传送装置的磨耗监测系统及其方法制造方法及图纸

一种传送装置磨耗的监测方法，包括得到一磨耗临界值，利用一振动传感器在一传送时点测量一预定位置，以得到一运作测量值。并借由比较运作测量值与磨耗临界值决定是否须停机检查，当该运作测量值大于或等于该磨耗临界值时，须执行停机检查。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术是有关于一种传送装置磨耗的监测系统及其方法，且特别是有关于一种用于基板运送的传送装置磨耗的监测系统及其方法。
技术介绍
机械设备是由各式各样的零件所构装而成，零件一般分成磨耗性零件和耐久性零件。零件均具有一固定的使用期限，磨耗性零件的使用期限一般而言较短，而耐久性零件的使用期限较长。当然，部分耐久性零件可以一直使用到机械设备报废为止均不需要更换。若是机械设备不断运转，自然的损耗的速度有可能改变，加速或趋缓，随操作条件而定。装设于机械设备上的零件是否该要更换，无法在不拆卸整个机台包括外盖的情况下直接判断，换句话说，只有当零件拆下后才可判断此一零件是否已达须更换的磨耗程度。在各种高科技制作工艺中，例如半导体制作工艺的晶圆传送或显示液晶制作工艺的面板基板传送，均使用到传送装置，而传送装置内部的组成通常是由设计精巧且互动关系密切的传动组件所构成。因此，对于传送设备上的零件更换的时间点的要求更是严谨，因为不仅这些基板的价值不菲，若在制作工艺中途才发生因传送装置内部零件过度损耗而停止运转或不正常运作，其所导致的制作工艺停摆更会让制造者蒙受极大损失。因此需要一种可防止在制作工艺中，因传送装置的零件磨耗过度而导致当机的解决方法。
技术实现思路
因此本专利技术的一个目的在于提供一种传送装置磨耗的监测系统及其方法，避免在制作工艺期间发生因磨耗过度导致的突然当机。本专利技术的另一目的在于提供一种传送装置磨耗的监测系统及其方法，用以监测及掌握传送机台零件的健康状态。本专利技术的又一目的在于提供一种传送装置磨耗的监测系统及其方法，用以预测传送装置内部零件的磨耗状态，以预先更换零件，达到最顺畅的制作工艺运行。根据本专利技术的上述目的，提出一种传送装置磨耗的监测系统及其方法。传送装置磨耗的监测方法包括得到一磨耗临界值；利用振动传感器在一传送时点测量一预定位置的振动，以得到一运作测量值；以及比较运作测量值与磨耗临界值，以决定是否须停机检查，其中当该运作测量值大于或等于磨耗临界值时，须执行停机检查。依照本专利技术一优选实施例，磨耗临界值由下列步骤定义。激活传送装置，其中传送装置的传送零件是第一次使用；利用振动传感器在传送时点测量预定位置的振动，以得到一测试期间测量值，并记录测试期间测量值；在传送装置因磨耗而停止运作时，以多个测试期间测量值中最大值的80％定义出磨耗临界值。预定位置选定在一电机座上，且比较的步骤是利用一讯号处理装置执行。传送装置磨耗的监测方法可还包括下列步骤的一或其组合当运作测量值大于磨耗临界值时，以讯号处理装置发出警示讯号，以激活自动预警器执行预警动作、将运作测量值输出至显示单元、绘出运作测量值的时序曲线图、或传送运作测量值至远程计算机系统，进行远程监控。本专利技术的传送装置的磨耗监测系统包括一振动传感器，测量传送装置的振动状况，对应输出一振动讯号，以借由振动状况代表传送装置的磨耗状态、一讯号处理装置，采集一传送时点的振动讯号，并处理振动讯号成为数字讯号、以及一显示单元，接收并显示出数字讯号。在一优选实施例中，讯号处理装置包括一模拟数字转换器、一处理器与一储存单元，模拟数字转换器与振动传感器电性连接，接收并转换振动传感器所产生的一模拟讯号成为一数字讯号，处理器接收数字讯号并执行讯号处理，储存单元储存数字讯号，以建构一监测数据库。因此，应用本专利技术将使得传统上需以人力频繁停机检查传送机台的方式获得改善，借由于选定一特定时点的振动值观察来预测及评估传送零件的磨耗，对于如半导体或显示面板领域的制作工艺具有特别意想不到的功效，大为增进制作工艺运作的平顺度及可靠度。附图说明为让本专利技术的上述和其它目的、特征、优点与实施例能更明显易懂，附图的详细说明如下图1是依照本专利技术的传送装置磨耗的监测方法的一优选实施例的流程图。图2A示出依照本专利技术的传送装置的磨耗监测系统的一优选实施例的应用配置图。图2B示出依照本专利技术的传送装置的磨耗监测系统的一优选实施例的系统方块图。主要组件符号说明102a～114步骤200磨耗监测系统 202振动传感器204讯号处理装置 206显示单元208远程计算机系统210绘图单元212网络 214自动预警器220传送装置 222电机224联轴器226电机座228齿轮传动轴230齿轮232基板传送轴242模拟数字转换器244处理器246储存单元具体实施方式本专利技术公开一种传送装置磨耗的监测系统及其方法，利用振动测量方式评估与预测传送装置零件的磨耗状况，免除了繁复人力检查机台的必要性，因而确保制作工艺以最顺畅的方式运作，不会遭遇突然的当机。参照图1，其示出依照本专利技术的传送装置磨耗的监测方法的一优选实施例的流程图。磨耗监测的方法包括得到一磨耗临界值、利用一振动传感器在一传送时点测量一预定位置的一振动，以得到一运作测量值、以及比较运作测量值与磨耗临界值，以决定是否须停机检查，其中当运作测量值大于或等于磨耗临界值时，须执行停机检查。在一优选实施例中，传送装置磨耗的监测方法包括以下步骤。步骤102a中，激活传送装置，其中传送装置的零件是第一次使用。首先针对一传送装置将各部位零件换上第一次使用，也就是全新的零件，使传送装置以全新使用的状态开始运转。步骤102b中，使用一振动传感器在一传送时点测量某一预定位置的振动。在一般半导体或液晶显示面板制作工艺中，利用传送装置运送基板时，一完整运送动作可能区分成数个步骤阶段，并且不同制作工艺其步骤阶段数目亦有差异。例如一个完整运送动作可包括基板传入阶段、传送减速阶段、振荡摇摆阶段、中间停止阶段以及加速传出阶段。在不同的运送阶段，即便于同一位置亦会产生不同的振动状态，此乃因动作的剧烈程度各不相同的故。因此选定一特定的阶段作为一固定监控的时点，称其为传送时点。在自动化运送的过程中，各传送步骤阶段有几近于固定的周期，也就是每一基板的完整运送动作基本上是经过设计与定义的。例如，一基板于传入阶段的启始瞬间，与下一基板的传入阶段的启始瞬间均有一固定的时隔。在此情况下，本专利技术利用选取一特定时点的方式来检测振动状态，以取得同一比较基础。使用振动传感器在选定的时点以及一选定的位置，测量传送装置的振动值，称其为测试期间测量值；并将所测量到的测试期间测量值记录下来。测量位置的选定例如是在最接近电机的电机座，或者在传动轴上，但并不限于此二者。考虑传感器装设的方便性以及安全的使用环境下，本实施例中是安装振动传感器于电机座。持续进行传送装置运转以及测量的动作，将一测试期间、在同一传送时点的多个测量值全部记录下来。步骤102c中，上述步骤持续到传送装置因磨耗而停止运作，从所记录的多个测量值中找出最大者，乘上一安全系数以定义出磨耗临界值。此安全系数视不同制作工艺需求而决定。一般而言，若此系数越小，将使得装置从开始运转至停机检查的时间间隔越短，但也较能确保装置运作的可靠度。此安全系数例如为70％、80％、90％、95％或此范围内的数值。上述得到磨耗临界值的步骤中，亦可以另一种方式决定出磨耗临界值。得到多个测试期间测量值后，还包括绘制一时序曲线图，即绘制出整个测试期间，测试期间测量值的状态分布曲线。在曲线图中，横轴为时刻轴，纵轴代表振动值。于一实施例中，预先对装配新零件的机台进行振动测量，并记录初次量得的振动值，称其为初始测量值本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种传送装置磨耗的监测方法，适用于一传送装置，至少包括：得到一磨耗临界值；利用一振动传感器在一传送时点测量一预定位置的一振动，以得到一运作测量值；以及比较该运作测量值与该磨耗临界值，以决定是否须停机检查，其中当该运作 测量值大于或等于该磨耗临界值时，须执行停机检查。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：潘俊斌，曾秀雅，陈俊杰，林建铭，蔡显崑，谢孟言，
申请(专利权)人：友达光电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]