【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于检测物镜成像质量的检验装置。 该
的检验装置主要由光学测试图象发生器、扫描装置以及信号处理器组成。 目前,最新型MTF快速检验仪是以CCD作扫描元件的。它采用逆向投影检验,用白炽灯作光源照明像平面上的狭缝,狭缝经被检物镜以50X倍率投影到接收平面上,在接收屏上放置CCD接收器件对狭缝像(线扩散函数)进行数据采集。这种方法虽然可以对物镜的各视场、各方位同时进行检测,但由于线扩散函数的数据量较大,使数据运算处理速度不能很快,延长了检验时间,为此这种检验仪采用了硬件快速付氏变换运算器作为运算设备以缩短检验时间。由于这种检验仪采用了价格较高、数量较多的CCD器件以及昂贵的硬件快速付氏运算器,使检验仪成本很高,难以在生产线上推广使用。 本专利技术就是针对上述缺点作了改进,提出一种新型物镜快速检验仪。 本专利技术的中心内容如附图所示。在物平面上安置若干台电视监视器〔1〕作为物平面光信号发生器。光信号发生器可以是出现扫描条纹(正弦分布或矩形分布)的荧光屏,荧光屏数与视场点数相同,在像平面屏上刻有若干条狭缝〔4〕与各监视器荧光屏一一对应。在计算机〔9〕的控制下,用硬件线路〔10〕产生视频信号,使各台监视器的荧光屏上依次显示出具有扫描运动的条纹图象(矩形分布条纹图象或正弦形分布条纹图象),在荧光屏上的条纹图像的空间频率在计算机的控制下是可变的,这就可满足检验各种频率MTF值的要求。 条纹图像经物镜〔2〕成像在像面上对应的狭缝上时,由于条纹的扫描运动,狭缝后的光电接收器〔6〕将探测出条纹图像在像面上的光强分布。从接收器输出的电信号经一低通滤波器〔7〕 ...
【技术保护点】
一种物镜检验装置,它是由光学测试图像发生器、扫描发生器、信号处理器组成,其特征在于所说的发生器具有扫描条纹视频信号发生器[10]、电视监视器[1],所说的信号处理器具有滤波电路[7]、采样电路[8]、计算机[9]。
【技术特征摘要】
1.一种物镜检验装置,它是由光学测试图像发生器、扫描发生器、信号处理器组成,其特征在于所说的发生器具有扫描条纹视频信号发生器[10]、电视监视器[1],所说的信号处理器具有滤波电路[7]、采样电路[8]...
【专利技术属性】
技术研发人员:李正民,严忠军,林逸群,
申请(专利权)人:浙江大学,
类型:发明
国别省市:33[中国|浙江]
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