该轴承箱配合挂有聚氨酯圈套的铝合金圆盘使用。技术的优点在于：本技术的过线轮轴承箱内部结构简单优化，能够提高过线轮的稳定性，解决在硅片切割生产过程中钢线断线的问题，并且结构简单、操作便捷、便于拆卸、更换。该轴承箱采用深沟球轴承，非常耐用，极限转速高，制造成本低，主要承受径向负荷或者一定量轴向负荷。该轴承箱中孔用弹性挡圈、盖板、内六角堵丝配合使用具有一定的密封性，可有效隔离机台内部飞溅流体，延长使用寿命。附图说明图1为本技术的轴承箱的整体外观图。图2为本技术的轴承箱沿轴向剖切的截面图。具体实施方式下面通过结合附图和具体实施方式对本技术做进一步说明，但并不意味着对本技术保护范围的限制。如图1、2所示，本技术的轻便式线切割机过线轮轴承箱包括滚轮座1、深沟球轴承2、轴3、孔用弹性挡圈4、盖板5、内六角堵丝6；其中，该滚轮座1的一端封闭，另一端开口，在两端之间形成有深沟球轴承容置空间；深沟球轴承2安装在轴3上并置于滚轮座1内的深沟球轴承容置空间内，位于滚轮座1的另一端的深沟球轴承由孔用弹性挡圈4定位，并由盖板5密封，在该密封状态下，轴3的一部分穿过孔用弹性挡圈4和盖板5而从滚轮座1的另一端露出。如图2所示，在本技术的轴承箱内设有两个深沟球轴承。在盖板上还设有多个堵丝口，该多个堵丝口由内六角堵丝6堵住密封，保证轴承箱内部气密性。当该轴承箱应用于线切割机上进行布置线网时，将挂有聚氨酯圈套的铝合金圆盘安装在轴承箱外面组成过线轮，钢线在聚氨酯圈套中间线槽正反转转动。本技术对原过线轮轴承箱内部结构进行优化，更改内部使用轴承，深沟球轴承主要承受径向载荷，也可同时承受径向载荷和轴向载荷。当其仅承受径向载荷时，接触角为零。当深沟球轴承具有较大的径向游隙时，具有角接触轴承的性能，可承受较大的轴向载荷，深沟球轴承的摩擦系数很小，极限转速也很高。根据深沟球轴承的受力特性，在此处滚轮座1、深沟球轴承2、轴3配合作为本技术的主体，在行走钢线时可保持钢线走线稳定性，降低了切割过程中的断线率，提高硅晶片质量，提高产量。本技术的轴承箱延长了过线轮轴承箱使用寿命，降低了维修成本，同时其结构简单，操作方便，具有很强的实用性。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种轻便式线切割机过线轮轴承箱，其特征在于，该轴承箱包括滚轮座、深沟球轴承、轴、孔用弹性挡圈、盖板；其中，该滚轮座一端封闭，另一端开口，在两端之间形成有深沟球轴承容置空间；深沟球轴承安装在轴上并置于该深沟球轴承容置空间内，位于滚轮座另一端的深沟球轴承由孔用弹性挡圈定位，并由盖板密封，在该密封状态下，轴的一部分穿过孔用弹性挡圈和盖板而从滚轮座的另一端露出。/n

【技术特征摘要】
1.一种轻便式线切割机过线轮轴承箱，其特征在于，该轴承箱包括滚轮座、深沟球轴承、轴、孔用弹性挡圈、盖板；其中，该滚轮座一端封闭，另一端开口，在两端之间形成有深沟球轴承容置空间；深沟球轴承安装在轴上并置于该深沟球轴承容置空间内，位于滚轮座另一端的深沟球轴承由孔用弹性挡圈定位，并由盖板密封，在该密封状态下，轴的一部分穿过孔用弹性挡圈和盖板而从滚轮座的另一端露出。

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【专利技术属性】
技术研发人员：赵晶，刘木，李伟，何文静，纪新鹏，
申请(专利权)人：山东有研半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37