一种单晶炉辅助加热装置制造方法及图纸

技术编号:25676478 阅读:60 留言:0更新日期:2020-09-18 20:52
本实用新型专利技术涉及单晶炉技术领域,且公开了一种单晶炉辅助加热装置,包括外壳,所述外壳的左侧固定安装有左接线端,所述外壳的右侧固定安装有右接线端,所述左接线端和右接线端的内部均固定连接有铜电缆,所述左接线端和右接线端的内侧均固定连接有导杆,两个所述导杆的内侧均固定连接有接触片。该单晶炉辅助加热装置,通过在原有IGBT直流配电柜通过水冷电缆、铜电极导电使石墨加热器A受热化料,变更为增加一组辅助IGBT直流配电柜通过铜电缆导电使加热器B受热,这样会使石英坩埚受热更为均衡,化料时石英坩埚周围及底部温差可控,温度梯度更平稳,避免因受热不均导致坩埚内部原料漂浮引起的碰撞。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉辅助加热装置
本技术涉及单晶炉
,具体为一种单晶炉辅助加热装置。
技术介绍
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备,单晶直径在生长过程中可受到温度,提拉速度与转速,坩埚跟踪速度与转速,保护气体的流速等因素的影响,其中温度主要决定能否成晶,而速度将直接影响到晶体的内在质量,而这种影响却只能在单晶拉出后通过检测才能获知。单晶炉在实际运行中,因装料操作不当、化料功率控制不及时、原料配比不合理等,极易造成漏硅、渗硅和成晶不良等事故,故而提出一种单晶炉辅助加热装置来解决上述所提出的问题。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足,本技术提供了一种单晶炉辅助加热装置,具备均匀加热,热量可控的优点,解决了单晶炉在实际运行中,因装料操作不当、化料功率控制不及时、原料配比不合理等,极易造成漏硅、渗硅和成晶不良的问题。(二)技术方案为实现上述均匀加热,热量可控的目的,本技术提供如下技术方案:一种单晶炉辅助加热装置,包括外壳,所述外壳的左侧固定安装有左接线端,所述外壳的右侧固定安装有右接线端,所述左接线端和右接线端的内部均固定连接有铜电缆,所述左接线端和右接线端的内侧均固定连接有导杆,两个所述导杆的内侧均固定连接有接触片,右端所述导杆的外部固定连接有右导电环,左端所述导杆的外部固定连接有左导电环,所述外壳的背面固定连接有保护外壳,所述外壳的背面固定安装有位于保护外壳内部的驱动马达,所述驱动马达驱动轴的外部固定连接有活动杆,所述活动杆的外部套接有绝缘环,所述绝缘环的外部套接有套环,所述套环的外部固定连接有接触杆,所述活动杆的外部固定连接有位于外壳外部的转柄,所述外壳的正面固定连接有外盖,所述外盖的正面螺纹连接有固定螺丝,所述外盖正面的顶端固定安装有控制器,所述外盖正面的底端固定安装有显示模块。优选的,所述外壳的正面开设有开口,外壳的正面等距离开设有四个螺纹孔,外壳的左右两侧均开设有圆形通孔。优选的,两个所述接触片均呈弧状,两个接触片之间存在间隙,且两个接触片的内侧均和接触杆的外部接触。优选的,所述保护外壳呈盒状,所述套环和接触杆为一个整体。优选的,所述转柄包括绝缘环和两个拨块,两个拨块固定连接在绝缘环的外部。优选的,所述固定螺丝的一端贯穿外盖并延伸至外壳正面开设的螺纹孔内部,所述保护外壳的外部等距离开设有散热口。(三)有益效果与现有技术相比,本技术提供了一种单晶炉辅助加热装置,具备以下有益效果:该单晶炉辅助加热装置,通过将两个铜电缆的一端分别与左接线端和右接线端连接,启动驱动马达带动活动杆和活动杆外部的接触杆旋转,从而使铜电缆、左接线端、导杆、接触片、接触杆、右接线端、右导电环、左导电环和显示模块构成一个完整的电路,在原有IGBT直流配电柜通过水冷电缆、铜电极导电使石墨加热器A受热化料,变更为增加一组辅助IGBT直流配电柜通过铜电缆导电使加热器B受热,这样会使石英坩埚受热更为均衡,化料时石英坩埚周围及底部温差可控,温度梯度更平稳,避免因受热不均导致坩埚内部原料漂浮引起的碰撞,进而不会使石英坩埚受损,也不会漏硅、渗硅。附图说明图1为本技术结构示意图;图2为本技术结构示意图。图中:1外壳、2左接线端、3右接线端、4铜电缆、5导杆、6接触片、7右导电环、8显示模块、9左导电环、10保护外壳、11驱动马达、12活动杆、13绝缘环、14套环、15接触杆、16转柄、17控制器、18外盖、19固定螺丝。具体实施方式以下结合附图对本技术的优选实施例进行说明,应当理解,此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本专利技术,并不用于限定本技术。需要说明的是,这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本技术的基本结构,因此其仅显示与本技术有关的构成。在本技术的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。在本技术的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。请参阅图1-2,一种单晶炉辅助加热装置,包括外壳1,外壳1的正面开设有开口,外壳1的正面等距离开设有四个螺纹孔,外壳1的左右两侧均开设有圆形通孔,外壳1的左侧固定安装有左接线端2,外壳1的右侧固定安装有右接线端3,左接线端2和右接线端3的内部均固定连接有铜电缆4,左接线端2和右接线端3的内侧均固定连接有导杆5,两个导杆5的内侧均固定连接有接触片6,两个接触片6均呈弧状,两个接触片6之间存在间隙,且两个接触片6的内侧均和接触杆15的外部接触,右端导杆5的外部固定连接有右导电环7,左端导杆5的外部固定连接有左导电环9,外壳1的背面固定连接有保护外壳10,保护外壳10呈盒状,保护外壳10的外部等距离开设有散热口,外壳1的背面固定安装有位于保护外壳10内部的驱动马达11,驱动马达11驱动轴的外部固定连接有活动杆12,活动杆12的外部套接有绝缘环13,绝缘环13的外部套接有套环14,套环14和接触杆15为一个整体,套环14的外部固定连接有接触杆15,活动杆12的外部固定连接有位于外壳1外部的转柄16,转柄16包括绝缘环和两个拨块,两个拨块固定连接在绝缘环的外部,外壳1的正面固定连接有外盖18,外盖18的正面螺纹连接有固定螺丝19,固定螺丝19的一端贯穿外盖18并延伸至外壳1正面开设的螺纹孔内部,外盖18正面的顶端固定安装有控制器17,外盖18正面的底端固定安装有显示模块8,左导电环9和右导电环7将导杆5上传导的电流可以的导入显示模块8内,直观的显示电流数值,当驱动马达11出现故障的时候可以利用手动旋转转柄16,从而达到了均匀加热,热量可控的目的。综上所述,该单晶炉辅助加热装置,通过将两个铜电缆4的一端分别与左接线端2和右接线端3连接,启动驱动马达11带动活动杆12和活动杆12外部的接触杆15旋转,从而使铜电缆4、左接线端2、导杆5、接触片6、接触杆1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶炉辅助加热装置,包括外壳(1),其特征在于:所述外壳(1)的左侧固定安装有左接线端(2),所述外壳(1)的右侧固定安装有右接线端(3),所述左接线端(2)和右接线端(3)的内部均固定连接有铜电缆(4),所述左接线端(2)和右接线端(3)的内侧均固定连接有导杆(5),两个所述导杆(5)的内侧均固定连接有接触片(6),右端所述导杆(5)的外部固定连接有右导电环(7),左端所述导杆(5)的外部固定连接有左导电环(9),所述外壳(1)的背面固定连接有保护外壳(10),所述外壳(1)的背面固定安装有位于保护外壳(10)内部的驱动马达(11),所述驱动马达(11)驱动轴的外部固定连接有活动杆(12),所述活动杆(12)的外部套接有绝缘环(13),所述绝缘环(13)的外部套接有套环(14),所述套环(14)的外部固定连接有接触杆(15),所述活动杆(12)的外部固定连接有位于外壳(1)外部的转柄(16),所述外壳(1)的正面固定连接有外盖(18),所述外盖(18)的正面螺纹连接有固定螺丝(19),所述外盖(18)正面的顶端固定安装有控制器(17),所述外盖(18)正面的底端固定安装有显示模块(8)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉辅助加热装置,包括外壳(1),其特征在于:所述外壳(1)的左侧固定安装有左接线端(2),所述外壳(1)的右侧固定安装有右接线端(3),所述左接线端(2)和右接线端(3)的内部均固定连接有铜电缆(4),所述左接线端(2)和右接线端(3)的内侧均固定连接有导杆(5),两个所述导杆(5)的内侧均固定连接有接触片(6),右端所述导杆(5)的外部固定连接有右导电环(7),左端所述导杆(5)的外部固定连接有左导电环(9),所述外壳(1)的背面固定连接有保护外壳(10),所述外壳(1)的背面固定安装有位于保护外壳(10)内部的驱动马达(11),所述驱动马达(11)驱动轴的外部固定连接有活动杆(12),所述活动杆(12)的外部套接有绝缘环(13),所述绝缘环(13)的外部套接有套环(14),所述套环(14)的外部固定连接有接触杆(15),所述活动杆(12)的外部固定连接有位于外壳(1)外部的转柄(16),所述外壳(1)的正面固定连接有外盖(18),所述外盖(18)的正面螺纹连接有固定螺丝(19),所述外盖(18)正面的顶端固定安装有控制器(17),所...

【专利技术属性】
技术研发人员:邵化水张会现洪东旭李志强边恒军刘启铎王营涛
申请(专利权)人:杞县东磁新能源有限公司
类型:新型
国别省市:河南;41

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