氦质谱检漏仪的进样系统技术方案

技术编号:2564548 阅读:183 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种氦质谱检漏仪的进样方式,包括以下步骤:先关闭分子泵前级阀3和进样阀5,开旁路预抽阀2,当真空度达到5-30Pa以后,关闭前级阀3,打开进样阀5。检漏仪的灵敏度指标提高8倍。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及气体流体领域,主要涉及一种氦质谱检漏仪的进样方式。技术背景目前氦质谱检漏仪的进样方式采用的是逆扩散原理。其中检漏仪包含机械泵1、旁路预抽阀2、分子泵前级阀3、分子泵4、进样阀5、质谱检测器6、检漏 口 7和旁路系统8。因为氦原子质量比空气的氮、氧分子质量小很多(氦原子量 4、氧分子量32、氮分子量28),氦原子的扩散速度更快,更大比例的氦原子可 以从分子泵的下部逆扩散进入质谱MS检测系统。国内外常规的连接方法是在 检漏过程中,先关闭分子泵的前级阀3和进样阀5,然后开旁路预抽阀2,当旁 路真空度达到检测范围以后,关旁路预抽阀2,开前级阀3和进样阀5,气体从 进样阀进入分子泵4,由于氦原子的扩散速度快,可以从下面逆扩散进入质谱检 测器6。
技术实现思路
本专利技术提出另一种进样方式可以获得高很多的检漏灵敏度。本专利技术的检漏 仪的结构不变,具体的操作做法是,先关闭分子泵前级阀3和进样阀5,开旁路预抽阀2,当真空度达到5-30Pa以后,关闭前级阀3,打开进样阀5。两种进样方式的差异在于前者,气体样品进入分子泵4后,有很大一部分气体被抽速较高的分子泵下部叶片抽走,只有小部分逆扩散进入质谱检测器6;而后者,气体样品只有一小部分被抽速低得多的机械泵抽走,大部分进入分子泵4,逆扩散到达质谱检测器6,进入的气体不会被分子泵下部的叶片抽走,因为前级阀门3是关闭的。经上述改进,检漏仪的灵敏度由8X10—"Pa m7s提高到1X10—"Pa mVs,因此,具有更高的灵敏度。权利要求1.一种氦质谱检漏仪的进样方式,其特征在于,包括以下步骤先关闭分子泵前级阀3和进样阀5,开旁路预抽阀2,当真空度达到5-30Pa以后,关闭前级阀3,打开进样阀5。全文摘要一种氦质谱检漏仪的进样方式,包括以下步骤先关闭分子泵前级阀3和进样阀5,开旁路预抽阀2,当真空度达到5-30Pa以后,关闭前级阀3,打开进样阀5。检漏仪的灵敏度指标提高8倍。文档编号G01M3/02GK101303265SQ20081013274公开日2008年11月12日 申请日期2008年7月14日 优先权日2008年7月14日专利技术者黄庆文 申请人:北京中科科仪技术发展有限责任公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种氦质谱检漏仪的进样方式,其特征在于,包括以下步骤:先关闭分子泵前级阀3和进样阀5,开旁路预抽阀2,当真空度达到5-30Pa以后,关闭前级阀3,打开进样阀5。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:黄庆文
申请(专利权)人:北京中科科仪技术发展有限责任公司
类型:发明
国别省市:11[中国|北京]

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